从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

vVyX[
ZZ  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 *NjjFk=R  
镜片数22片 3UNmUDl[~  
物高31mm Chs#}=gzi  
物方数值孔径NA 0.2 u}0U!
 
波长为UV /\wm/Yx?S  
像方晶圆尺寸是12.66mm +EOd9.X\~  
总长小于1200mm IQ]tcSQl  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 3;'RF#VL  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

x-@}x@n&[  
      Here is the input for DSEARCH: v;ZIqn"  
      CORE 14 TIME n7p,{KSQ  
      DSEARCH 2 QUIET }~O`(mnD}K  
uLq%Nu  
      SYSTEM h?-*SLT  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM \1MMz Z4rf  
      OBA 15 31 3 31 *Rl
lKPY)  
      OSNA .2 TCO DQ`\HY  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC AM:
lU  
      END v*lj>)L  
6V&HlJH  
      GOALS ELEM 11 w7e+~8|  
      TOTL 600 .1 INF}~DN]  
      TOPD .01 T$pBgS>  
      NPASS 50 KM9)  
      QUICK 20 50 "V3f"J?  
      ANNEAL 50 10 Q Naa "^  
      SNAP 10 -RBH5+SS2  
      RSTART 1000 #HyE-|_C  
      ASTART 25 5)=YTUCk  
      THSTART 12 ZD#{h J-  
I=c}6  
      FOV 0 .5 .707 1 +6;1.5Tc  
      FWT 1 1 1 1 END B4RP~^  
      SPECIAL PANT J5#shs[M:  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 ,b'QL6>`  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 ]1dnp]r  
      CUL 1.6 =;m
;r!,K  
      FUL 1.6 END )Rj,PF-9Z[  
l|"SM6
  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 48g`i  
      M 0 .1 A SAP TO]7%aB  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END bPMkBm  
      GO TIME

S&z8-D=8k  
     SAVE LEFT11.

Scz/2vNi`  
     SAVE LEFT11.

]s>y
se  
      CORE 14 TIME Y
JqbA?i  
      DSEARCH 3 QUIET P0O=veCf  
8=DZ;]XD.  
      SYSTEM b3^d!#KVM  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM "jA?s9  
      OBB 0 4 83.36 lCxPR'C|  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END oeF0t'%  
-esq]c%3  
      GOALS ELEM 11 "Cn<x\E b  
      TOTL 600 .01 <:!;79T\  
      FNUM 1 h$_
5)d~  
      BACK 11 SET pUm|e5  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 ^hyp}WN  
      QUICK 20 50 V:>ZSW4,^  
      ANNEAL 50 10 Q K
;P<c,9X/  
      SNAP 10 O]-s(8Oo3  
      RSTART 1000 _2wH4^Vb  
      ASTART 25 /PTk296@  
      THSTART 12 z8*{i]j  
*]+5T-R% $  
      FOV 0 .5 .707 1 n"|1A..^  
      FWT 1 1 1 1 END i564<1`x  
      SPECIAL PANT <}n"gk1is  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 Nny#}k Bt  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 =b/:rSd$NA  
      CUL 1.6 h$2lO^  
      FUL 1.6 END 7CV}QV}G  
"Wn8}T*  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 xt=ELzu$  
      M 0 1 A P HH 1 HWOOw&^<  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT OTV$8{  
      M 0 10 A DI3 END bO6LBSZx]  
      GO TIME

Cs?[ 
 
      SAVE RIGHT11. atYe$Db  
      SAVE RIGHT11.

M)Z3q  
      COMBINE 23 /6Olq6V  
      RIGHT11