| xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 TS[Z<m
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 dhVwS$O )
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1. 建模任务 $Ilr.6';
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2. 结果 ?x[ >g!r
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3. 文件和技术信息 $U0(%lI U
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（来源：讯技光电）
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