EMMI（微光显微镜）

EMMI（微光显微镜）
微光显微镜通过测量样品加偏压时所释放出来的光子来定位故障点。该仪器可以非常灵敏的测出微量光子，并且通过和背景图片重叠的方法来确定被测样品漏电的具体位置。微光显微镜已经成为失效分析定位里最为常见的分析手段。

优势	局限
SYAyk - 使用相对简单 JU1~e@/'% - 可以检测pn结的漏电 [+2[`K c]	##,a0s^ - 光子可能会被金属层挡住而无法显示 Ra)3+M!x - 无法测量金属层短路 k9sh @ENy - 微光漏电光斑较大

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