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shenrui 2019-05-18 15:33

曲面结构上镀增透膜工艺及设计

PC材质上镀一层增透膜,结构为曲面,曲面直径12mm,曲面深度5mm,要求透过率小于0.5%,且最外层为SiO2,其他无要求 ?VQLY=?  
求实现方法包含工艺设计和膜系设计 W'h0Zg  
opticsrain 2019-05-18 19:07
曲面样品的成膜方法和平板样品基本一样,但是一般只能保证顶点的特性。 膜设计也使用和平板同样的即可,但是最佳膜厚会和平板样品稍有不同。
shenrui 2019-05-19 09:32
好的,感谢大神指导 lk1Gs{(qhH  
ouyuu 2019-05-19 20:58
这种曲率只能用行星盘做,或者溅射机做。
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