| 探针台 |
2020-03-23 13:45 |
芯片测试前期准备
.8l\;/o| 失效分析样品准备: .-[UHO05^8 失效分析是芯片测试重要环节,无论对于量产样品还是设计环节亦或是客退品,失效分析可以帮助降低成本,缩短周期。 by&#g 常见的失效分析方法有Decap,X-RAY,IV,EMMI,FIB,SEM,EDX,Probe,OM,RIE等,因为失效分析设备昂贵,大部分需求单位配不了或配不齐需要的设备,因此借用外力,使用对外开放的资源,来完成自己的分析也是一种很好的选择。我们选择去外面测试时需要准备的信息有哪些呢?下面为大家整理一下: m"~$JA u 一、decap:写清样品尺寸,数量,封装形式,材质,开封要求(若在pcb板上,最好提前拆下,pcb板子面较大有突起,会影响对芯片的保护)后续试验。 ,~gY'Ql 1.IC开封(正面/背面) QFP, QFN, SOT,TO, DIP,BGA,COB等 on+
c*# 2.样品减薄(陶瓷,金属除外) z:|4S@9 3.激光打标 ) ]U-7 4.芯片开封(正面/背面) X<_(gg 5.IC蚀刻,塑封体去除 xe2Ap[Y'M 二、X-RAY:写清样品尺寸,数量,材质(密度大的可以看到,密度小的直接穿透),重点观察区域,精度。 ju(&v*KA 1.观测DIP、SOP、QFP、QFN、BGA、Flipchip等不同封装的半导体、电阻、电容等电子元器件以及小型PCB印刷电路板 |~CN]N 2.观测器件内部芯片大小、数量、叠die、绑线情况 VLc=!W} 3.观测芯片crack、点胶不均、断线、搭线、内部气泡等封装 t&wtw 缺陷,以及焊锡球冷焊、虚焊等焊接缺陷 ;p/RS# 三、IV:写清管脚数量,封装形式,加电方式,电压电流限制范围。实验人员需要提前确认搭建适合的分析环境,若样品不适合就不用白跑一趟了。 -d6|D?}S 1.Open/Short Test &2MW.,e7s 2.I/V Curve Analysis 2IqsBK` 3.Idd Measuring 'i{kuTv 4.Powered Leakage(漏电)Test m
,)4k&d 四、EMMI:写清样品加电方式,电压电流,是否是裸die,是否已经开封,特殊要求等,EMMI是加电测试,可以连接各种源表,确认加电要求,若实验室没有适合的源表,可以自带,避免做无用功。 .3A66 O~zT 1.P-N接面漏电;P-N接面崩溃 ;_,= 2.饱和区晶体管的热电子
qn6Y(@<[ 3.氧化层漏电流产生的光子激发 a{QHv0goG 4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、 %?y ?rt Hot Carriers Effect、ESD等问题 U"A]b(54 五、FIB:写清样品尺寸,材质,导电性是否良好,若尺寸较大需要事先裁剪。一般样品台1-3cm左右,太大的样品放不进去,也影像定位,导电性好的样品分析较快,导电性不好的,需要辅助措施才能较好的分析。切点观察的,标清切点要求。切线连线写清方案,发定位文件。 r~z-l, E:f0NV3"1 1.芯片电路修改和布局验证 v1QE|@ 2.Cross-Section截面分析 o';sHa' 3.Probing Pad ,Zb]3 4.定点切割 $VhUZGuG> 六、SEM:写清样品尺寸,材质,导电性是否良好,若尺寸较大需要事先裁剪。一般样品台1-3cm左右,太大的样品放不进去,也影像定位,导电性好的样品分析较快,导电性不好的,需要辅助措施才能较好的分析。 +L!-JrYHS4 1.材料表面形貌分析,微区形貌观察 WsTbqR)W% 2.材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析 T#Qn\8 3.薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析 ,g#=pdX; 4.纳米尺寸量测及标示 =E8lpN' 七、EDX:写清样品尺寸,材质,EDX是定性分析,能看到样品的材质和大概比例,适合金属元素分析。 c</d1x T 1.微区成分定性分析 N't*e Ci 八、Probe:写清样品测试环境要求,需要搭配什么源表,使用什么探针,一般有硬针和软针,软针较细,不易对样品造成二次损伤。 )$I;)`q 1.微小连接点信号引出 DHW;*A- 2.失效分析失效确认 cV_nYcLkz 3.FIB电路修改后电学特性确认 :O{`!&[>L 4.晶圆可靠性验证 <bWhTNOb 九、OM:写清样品情况,对放大倍率要求。OM属于表面观察,看不到内部情况。 &eG,CIT 1.样品外观、形貌检测
mrX3/e 2.制备样片的金相显微分析 l!<Nw8+U 3.各种缺陷的查找 ^TJn&k 4.晶体管点焊、检查 bBc<yaN 十、RIE:写清样品材质,需要看到的区域。 p}hOkx4R\ 1.用于对使用氟基化学的材料进行各向同性和各向异性蚀刻,其中包括碳、环氧树脂、石墨、铟、钼、氮氧化物、光阻剂、聚酰亚胺、石英、硅、氧化物、氮化物、钽、氮化钽、氮化钛、钨钛以及钨 4iBp!k7 2.器件表面图形的刻蚀 h )"PPI @mW: FVI 北京芯片失效分析实验室介绍 G%
IC失效分析实验室 z[ B*sbS 北软检测智能产品检测实验室于2015年底实施运营,能够依据国际、国内和行业标准实施检测工作,开展从底层芯片到实际产品,从物理到逻辑全面的检测工作,提供芯片预处理、侧信道攻击、光攻击、侵入式攻击、环境、电压毛刺攻击、电磁注入、放射线注入、物理安全、逻辑安全、功能、兼容性和多点激光注入等安全检测服务,同时可开展模拟重现智能产品失效的现象,找出失效原因的失效分析检测服务,主要包括点针工作站(Probe Station)、反应离子刻蚀(RIE)、微漏电侦测系统(EMMI)、X-Ray检测,缺陷切割观察系统(FIB系统)等检测试验。实现对智能产品质量的评估及分析,为智能装备产品的芯片、嵌入式软件以及应用提供质量保证。
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