| xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 WF0%zxg ]
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ;-p1z%
u
L3 :dANG
[attachment=92556] <V?M~u[7f
0yW#).D^b
1. 建模任务 (_G&S~@.
{~.~ b+v
[attachment=92557] 68ce+|
)1Rn;(j9Re
2. 结果 oTOr,Mn0\6
5wM*(H^c[
[attachment=92558] % 1Y!|306
{awv= s
[attachment=92559] ylm*a74-X
. kpL?_
3. 文件和技术信息 tpe:]T/xh
tins.D
[attachment=92560] ConXP\M-
E$5)]<p! <
（来源：讯技光电）
|
|