查看各个视场的弥散斑大小,判断是否在衍射极限里
问题:想要查看各个视场的弥散斑大小,怎么做? vYh_<Rp5 ^y@RfM=A 答:在Command Window中输入MGI,打开对话框进行设置,在RMS行选中Over field。 F^5<o ~|j :xM(i
[attachment=99213] <Sxsmf0"
可以得到如下图所示的RMS光斑大小随视场的变化情况。 S
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[attachment=99214] `O-LM e
另外,也可以在Command Window中输入命令行 FRMS M P 600 0 1。
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