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aEr<(x!\|" 行程范围	>$,A [\|R 50 mm	* z\|i{=W F 俯仰，典型值	5b X*8H D ±17 μrad
Bw-<xwD 最大速度	y+f@8] 40 mm/s	OgJd^ 俯仰，保证值	~_WsjD0O ±37 μrad
;cQhs7m(9 最小位移增量	~ZeF5 0.30 μm	mm-!UsT 俯仰顺应性	:5!>h8p; 15 μrad/Nm
`ER">@& 中心负载	~=hM y`Ml 200 N	USz\|Rh 偏摆，典型值	9"mOjL ±12 μrad
3`PPTG 轴向负载 (+Cx)	`f.okqBAh 50 N	^lVZW8 偏摆，保证值	p2T%Zl_ ±25 μrad
cIqk=_] 逆轴向负载 (-Cx)	<p"[jC2zF; -10 N	"?Dov/+Q. 偏摆顺应性	zbHNj(~ 15 μrad/Nm
3nb&Z_/e 精度，典型值	9(?9yFbj5 ±1.1 μm	W7I.S5 滚转顺应性	Jy&O4g/'5 10 μrad/Nm
0$)CWah 精度，保证值	XWH{+c" ±2.25 μm	zjVBMqdD 原点重复精度	oBZ\mk L ±0.5 μm
y<7C!E#b8 单向重复精度，典型值	O@;;GJ ±0.20 μm	r[xj,eIb 电缆长度	+a$'<GvP 3 m
5\RTy}w3x 单向重复精度，保证值	$hexJzX ±0.50 μm	N@D]Q&;+(T 重量	\lj.vzD-A 2.8 kg
Xup rl2+ 双向重复精度，典型值	VOc_7q_= ±0.6 μm	@Qw~z0PE<l MTBF	8:9m< ^4S( 20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
nulCk33x'= 双向重复精度，保证值	@c&}\#; ±1.75 μm	8bQ\7jb RoHS	@<]sW*s Compliant
D$C>ZF 兼容的探头	nx#0*r}5 SMC100CC	}Rujh4* 最大功率密度	^%(HZ'$wC 40 W