| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 B=A [ymm
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 KC#q@InK
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建模任务 'B0{_RaTb
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概述 Nf "r4%M<6
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X;c '[q
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 sC b=5uI
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[attachment=96958] 25[I=Zd S
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光线追迹仿真 0 C6-GKbZ
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 % pd ,%pg
•单击go！ +sUFv)!4
•获得了3D光线追迹结果。 ApV~( k)W
y)!5R 3b
[attachment=96959] doy`C)xI
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光线追迹仿真 9 !}8UALD
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 emPM4iG?!
•单击go！ 0dh aAq`k
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @A89eZb W
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场追迹仿真 >X4u]>X
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =~H<Z LE+
•单击go！ ?ztkE6 2t
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场追迹仿真（相机探测器） IrhA+)pdse
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 71gT.E
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~SF<,-Kg
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场追迹仿真（电磁场探测器） z>Hgkp8D"
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iIa'2+
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场追迹仿真（电磁场探测器） jWl)cC
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 cK i m-
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文件信息 /bi[ e9 R
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