| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 1k5Who@
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5C*Pd
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建模任务 OwUhdiG
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概述 =Z3 F1Cq?
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^q vbqfh
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 r
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[attachment=96958] [0[i5'K:
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光线追迹仿真 b8VTo lJ
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >,Ci?[pf
•单击go！ N1S{ suic
•获得了3D光线追迹结果。 Nw/ ku
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[attachment=96959] +z\^ t_"f
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光线追迹仿真 B+VubUPMS
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |`,2ri*5A
•单击go！ kT66;Y[
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 m6K}|j
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场追迹仿真 UiP"Ixg6
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |A9F\A->4
•单击go！ wn, KY$/
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场追迹仿真（相机探测器） ]BZA:dd.G
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 rjAn@!| :+
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 9C9oUtS
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场追迹仿真（电磁场探测器） r~8 $1"
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?V.cOR`6
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场追迹仿真（电磁场探测器） mzKiO_g}
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~.nmI& 3
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文件信息 ( Q!}9K3
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（来源：讯技光电）
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