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b8v$*{ 行程范围	IB*%PMTF 50 mm	Y9w=[[1 俯仰，典型值	Da@tpKU)p ±17 μrad
LbYI{\|_Js 最大速度	>LU*F\|F]B 40 mm/s	_Wb-&6{ 俯仰，保证值	" ^eq5?L ±37 μrad
zPkg3H 最小位移增量	QX]tD4OH 0.30 μm	3P\I;xM 俯仰顺应性	FUcs=7c 15 μrad/Nm
ga~vQ7I_ 中心负载	;Ok11wOw 200 N	}5]s+m 偏摆，典型值	Y+=@5+G ±12 μrad
r2H'r ,N 轴向负载 (+Cx)	MK[spV 50 N	YHRI UYd 偏摆，保证值	eO9nn9lql ±25 μrad
[a \|fm*B! 逆轴向负载 (-Cx)	ckP3[@Su { -10 N	9H)uTyuNi 偏摆顺应性	c3pt?C 15 μrad/Nm
XWUTb\@ 精度，典型值	]Ns&`Yn{ ±1.1 μm	*nC,=2 滚转顺应性	X%F9.<4 10 μrad/Nm
s]&y\Z 精度，保证值	<\|`@K\|N ±2.25 μm	QNtr= 原点重复精度	4*,q1yK ±0.5 μm
x> q3w# B 单向重复精度，典型值	%5KR}NXX6 ±0.20 μm	[qI*] 电缆长度	V_1#7 3 m
qlxW@\| 单向重复精度，保证值	GSFT(XX ±0.50 μm	D8#q.OR] 重量	]`kvq0Gyb 2.8 kg
k2WOxa 双向重复精度，典型值	\9?<E[ ±0.6 μm	GJuD : MTBF	/uc/x+(_ 20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
&B85; 双向重复精度，保证值	;VH]TKkk ±1.75 μm	;' W5\|.ZN RoHS	7fEV/j Compliant
Zll^tF# 兼容的探头	>V$#Um?AXj SMC100CC	0EB'! 最大功率密度	lG+ltCc$9 40 W