| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 )+6MK(<"
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 v;ZA 4c
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建模任务 $b mLu=9
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概述 % oo2 /aF
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <Sr
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 f=9|b
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光线追迹仿真 7K98#;a)5
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @
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•单击go！ PGoh1Uu
•获得了3D光线追迹结果。 sc,vj'r
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光线追迹仿真 #e$5d>j(
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 q1KZ5G)6GJ
•单击go！ R)m'l Mi|
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZG&>:Si;
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场追迹仿真
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _y}
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•单击go！ tu66'z
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场追迹仿真（相机探测器） ]z/8KL
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 LAS'u "c|
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 -^hWM}F
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场追迹仿真（电磁场探测器） :Ra,Eu
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $m-2Hh qZ
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场追迹仿真（电磁场探测器） [`"ZjkR_J
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r\-uJ~8N
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