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2019-11-06 17:44 |
高性能中档行程线性平移台
[attachment=96631][attachment=96632] L2Z-seE
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品牌：Newport 0 /)OAw"m
概述：ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台，采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件，适用于高占空比的应用。 ($X2SIZh
优势特点： *G"}m/j-
无侧隙滚珠丝杠 ILS 平移台包含有预装的无侧隙滚珠丝杠，可实现具有较短步进时间和稳定时间的平滑且快速的运动。螺杆型材的设计在于减少热效应，从而延长平移台的使用寿命。 6sQY)F7p
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循环滚珠轴承滑块 借助精确的线性轨迹，循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题，该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。 rNl%I@ G
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FEM - 优化的铝制机身 优化的铝制机身可实现极高的刚性，以及在不影响重量的情况下最小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。 .)|2^ 'W
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集成编码器 4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上，这样可防止出现螺杆/电机耦合误差，从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。 C>* 1f|<
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技术参数： bNG7A[|B
行程范围 150 mm }Ryrd!3bY
最大速度 100 mm/s b ~C^cM
最小位移增量 1000 nm k0IztFyj:R
中心负载 250 N {wp tOZ
轴向负载 (+Cx) 40 N Z5 Tu*u=
逆轴向负载 (-Cx) -40 N I~&*8)xM
精度，典型值 ±1.5 μm j-k]|0ea}
精度，保证值 ±2.5 μm @^t1 SP p
单向重复精度，典型值 ±0.25 μm 4v MjVbr
单向重复精度，保证值 ±0.5 μm
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双向重复精度，典型值 ±0.45 μm r:Ok z
双向重复精度，保证值 ±1.0 μm o <L=l Q
俯仰，典型值 ±37 μrad h/NI5
俯仰，保证值 ±75 μrad 3RP\w~?
俯仰顺应性 10 μrad/Nm 2!nz>K
偏摆，典型值 ±20 μrad -cB>; f)5r
偏摆，保证值 ±65 μrad >@.: 9}Z
偏摆顺应性 10 μrad/Nm {S"! c.
滚转顺应性 15 μrad/Nm )P#xny2
驱动方式 DC Motor uC5W1LyI
反馈 Rotary Encoder
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