| 探针台 |
2019-07-31 16:20 |
形貌观察SEM扫描电镜
主要用途 CFoR!r:X
9.9B #?
观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 >$a;+v
fMM%,/b{
性能参数 PH^Gjm
HHs!6`R$0c
a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） Bf[`o<c
*.T?#H
b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； v5{2hCdt
U+[ "b-c
400~2000000（实际显示倍率） mO8/eVws[M
bFH`wL W
应用范围 5x,/p
gr@Ril^
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； H%}/O;C
&Du S*
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； 'C>s YSL
vbG &F.P
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； 8NJT:6Q7l
Zdfh*MHMg
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
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