| 探针台 |
2020-02-10 14:49 |
双束FIB---Scios 2 DualBeam
FrGgga$
使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品 "c%0P"u
Thermo Scientific NICol™ 电子镜筒可进行超高分辨率成像， 满足最广泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的最佳成像需求 Fo5FNNiID
各类集成化镜筒内及极靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息 d;Ym=YHJtn
可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态 内部和三维信息 pP&7rRhw
高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav-Cam™相机实现精确样品导航 y}" O U
专用的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan™等模式实现无伪影成像和图形加工 &R'c.
灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求 !C ':
[Kg+^N% +
通用型高性能双束系统 /|6N*>l)y
g[' ^L +hd
Scios 2 DualBeam 提供最佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足最广泛类型样品的应用需求。 p_gm3Q
JzQ_{J`k
Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为最广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料） 提供出色的样品制备和三维表征性能。 Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性， 是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。该系统于2013年推出市场，MTBF>1500hr，深受广大半导体用户爱戴。 oM>l#><nq
_$E6P^AQ
高质量 TEM 制样 l` lk-nb
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系统的最新技术创新，结合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific RB7tmJ c
AutoTEM™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果， 需要使用低能离子进行精抛，以最大限度地减少样品的表面损伤。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。 cKca;SNql1
S%;O+eFYb
高质量内部和三维信息 'x#~'v*
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质， Scios 2 yW=:: =
DualBeam 系统配备 Thermo Scientific Auto Slice＆View™4 zZPO&akB"
UmP/h@8
（AS&V4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 BSE 图像提供最佳材料衬度，三维 EDS 提供成分信息， 而三维 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scientific Avizo™软件，Scios 2 DualBeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案。 %v
M-mbX
HAdg/3Hw
超高分辨成像并获取最全面的样品信息 X] TG<r
创新的NICol电子镜筒为Scios 2 DualBeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息， 系统可在最广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统独特的镜头内Thermo Scientific Trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取最详细的纳米级信 息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松 地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。依托独特的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。 m]6mGp
yLvDMPj
帮助所有用户提高生产力 O m|_{
Scios 2 DualBeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松 PJ|P1O36a
地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。 0*3R=7_},o
真实环境条件的样品原位实验 _`j 7clEz
Scios 2 DualBeam系统专为材料科学中最具挑战性的材料微观 AofKw
表征需求而设计，配备了全集成化、极快速MEMS 热台μHeater， n:?a$Ldg m
可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品 台可倾斜至90˚，优中心工作距离更大，确保了系统极佳的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采 集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活 性和控制能力，成为最通用的高性能FIB / SEM 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。 Wo y m/[i
PO: {t
电子光学 A:%`wX }
NICol 非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: W' VslZG
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 6P l<'3&
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 ^}=,g
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 -=Q*Ml#I
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 b4 6~?*
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 q6luUx,@m
· 两级扫描偏转 D%pF;XY
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 & '`g#N
· 快速电子束闸* $ bR~+C
· 用户向导和镜筒预设 p?OoC
· 电子源寿命至少24个月 P/eeC"
电子束分辨率 j3V
-LnA
最佳工作距离下 H/
HMm{4
· 30keV 下 STEM 0.7nm ~TD0z AA&
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm S9y}
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* = j]<t
}o(-=lF
电子束参数 QA`sx
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA sY&IquK^
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) Ee! 4xg
· 放大倍数范围：40x-1200x .|70 ;
· 最大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm I+!0 O
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 #=A)XlZMd
离子光学 6%_nZvRv
卓越的大束流Sidewinder离子镜筒 6A- |[(NS
· 加速电压范围：500 V - 30 kV qR8Lh( "i
· 离子束流范围：0.6pA 65nA（数值显示） V b ?oJhR
· 15 孔光阑 wlqksG[B
· 标配不导电样品漂移抑制模式 \r+
a G B
· 离子源寿命至少1,300小时 |/{=ww8|
· 离子束分辨率：30 kV下 3.0 nm（采用选边统计平均值法） { 4Cmu;u
探测器 '-~~-}= sJ
· Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内） k?^z;Tlvw
- T1 分割式透镜内低位探测器 (hbyEQhF
- T2 透镜内高位探测器 |)v,2
- T3可伸缩镜筒内探测器* V U3upy<
- 可同步检测多达四种信号 aEeodA<(
· ETD Everhart-Thornley 二次电子探测器 3 F2w-+L
· ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子* %dVZ0dl
· DBS 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器* YN F k
· STEM 3+ 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) * BQMpHSJ_
· 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察 ggR.4&<
· Nav-Cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航* ) 3EY;
· 电子束流测量* w<(pl%
样品台和样品 !Wnb|=j
灵活五轴电动样品台： vA8nvoi
· XY范围：110mm OQJ6e:BGt
· Z范围：65mm S.NPZ39}ZE
· 旋转：360 °（连续） }K|oicpUg
· 倾斜范围：-15°到 +90° 3f{3NzN
· XY重复精度：3μm /a4{?? #e
· 最大样品高度：与优中心点间隔85mm *z8\Lnv~k
· 最大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托） kt:!
7
· 最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样 品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限） #@Jq~$N|
· 同心旋转和倾斜 uK Hxe ~
真空系统 Gyc]?m
· 完全无油的真空系统 3 7o; ;
· 样品仓真空（高真空）：< 5.9 x 10 -6 mbar（24小时抽气后） 1= V- V<
· 抽气时间：208秒 !+v$)3u9
· 可选空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件 wb l&
$ddCTS^
样品仓 *$g-:ILRuZ
· 电子束和离子束夹角：52°，集成等离子清洗功能 4 ^:=xL
· 端口：21个 C~/a-
· 内径宽度：379mm pv|G^,>#
样品托 KbeC"mi
· 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳18个标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、 %EB/b
2个垂直和2个预倾斜侧排托架*（38°和90°），样品安装 无需工具 zTU0HR3A
· 每个可选的侧排托架可容纳6个S/TEM铜网 }qD\0+`qi
· 各种晶片和定制化样品托可按要求提供* >z@0.pN]7
系统控制 Q\Vgl(;lX
· 64位GUI（s 7）、键盘、光学鼠标 oUlVI*~ND
· 可同时激活多达4个视图，分别显示不同束图像和/或信号， 真彩信号混合 |yPu!pf l
· 本地语言支持：请与当地Thermo Fisher销售代表联系确认可用语言包 "^GGac.
· 24英寸宽屏显示器 1920 x 1200（第二台显示器可选配） WH^%:4
· Joystick 操纵杆* 8Zd]wY O
· 多功能控制板* +
{'.7#
· 远程控制和成像* >^3i|PB
图像处理器 VI *$em O0
· 驻留时间范围：25纳秒 25 毫秒/像素
Z *x'+X
· 最高 6144 × 4096 像素 7@W>E;go
· 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP或JPEG 标配 9hyn`u.
· SmartSCAN™ (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫描) U 6)#}
· DCFI (漂移补偿帧积分) Jln:`!#fDf
支持软件 b&U62iq
· “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多达4个视图 1?l1:}^ L
· Thermo Scientific SPI™ （同步FIB加工和SEM成像）、iSPI™ （间歇式SEM成像和FIB加工）、 iRTM™（集成化实施监测）和 FIB 浸入模式，用于高级、实时SEM和FIB 过程监测和端点测量 do'GlU oMC
· 支持的图形：矩形、直线、圆形、清洁截面、常规截面、 多边形、位图、流文件、排除区、阵列 FGzwhgy
· 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉积 G 01ON0
· 材料文件支持“最短循环时间”、束调谐和独立重叠 r5^eNg k
· 图像配准支持导入图像进行样品导航 pd$[8Rmj_
· 光学图像上的样品导航 -XG@'P_
· 撤销（Undo）/重做（Redo）功能 B%68\
· DualBeam系统基本操作及应用用户指南 ftSW
(og
· 智能扫描功能Smart Scan Zv {'MIv&v
· 漂移补偿帧积分功能DCFI #KvlYZ+1
· 蒙太奇导航功能 ;$Jo+#
· 具备束流测量装置 /yZcDK4
· 实时观察离子束加工的监控功能
Q+{n-? :
nO-#Q=H,
Thermoscitific原装配件* *0ro0Z|Iq
· GIS气体注入: 最多四台设备，每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染，以提高蚀刻或沉积效果 (其他配件可能会限制可用的GIS数量) ，可选气体化学选项超过10种: eyxW 0}[
- 铂沉积 |I=T @1_D
- 钨沉积 kq-) ^,{ y
- 碳沉积 \w8\1~#
- 绝缘体沉积II N2o7%gJw
- 金沉积 #\ErY3k 6&
- 增强刻蚀（碘、专利） nJ;.Td
- 绝缘体增强刻蚀(XeF2) @ N m@]q
- Delineation EtchTM（专利） }6ldjCT/,
- 二氧化硅增强刻蚀 lEBLZ}}\
- 空坩埚，用于经批准的用户提供的材料 N$tGQ@
- 更多束化学选项可按要求提供 G#$-1"!`
· Thermo Scientific EasyLiftTM 系统用于精确原位样品操纵 ia?
c0xL
· 用于制备好透射电镜样品后提出，与主机集成一体化控制 ^ZCD ~P_=
· 漂移：49 nm/min Iu6
· 步长精度：49nm fN2lLn9/u
· FIB荷电中和器 4I[P>
· μHeater：高真空兼容，超快加热台，温度高达1200 ℃ $:^td/p J
· 分析：EDS、EBSD、WDS、CL 8 F hdN
· Thermo Scientific QuickLoaderTM ：快速真空进样器 2Khv>#l
· DualBeam 系统冷冻解决方案： !<h)w#>en
- 独有的CryoMAT 用于材料科学冷冻应用 ugBC Br
- 第三方供应商提供的解决方案 !'I8:v& D
· 隔音罩 }QmqoCAE~m
· Thermo Scientific CyroCleanerTM 系 统 MqMQtU9w
· 集成等离子清洗 1 -b_~DF
`GLx#=Q
软件选项 eJX#@`K
· AutoTEM 4 软件：用于最快速、最简单的高度自动化 Vt oh L+
STEM 样品制备 H;"4 C8K7
· AS&V4 软件：自动化连续刻蚀和观察，采集连续切片图 R|Q?KCI&
像、EDS或EBSD 图像进行三维重建 FGkVqZ Y2?
· Avizo 三维重建及分析软件 _VXN#@y
· Thermo Scientific MAPS™ 软件：用于大区域的自动图像 dF2RH)Ud
采集、拼接和关联 {c0`Um3&>
· Thermo Scientific NanoBuilder™ 软件：先进的基于 8cQ'dL`(
CAD（GDSII）的专有解决方案，用于复杂结构FIB 和束沉积优化的纳米原型制备 6w7 7YTJ
· iFast软件：适用于DualBeam系统的高级自动化套件 5LMw?P.<
· 基于Web的数据库软件 @%SQFu@FJ
· 高级图像分析软件 F:ELPs4"
保修和培训 sR8"3b<qA
· 1年保修 A %-6`>
· 可选维修保养合同 ?@8[e9lLD
· 可选操作/应用培训合同 paMa +jhQQ
文档和支持 WEpoBP
CL
· 在线用户向导 , u !sjx
· 操作手册 nRY5xRvK
· RAPID™ 支持文件（远程诊断支持）
|
|