目前工艺介质膜厚精度能到多少？

ouyuu:你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度？ nMU#g])y)  
物理膜厚精度由水晶片的精度决定，光学膜厚精度由光控的精度决定。 (2020-03-20 16:40)  q.(p.uD  

morningtech:晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系， 工艺好点，  2%~3%的也能应付。 9BANCW"  
再提高，0.5%准确度比较难了。 gx[#@(  
镀膜更重要的是重复性。 (2020-03-20 19:47)  Ao96[2U6  

alien21:谢谢！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56)  S'@"a%EV