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lZ+/\s,]\| 行程范围	o}W7.7^2 50 mm	m&{rBz0 俯仰，典型值	'4Y*-!9 ±17 μrad
'jwTGT5x 最大速度	)S"o{N3B 40 mm/s	\!6t 俯仰，保证值	JG1LS$p^ ±37 μrad
}8X:?S % 最小位移增量	_4De!q0( 0.30 μm	-kt1t@O 俯仰顺应性	$M%}Oz3* 15 μrad/Nm
ol1AD: Ho 中心负载	%hrsE5k^, 200 N	gB'`I(q5. 偏摆，典型值	f61]`@Bk ±12 μrad
EzwF`3RjK 轴向负载 (+Cx)	\>_eEZ5 50 N	]*;RHy9 偏摆，保证值	e1Dj0s?i~K ±25 μrad
1gO//fdI 逆轴向负载 (-Cx)	8~rT -10 N	8Na}Wp;\|Gi 偏摆顺应性	)Ep@$Gv\|S 15 μrad/Nm
k0R,!F 精度，典型值	\| H5Ync[s ±1.1 μm	qrOB_Nz 滚转顺应性	*YMXiYJR 10 μrad/Nm
P'KY.TjWb 精度，保证值	p` ^:Q*C" ±2.25 μm	nT(!HDH 原点重复精度	F5Cqv0HV ±0.5 μm
\Gv-sA 单向重复精度，典型值	4h[2C6 \+` ±0.20 μm	k{!iDZr&f, 电缆长度	iFXUKGiV 3 m
@faF`8LwA 单向重复精度，保证值	)I^)*(} ±0.50 μm	g5?r9e 重量	Z{j!s6Y@{ 2.8 kg
vWZ>Hf]`L 双向重复精度，典型值	8kKRx ±0.6 μm	kjQIagw MTBF	<5C=i:6% 20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
fLf#2EA 双向重复精度，保证值	\|rG8E;> ±1.75 μm	U]1>?,Nk'3 RoHS	?^F*"+qI Compliant
~M\|NzK_9 兼容的探头	$L $j KNwf SMC100CC	hA$c.jJr.Z 最大功率密度	Uj y6vgU; 40 W