| xunjigd |
2019-12-09 16:31 |
VirtualLab：全场光学相干扫描干涉仪
摘要 Yd]y`J?#
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 '< !
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建模任务 \a\- hm
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仿真干涉条纹 HKu ? J
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走进VirtualLab Fusion }diB
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VirtualLab Fusion中的工作流程 v4M1uJ8
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•设置输入场 & o{=
−基本光源模型[教程视频] anDwv
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 z TA+s 2
•定义元件的位置和方向 )P&>Tc?;z
− LPD II：位置和方向[教程视频] A4 ;EtW+F
•正确设置通道以进行非序列追迹 #rZF4>c
−非序列追迹的通道设置[用例] QwF\s13
•使用参数运行检查影响/变化 I *,!zym
−参数运行文档的使用[用例] _X
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VirtualLab Fusion技术 $P<T`3Jg
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更多阅览 >`\f,yq l6
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（来源：讯技光电）
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