| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 oC>e'_6_b
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 X>EwJ"q#
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建模任务 ,xB&{ J
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概述 pj&vnX6O^
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Bp 6jF2
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 jDI O,XuF
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光线追迹仿真 }9t$Cs%
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ibex:W^
•单击go！ (Mhj-0xf$
•获得了3D光线追迹结果。 .2/(G{}U
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光线追迹仿真 0e9W>J9
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~PP*k QZlJ
•单击go！ 048BQ
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Cq;t;qN,nQ
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场追迹仿真 F h9`8
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 dQ@ e+u5
•单击go！ >/nS<y>
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场追迹仿真（相机探测器） S* Un$ngAh
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ==`K$rM
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 RN238]K
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场追迹仿真（电磁场探测器） /vS!9f${
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o{pQDI {R
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场追迹仿真（电磁场探测器） hNmC(saMGm
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H`C DfTy
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