| 探针台 |
2019-07-31 16:20 |
形貌观察SEM扫描电镜
主要用途 @=JOAo
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观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 vOIK6-
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性能参数 L kYcAY$w
Nki08qZ[
a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） zA/ tHlK c
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b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； M ,!Dhuas
-Uj )6PzGu
400~2000000（实际显示倍率） c"HB7
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应用范围 ,F}\njL
F[am2[/<A
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； Sd[%$)scC
b7-M'-Km0_
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； 2OT
RP4U
?RW7TWf
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； L_ 4c~4
k*XI/k5Vc
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
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