| 探针台 |
2019-07-31 16:20 |
形貌观察SEM扫描电镜
主要用途 1FERmf? ?d
jRj=Awy
观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 ls|LCQPx
}iww:H-1
性能参数 #kc SQ'
SbT5u3,'
a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） i[nF .I5*f
WES#ZYtT
b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； I VjU`ij
b"CA Kl
400~2000000（实际显示倍率） SF<Vds}A2
8]"(!i_;)
应用范围 #&Is GyU
UY>v"M
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； %&+59vq
46x.i;b7
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； 1wn&js C
wpo1
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； }nrX xfu
Ew,T 5GG
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
|
|