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2019-11-07 15:31 |
VirtualLab:倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 N4Fy8qU; QTrlQH&p 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 priT7! /I`bh [attachment=96646] _taHf %\4 o\=i0HR9 设计任务 .5#tB*H Jfixm=.6 [attachment=96647] 8f6;y1!; U||w6:W5 1级参数优化 CLFxq@%nu~ !txELA~24 [attachment=96648] w50Bq&/jX Ma*dIwEp 结果-容差分析 nDoiG#N0 95gsv\2 [attachment=96649] "JQt#[9l '%]@a7w 结果-容差分析 t}c}@i_c U_
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PRuSk-f !>Qc2&ZV VirtualLab Fusion中的工作流程 5qtmb4R~ u8k{N 构建光栅结构 ah!O&ECh −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] *|gs-<[#X −倾斜光栅高级设定[用例] ,Q /nS$ •光栅衍射效率分析 /Vm}+"BCS −光栅阶序分析器[用例] &8_#hne_ •使用参数优化进行光栅参数优化 ,p/b$d1p •使用参数运行的容差分析 l
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(来源:讯技光电)
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