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2019-11-06 17:44 |
高性能中档行程线性平移台
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品牌：Newport 9Y2u/|!.3
概述：ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台，采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件，适用于高占空比的应用。 _~Od G
优势特点： |u`YT;`!"-
无侧隙滚珠丝杠 ILS 平移台包含有预装的无侧隙滚珠丝杠，可实现具有较短步进时间和稳定时间的平滑且快速的运动。螺杆型材的设计在于减少热效应，从而延长平移台的使用寿命。 iJ 58RY
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循环滚珠轴承滑块 借助精确的线性轨迹，循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题，该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。 7V=deYt_p
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FEM - 优化的铝制机身 优化的铝制机身可实现极高的刚性，以及在不影响重量的情况下最小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。 KD#zsL)3
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集成编码器 4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上，这样可防止出现螺杆/电机耦合误差，从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。 w:B&8I(n}w
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技术参数： a. u{b&+9
行程范围 150 mm L~+aD2 E {
最大速度 100 mm/s J-=fy^S5
最小位移增量 1000 nm @I Y<i5(
中心负载 250 N ST#) Fl
轴向负载 (+Cx) 40 N b?=r%D->w
逆轴向负载 (-Cx) -40 N DDIRJd<J
精度，典型值 ±1.5 μm Pi[]k]XA\
精度，保证值 ±2.5 μm "j`T'%EV
单向重复精度，典型值 ±0.25 μm aEQrBs
单向重复精度，保证值 ±0.5 μm im>/$!&OyI
双向重复精度，典型值 ±0.45 μm m q<:^
双向重复精度，保证值 ±1.0 μm ZyU / .Uk
俯仰，典型值 ±37 μrad OvdBU cp[
俯仰，保证值 ±75 μrad S%]4['Y
俯仰顺应性 10 μrad/Nm 2hntQ1[
偏摆，典型值 ±20 μrad zGO_S\
偏摆，保证值 ±65 μrad fX:G;vYn
偏摆顺应性 10 μrad/Nm z 4. |N
滚转顺应性 15 μrad/Nm t re`iCH~
驱动方式 DC Motor [PrJf"Z "
反馈 Rotary Encoder
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