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B#RBR<MFC 行程范围	Z*&y8;vUQ 50 mm	irj{Or^k 俯仰，典型值	b=nQi./f ±17 μrad
ffMh2 最大速度	!RX\">z 40 mm/s	TZ#(G 俯仰，保证值	hM}rf6B ±37 μrad
j{k]8sI,H] 最小位移增量	{OFbU 0.30 μm	R^8L^8EL 俯仰顺应性	(-k`\|X" 15 μrad/Nm
g\9I&z~? 中心负载	}:JE*D\| 200 N	YrlOvXW 偏摆，典型值	<1")JDW ±12 μrad
0\fV'JDOR 轴向负载 (+Cx)	kU uDA><1 50 N	/S4$qr cM 偏摆，保证值	\HR<^xY ±25 μrad
E=N44[`.G 逆轴向负载 (-Cx)	XLwmXi -10 N	5:3%RTLG 偏摆顺应性	-+1_ 1! 15 μrad/Nm
tJ:]ne 精度，典型值	)6K Q"* ±1.1 μm	s?qRy 2 滚转顺应性	iWCR5c= 10 μrad/Nm
;F>$\"aG 精度，保证值	gz{~\0y ±2.25 μm	#<_gY 原点重复精度	UO3QwZ4j; ±0.5 μm
SePPI.n 单向重复精度，典型值	2hZ>bg ±0.20 μm	Ql~9a [8T~ 电缆长度	rByC6HV" 3 m
#jY\l&E 单向重复精度，保证值	8:W,"" ±0.50 μm	8GRp1'\Hi 重量	syuW>Z8s 2.8 kg
UNx\|+ 双向重复精度，典型值	-)cau-(X ±0.6 μm	%}< e;t-O MTBF	PwF 1Pr`r 20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
NO(^P+s 双向重复精度，保证值	T6T3:DG_B ±1.75 μm	;rBd_ RoHS	].E89_\|O Compliant
m8Wv46% 兼容的探头	>Yr-aDV SMC100CC	N?Wx-pK 最大功率密度	_e2=BE`W) 40 W