| 探针台 |
2019-07-31 16:20 |
形貌观察SEM扫描电镜
主要用途 ]fM|cN8(zM
QLd*f[n
观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 UGcmzwE
$mQ0w~:@
性能参数 [^qT?se{
b$_8 1i
a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） h4;kjr}h}
8
lggGt
b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； Z8SwW<{ $
| b'Ut)E
400~2000000（实际显示倍率） kXz ~ez 7
_ S r}3
应用范围 2R/|/>T v
P 9?cp{ *
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； 1VJ${\H]
^ij0<*ca9
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； *vb"mB
ofy"SM
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； Hyb(.hl Zh
)3h\QE!z
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
|
|