| xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 M=
q~EMH
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 - Zoo)
0e:QuV2X
[attachment=92556] Y=Ar3O*F
zmfRZ!Eh
1. 建模任务 {L-aXe{
L!b0y7yR
[attachment=92557] # pjyhH@
xBE
RCO^
2. 结果 VRQb f
sHPwW5j/o'
[attachment=92558] cM<hG:4%wX
> ?{iv1
[attachment=92559] CWe>jlUQ
v!{'23`87
3. 文件和技术信息 Vq)gpR
<.7I8B7
[attachment=92560] gQpD]p%k
uM #U!
（来源：讯技光电）
|
|