| xunjigd |
2019-11-07 15:31 |
VirtualLab：倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 HpbwW=;V
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 /7B3z}rd
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设计任务 fBTNI`#
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1级参数优化 j* 2/[Eq
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结果-容差分析 F+c8
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结果-容差分析 =Q;dYx%I5
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VirtualLab Fusion一瞥 q8_E_s-U,
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VirtualLab Fusion中的工作流程 y2g)*T!m
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构建光栅结构 aa]|
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] M G&vduu
−倾斜光栅高级设定[用例] 7F]oK0l_
•光栅衍射效率分析 Mj0jpP<uf
−光栅阶序分析器[用例] rf/ ]VAK
•使用参数优化进行光栅参数优化 cgcU2N6y;
•使用参数运行的容差分析 sNG 7fi.|
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VirtualLab Fusion技术 X.e4pLwGK
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（来源：讯技光电）
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