| xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 Y|{r
vBKjf
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 tIz<+T_
zWC W: dI
[attachment=92556] N?MJ#lC
F
[}W^4,
1. 建模任务 r;&]?9)W0
v#Cz& j
[attachment=92557] Q3<bC6$r
p)?qJ2c|
2. 结果 yt/20a
s D LVYD
[attachment=92558] !o l hZ
S5: "_U
[attachment=92559] /0 B07B
uE,i-g0$Id
3. 文件和技术信息 {AU` }*5
Ns+)Y^(5
[attachment=92560] ^4xlZouCb
9[epr+ f
（来源：讯技光电）
|
|