SYNOPSYS代码详解-球面透镜整形器
球面透镜整形器 参考Donald Dilworth《Lens Design Automatic and quasi-autonomous computational methods and techniques》书第十五章 首先选择工作目录C:\Synopsys\Dbook\ [attachment=98916] OLj\-w^
LR,7,DH$9'
然后,点击“Open MACro”按钮[attachment=98917],打开宏C15M1,该文件中的代码如下: |J~eLh[d
RLE !镜头输入文件起始点 DK&h
eVIoZ
ID LASER BEAM SHAPER ! 镜头标识 ow' lRHZ
WA1 .6328 ! 定义单个波长,单位为um Zf>^4_x3P
UNI MM !透镜单位为mm irZFV
OBG .352 ! 使用OBG指令声明高斯光源,束腰半径为0.35mm,孔径大小为2倍的输入光束的1/e**2点 9r2IuS0
1 TH 22 ! 表面1和表面2之间的距离为22mm;表面1必须在束腰位置
`:G%
2 RD -5 TH 2 GTB S ! 定义表面2的半径和厚度,以及玻璃类型为来自玻璃库Schott 的SF6 5Y3i|cj
SF6 7gS1~Q4\V2
3 UMC 0.3 YMT 5 ! UMC指令求解表面3的曲率,给定边缘光线的角度为0.3; [!VOw@uz
! YMT指令求解在表面4上边缘光线高度为5mm时所对应的厚度;
Q\3 Z|%
4 RD 20 TH 4 PIN 2 ! 定义表面4的半径和厚度,并拾取表面2的折射率 7.+#zyF
5 UMC 0 TH 50 ! UMC指令求解表面5的曲率,给定边缘光线的角度为0°,即光束被准直;表面5的厚度为50mm; Sm2>'C
7 ! 定义表面6和表面7,且两表面必须平坦且重合,因为它们是AFOCAL输出 )P>u9=?,=E
AFOCAL ! 设置系统无焦 g+C!kaC)
END !结束镜头输入文件
点击PAD图标[attachment=98918]或在CW窗口输入SYNOPSYS AI>PAD,得到该透镜系统的二维图,如图1所示: [attachment=98919] 图1 粗略猜测用于激光束整形器的初始系统 m2Uc>S
接下来,检查能量密度,通常有多种方法: 方法一:FLUX指令 [&qA\
CW窗口输入SYNOPSYSAI>FLUX100 P 3,然后点击“Enter”键。得到通过FLUX指令计算出的高斯强度分布引起的光通量衰减,如下图所示。 [attachment=98920] +/+P\O
FLUX100 P 3 的含义: 7a$G@
数字100-追迹的光线数目 ^SfS~GQ
字母P-主波长 FCc=e{
数学3-表面3 方法二:FLUX像差 Q^Bt1C
首先在CW中输入SYNOPSYSAI>STEP= 100,然后点击“Enter”键。 ehAu^^Q> H_IGFZ Ch
然后运行宏C15M2一次,其代码为: )OsLrq/
7CB#YP?E
DD:DO MACRO FOR AIP = -1 TO 1 ! 定义循环,设置特殊变量AIP来改变透镜数据 jec:i-,
COMPOSITE ! 定义复合像差 i(6J>^I
CD1 PFLUX 0 0 AIP 0 3 ! 使用CD1参数,计算表面3上AIP区域(循环变量)的光通量衰减 I}Xg&-L
=CD1 ! 计算结果将自动放入文件夹FILE的位置1 p&K\]l}
Z1 =FILE 1 ! 使用Z1变量参数,将文件夹FILE中位置1的结果置于Z1变量中; *xM/;)
= 1 +Z1 ! 将1添加到结果中,这是总的光通量,因为Z1是衰减量。 ]PNowS\
ORD =FILE 1 ! 获取该值,并用于绘图的纵坐标,其横坐标为循环变量AIP ~L+]n0* e^$j5jV
最后在CW中输入SYNOPSYSAI>DD,然后点击“Enter”键。 ^`qPs/b 这样,就得到了高斯型光通量分布。 从图中可以看出,高斯型通量分布为OBG定义的1/e**2点的两倍。 [attachment=98921] &}`K^5K|O:
在PAD图中点击图标 [attachment=98922]按钮打开工作表,然后点击图标[attachment=98923],再单击PAD图的右侧放置透镜。重复上述操作,为系统添加两个透镜,如图2所示。 [attachment=98924] 图2 添加两个透镜后的系统结构 首先点击[attachment=98925]按钮设置检查点,然后运行优化宏C15M3,其代码为: nD,{3B#
!|m9|
CHG !改变透镜 tO.$+4a
NOP !移除所有表面拾取和求解 IdM*5Y>f
9UMC !UMC指令求解表面9的曲率 :a<hQ|p
END !结束 ,dd WBwMK e"+dTq8W
PANT ! 定义变量参数 1ZKzumF
VLISTRAD ALL ! 改变所有表面半径 chAan~r[*
VLISTTH 3 5 6 7 8 ! 改变表面3,表面5,表面6,表面6,表面8的空气间隔 ?Cci:Lin c/u_KJFF-n
END ! 结束 p#_[ I*1S/o_xI
AANT ! 定义像差参数 %TK&)Q% h5
AEC 11 1 !自动控制边缘厚度,防止边缘太薄,目标值为1,权重为1,窗口为1 qvLDfN
ACC 41 1 !自动控制元件中心厚度,防止中心厚度太厚,目标值为4,权重为1,窗口为1 5su.+4z\
ACA60 10 1 ! 自动控制临界角,防止光线超过临界角,导致光线失败 $<ddy/4
LUL100 1 1 A TOTL ! 系统总长不超过100 M 510 A P YA 0 0 1 0 9 ! 0视场表面9上的边缘主光线高度目标值为5mm,权重为10 g<[rH%\6fg
M 510 A P YA 0 0 1 0 10 ! 0视场表面10上的边缘主光线高度目标值为5mm,权重为10 \}inT_{g
M 0 1A P FLUX 0 0 1 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为1时所对应的光通量衰减为0 `%E9xcD%
M 0 1A P FLUX 0 0 .99 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.99时所对应的光通量衰减为0 @PcCiGZ
M 0 1A P FLUX 0 0 .98 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.98时所对应的光通量衰减为0 B[xR-6phW
M 0 1A P FLUX 0 0 .97 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.97时所对应的光通量衰减为0 ,{j4
M 0 1A P FLUX 0 0 .96 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.96时所对应的光通量衰减为0 BQjam+u6
M 0 1A P FLUX 0 0 .95 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.95时所对应的光通量衰减为0 t^@T`2jL
M 0 1A P FLUX 0 0 .94 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.94时所对应的光通量衰减为0 =%h~/,
M 0 1A P FLUX 0 0 .93 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.93时所对应的光通量衰减为0 B2hfD-h,>
M 0 1A P FLUX 0 0 .92 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.92时所对应的光通量衰减为0 ^&:'NR
M 0 1A P FLUX 0 0 .91 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.91时所对应的光通量衰减为0 R^Bk]
M 0 1A P FLUX 0 0 .85 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.85时所对应的光通量衰减为0 wR7aQg
M 0 1A P FLUX 0 0 .8 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.8时所对应的光通量衰减为0 LC'2q*:'
M 0 1A P FLUX 0 0 .7 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.7时所对应的光通量衰减为0 3B,QJ&
M 0 1A P FLUX 0 0 .5 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.5时所对应的光通量衰减为0 *:arva5
M 0 1A P FLUX 0 0 .3 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.3时所对应的光通量衰减为0 ~+m,im8}
GSO 01 5 P ! 控制弧矢面上5条光线产生的OPD 3%M.U)|+
END ! 结束 xYR#%! M
SNAP ! 设置PAD更新频率 SYNO100 !程序优化次数为100次 优化后的镜头结构,如图3所示。您的结果可能会有所不同,由于您点击插入元件的确切位置是不可预测的。 [attachment=98926] dokuyiN\
图3 通过优化光通量像差的镜头 再次评估光通量均匀性。CW窗口输入SYNOPSYSAI>FLUX100 P 10,然后点击“Enter”键。得到通过FLUX指令计算出的高斯强度分布引起的光通量衰减,如下图所示。光通量并没有改善。 ,z66bnjO
5L&:_iQZy
cTj~lO6
[attachment=98927] 在PAD图中点击[attachment=98928]恢复检查点,并打开WS工作表,在表面框中选择0,将“OBG 0.35 2”更改为“OBG0.35 1”,单击“Update”按钮。 [attachment=98929] BQ#jwu0e
重新优化四个透镜。首先点击[attachment=98925]按钮设置检查点,然后运行优化宏C15M3。并点击图标[attachment=98930]进行模拟退火,具体参数设置为(22,1,50): [attachment=98932] 得到新的镜头,如图4所示: [attachment=98933] 图4 重新优化后的镜头 重新评估光通量均匀性。在CW窗口输入SYNOPSYSAI>FLUX100 P 10,然后点击“Enter”键。得到通过FLUX指令计算出的高斯强度分布引起的光通量衰减,如下图所示。 [attachment=98934] piu0^vEEH
光通量稍好点,但仍然不均匀。在保持光线角度控制的同时使强度分布均匀并不容易。该结果似乎表明使用四个透镜可以达到很好的平衡。 在PAD图中点击图标 [attachment=98922]按钮打开工作表,然后点击图标 [attachment=98923] ,再单击PAD图的右侧放置透镜。重复上述操作,为系统添加两个透镜,如图5所示。 [attachment=98935] 图5 再添加两个透镜后的系统结构 优化六个镜头以及模拟退火优化。运行优化宏C15M4,其代码为: L<@&nx
CHG !改变透镜 AEC 11 1 !自动控制边缘厚度不小于1mm,权重为1,窗口为1 ACC 41 1 !自动控制元件中心厚度不大于4mm,权重为1,窗口为1 LUL100 1 1 A TOTL ! 系统总长上限为100mm M 510 A P YA 0 0 1 0 LB1 ! 0视场表面14的边缘光线高度目标值为5,权重为10;LB1-倒数第2个面 M 0 1A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为1时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.99时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.98时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.97时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.96时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.95时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.94时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.93时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.92时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.91时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .85 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.85时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.8时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.7时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.5时所对应的光通量衰减为0 M 0 1A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.3时所对应的光通量衰减为0 GSO 0.1 5 P ! 控制弧矢面上5条光线产生的OPD GSR 01 5 P !控制弧矢面光线网格中所产生的光线像差 SNAP !设置PAD图更新频率,每一次优化更新一次 并进行模拟退火(22,1,50),最后得到镜头结构如图6所示: [attachment=98936] {mYx
图6 优化后的六片透镜结构 CW窗口输入SYNOPSYSAI>FLUX100 P 14,然后点击“Enter”键。得到通过FLUX指令计算出的高斯强度分布引起的光通量衰减,如下图所示。 光通量完全控制在10%均匀度的目标范围内。可以使用全球面透镜来完成整形器设计,但是需要六片透镜。 [attachment=98937] 首先在CW中输入指令OFF27,即关闭开关27。然后在CW中输入MFP指令,点击“Enter”键。打开MFP对话框进行以下设置: [attachment=98938] %UmbDGDWI
得到足迹图: [attachment=98939] =8S}Iat
b]dxlj}
<
六片透镜系统的输出光线分布。光线更多地散布在中心附近,并在边缘压缩,这对光束整形器来说非常好,使得光束均匀化。 接下来,使用DPROP命令分析衍射传播特性。在CW中输入: CHG !改变透镜 CFIX !固定孔径光阑,建议在运行DPROP时固定光阑。原因是:如果衍射发送少量的能量,DPROP程序通常会检查比镜头允许区域更大的区域。 1 TH0 !表面1厚度为0mm END !结束 DPROPP 0 0 13 SURF 3 R RESAMPLE !设置衍射传播参数 6{^*JC5nj
DPROPP 0 0 13 SURF 3 R RESAMPLE 的含义: K.h]JD]o
DPROP-衍射传播 P-主色 第一个0- Y方向的0视场 第二个0-X方向的0视场 13-表面13 SURF-绘制一个波阵面透视图,波阵面落在表面13的顶点平面上 3-曲面图的高度 R-设定该曲面的视角为右视角 RESAMPLE-多重采样 得到DPROP分析图如下:[attachment=98940] @}G|R\2P
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