| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 j~M#Ss-H8
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 }qc#lz
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建模任务 9*#$0Y=
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概述 hVMYB_<~
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (# JMB)
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 yh S#&)O
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[attachment=96958] LO"_NeuL
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光线追迹仿真 hlX >K
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5^\m`gS
•单击go！ vFTXTbt'h
•获得了3D光线追迹结果。 iJ}2"i7 M
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[attachment=96959] :`D'jF^S
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光线追迹仿真 cL#-*_(
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ig<}dM.Z[
•单击go！ kEO1TS
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 yL.^ =
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[attachment=96960] 0f1H8zV
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场追迹仿真 PC|'yAN:
XM$GQn]B
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 pjACFVMFX
•单击go！ sH%&+4!3
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场追迹仿真（相机探测器） =nzFd-P
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 R;r|cep
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 KGu= ;
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场追迹仿真（电磁场探测器） 3Y`>6A=
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x@Y|v@}BE
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场追迹仿真（电磁场探测器） EY~7oNfc`R
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;Z* 'D}
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer K Sc~GP _
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination q[P~L`h S
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（来源：讯技光电）
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