| 探针台 |
2020-02-10 14:49 |
双束FIB---Scios 2 DualBeam
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使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品 r,Xyb`
Thermo Scientific NICol™ 电子镜筒可进行超高分辨率成像， 满足最广泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的最佳成像需求 ];6955I!
各类集成化镜筒内及极靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息 pg7~%E4
可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态 内部和三维信息 Me? I8:/
高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav-Cam™相机实现精确样品导航 lN:;~;z_
专用的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan™等模式实现无伪影成像和图形加工 UjoA$A!Od;
灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求 ty#6%
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通用型高性能双束系统 D84&=EpVZ
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Scios 2 DualBeam 提供最佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足最广泛类型样品的应用需求。 X"q[rsB
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Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为最广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料） 提供出色的样品制备和三维表征性能。 Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性， 是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。该系统于2013年推出市场，MTBF>1500hr，深受广大半导体用户爱戴。 u*I'c2m
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高质量 TEM 制样 %bF157X5An
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系统的最新技术创新，结合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific uQx/o ^
AutoTEM™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果， 需要使用低能离子进行精抛，以最大限度地减少样品的表面损伤。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。 .uS`RS8JM
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高质量内部和三维信息 DW9MX `!Xc
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质， Scios 2 0k16f3uI
DualBeam 系统配备 Thermo Scientific Auto Slice＆View™4 (.@pe Hu)#
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（AS&V4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 BSE 图像提供最佳材料衬度，三维 EDS 提供成分信息， 而三维 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scientific Avizo™软件，Scios 2 DualBeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案。 FNF `Z
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超高分辨成像并获取最全面的样品信息 Jh&DL8`
创新的NICol电子镜筒为Scios 2 DualBeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息， 系统可在最广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统独特的镜头内Thermo Scientific Trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取最详细的纳米级信 息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松 地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。依托独特的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。 c?_7e9}2
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帮助所有用户提高生产力 hI*v ) c
Scios 2 DualBeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松 k,=<G ,
地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。 m3pDFI
真实环境条件的样品原位实验 fi*b]a \'
Scios 2 DualBeam系统专为材料科学中最具挑战性的材料微观 pKq[F*Lut
表征需求而设计，配备了全集成化、极快速MEMS 热台μHeater， Xy K,
可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品 台可倾斜至90˚，优中心工作距离更大，确保了系统极佳的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采 集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活 性和控制能力，成为最通用的高性能FIB / SEM 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。 EZI#CLT[
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电子光学 w*/@|r39
NICol 非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: Q"{Dijc%
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 O<L=N-
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 `4x Q#K.-
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 [fT$ # '6
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 ^c}3o|1m(
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 |J:r]);@K
· 两级扫描偏转 t'At9<ib
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 a*X{hU 9P
· 快速电子束闸* G] k[A=dg
· 用户向导和镜筒预设 &a=rJvnIO&
· 电子源寿命至少24个月 F>#F@j^c
电子束分辨率 j;y(to-e>D
最佳工作距离下 8M,o)oH
· 30keV 下 STEM 0.7nm wH@S$WT
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm gAztdA sLM
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* H^S <bZ
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电子束参数 l]wLQqoO
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA 8[X"XThj
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) WUz69o be
· 放大倍数范围：40x-1200x 3>L5TYa
· 最大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm ^ /G ;
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 g.`Ntsi$wI
离子光学 L7(FD v,?
卓越的大束流Sidewinder离子镜筒 8VQ!&^9!U#
· 加速电压范围：500 V - 30 kV #>:S&R?2t
· 离子束流范围：0.6pA 65nA（数值显示） U@yhFj_y
· 15 孔光阑 *`w>\}, su
· 标配不导电样品漂移抑制模式 B%Qo6* b
· 离子源寿命至少1,300小时 :^{KY(3
· 离子束分辨率：30 kV下 3.0 nm（采用选边统计平均值法） z)^.ai,: 0
探测器 ,ps?@lD
· Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内） &53 ,8r
- T1 分割式透镜内低位探测器 Uq'W<.v 5
- T2 透镜内高位探测器 C)yw b 6
- T3可伸缩镜筒内探测器* j96}E/gF
- 可同步检测多达四种信号
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· ETD Everhart-Thornley 二次电子探测器 Pb T2-
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· ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子* ;Krs*3
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· DBS 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器* (#>X*~6
· STEM 3+ 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) * .,qh,m\Fo
· 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察 iVeH\a
· Nav-Cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航* <h#W*a
· 电子束流测量* ?d?. &nt
样品台和样品 # =y)Wuo=
灵活五轴电动样品台： |+HJ>xA4I
· XY范围：110mm `. ~S/$a.&
· Z范围：65mm s 92ol0`
· 旋转：360 °（连续） nPI$<yW7F
· 倾斜范围：-15°到 +90° LD?\gK "
· XY重复精度：3μm "pK<d~Wu
· 最大样品高度：与优中心点间隔85mm =EYgck;)
· 最大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托） a)r["*bTx
· 最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样 品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限） xWY\,'+Q
· 同心旋转和倾斜 *^ G,
真空系统 X0j> g^b8
· 完全无油的真空系统 \/ri|fm6l#
· 样品仓真空（高真空）：< 5.9 x 10 -6 mbar（24小时抽气后） fHZ9w K>
· 抽气时间：208秒 } L|B@fW
· 可选空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件 > fV "bj.
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样品仓 ^.@%n1I"5y
· 电子束和离子束夹角：52°，集成等离子清洗功能 ^ b5+A6?
· 端口：21个 b1'849i'y=
· 内径宽度：379mm "S'Yn-
样品托 0w TOdCvmb
· 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳18个标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、 d#d&C JAfr
2个垂直和2个预倾斜侧排托架*（38°和90°），样品安装 无需工具 Ici4y*`M
· 每个可选的侧排托架可容纳6个S/TEM铜网 K^"l.V#J
· 各种晶片和定制化样品托可按要求提供* p]y .N)a
系统控制 D{7^y>8_Y-
· 64位GUI（s 7）、键盘、光学鼠标 l*wGKg"x3
· 可同时激活多达4个视图，分别显示不同束图像和/或信号， 真彩信号混合 { )b
· 本地语言支持：请与当地Thermo Fisher销售代表联系确认可用语言包 7y30TU
· 24英寸宽屏显示器 1920 x 1200（第二台显示器可选配） , :K{
· Joystick 操纵杆* \X(*JNQ
· 多功能控制板* eTgtt-;VR
· 远程控制和成像* }JQy&V%
图像处理器 l\N2C 4NG
· 驻留时间范围：25纳秒 25 毫秒/像素 Qp:m=f6@
· 最高 6144 × 4096 像素 }zkFl{/u
· 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP或JPEG 标配 1D [>oK\
· SmartSCAN™ (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫描) i E;F= Rb
· DCFI (漂移补偿帧积分) hop|
xtai;
支持软件 +]wM$bP
· “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多达4个视图 jFKp~`/#
· Thermo Scientific SPI™ （同步FIB加工和SEM成像）、iSPI™ （间歇式SEM成像和FIB加工）、 iRTM™（集成化实施监测）和 FIB 浸入模式，用于高级、实时SEM和FIB 过程监测和端点测量 Jh%SenP_oP
· 支持的图形：矩形、直线、圆形、清洁截面、常规截面、 多边形、位图、流文件、排除区、阵列 Pz
D30VA
· 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉积 FY )]yz
· 材料文件支持“最短循环时间”、束调谐和独立重叠 )+,h}XqlX
· 图像配准支持导入图像进行样品导航 lJfk4 -;M
· 光学图像上的样品导航 T)q
Uf
H
· 撤销（Undo）/重做（Redo）功能 Qof%j@
· DualBeam系统基本操作及应用用户指南 >tMI%r
· 智能扫描功能Smart Scan oXk6,b"
· 漂移补偿帧积分功能DCFI =tA;JB
· 蒙太奇导航功能 0cf GI%
· 具备束流测量装置 `h :!^"G
· 实时观察离子束加工的监控功能 47{5{/B-
}#&[[}@th
Thermoscitific原装配件* >e-0A
· GIS气体注入: 最多四台设备，每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染，以提高蚀刻或沉积效果 (其他配件可能会限制可用的GIS数量) ，可选气体化学选项超过10种: ( w"(RM~
- 铂沉积 *+6iXMwe
- 钨沉积 O +< +yQl
- 碳沉积 z"Q tP[_m
- 绝缘体沉积II j bT{K|d-
- 金沉积 yEh{9S%6p
- 增强刻蚀（碘、专利） RZnmia
- 绝缘体增强刻蚀(XeF2) )OQ<H.X
- Delineation EtchTM（专利） s]A8C^;c
- 二氧化硅增强刻蚀 LN$T.r+
- 空坩埚，用于经批准的用户提供的材料 ?5};ONjN
- 更多束化学选项可按要求提供 WH7UJ CQ
· Thermo Scientific EasyLiftTM 系统用于精确原位样品操纵 726 UO#*
· 用于制备好透射电镜样品后提出，与主机集成一体化控制 Q;q{1M >
· 漂移：49 nm/min "dOQ)<;
· 步长精度：49nm y |0/;SjV
· FIB荷电中和器 ofz?L# :2
· μHeater：高真空兼容，超快加热台，温度高达1200 ℃ )ryP K"V
· 分析：EDS、EBSD、WDS、CL XMP4YWuVc
· Thermo Scientific QuickLoaderTM ：快速真空进样器 <y cR/X
· DualBeam 系统冷冻解决方案： Xj30bt
- 独有的CryoMAT 用于材料科学冷冻应用 <|G!Qn?2-
- 第三方供应商提供的解决方案 <:nyRy}
· 隔音罩 `YZl2c<w*
· Thermo Scientific CyroCleanerTM 系 统 %2\Pe 2Z
· 集成等离子清洗 l(F\5Ys
>X:!Y[N
软件选项 <rui\/4NJ
· AutoTEM 4 软件：用于最快速、最简单的高度自动化 cZoj|=3a
STEM 样品制备 >X iT[Ru
· AS&V4 软件：自动化连续刻蚀和观察，采集连续切片图 Z1$U[Tsd
像、EDS或EBSD 图像进行三维重建 jRDvVV/-wr
· Avizo 三维重建及分析软件 o >yXEg
· Thermo Scientific MAPS™ 软件：用于大区域的自动图像 k*,+ag*j
采集、拼接和关联 NN+;I^NqW&
· Thermo Scientific NanoBuilder™ 软件：先进的基于 4 eSFpy 1
CAD（GDSII）的专有解决方案，用于复杂结构FIB 和束沉积优化的纳米原型制备 $txF|Fj]^A
· iFast软件：适用于DualBeam系统的高级自动化套件 A yn $,
· 基于Web的数据库软件 l S
p"(&
· 高级图像分析软件 %WmTG }L)
保修和培训 LIz'hfS!
· 1年保修 IBu \Sh -
· 可选维修保养合同 `e3$jy@
· 可选操作/应用培训合同 `pDTjJ
文档和支持 /S~ =qodS
· 在线用户向导 FK-q-PKO#.
· 操作手册 ,BGUIu6
· RAPID™ 支持文件（远程诊断支持）
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