| 探针台 |
2019-07-31 16:19 |
切点分析线路修改FIB
主要用途 N e z '1
D0MW~Y 6{
芯片的电路修补、断面切割、透射电镜样品制备。 0]$-}AYM
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性能参数 ac966<#
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a)着陆电压范围 - 电子束：350V~30kV Ir*{IVvej
ER@RWV 2
- 离子束：500V~30kV Y% @; \
Ml{4)%~Y7f
b)最小分辨率 - 电子束：0.8nm/30kV 0dI7{o;<|
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- 离子束：2.5nm/30kV {0AlQ6.@>
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c)全新的差分抽取及TOF校正功能，可实现更高分辨率的离子束成像、磨削和沉积 aSJD'u4w.a
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应用范围 :<0lC j
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