从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 kaT !  
镜片数22片 U*:ju+)k  
物高31mm P;G]qV%  
物方数值孔径NA 0.2 YNB7`:  
波长为UV !(F?Np Am  
像方晶圆尺寸是12.66mm 3&!v"ms  
总长小于1200mm k%TBpG
:T  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 3xz|d`A  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

LVNA`|>  
      Here is the input for DSEARCH: 2lCgUe)N  
      CORE 14 TIME 6lPuYEmT  
      DSEARCH 2 QUIET q@^^jlHP  
9SBTeJ$RZ  
      SYSTEM ?Rk[P cX<  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM *3KSOcQ  
      OBA 15 31 3 31 D$AvD7_  
      OSNA .2 TCO MtVvi6T  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC S"t\LB*'Ls  
      END Ne)3@?  
' GUCXx  
      GOALS ELEM 11 >V>`}TIH  
      TOTL 600 .1 >WA'/Sl<A<  
      TOPD .01 #N$\d4q9  
      NPASS 50 k. NJ+  
      QUICK 20 50 t2iQ[`/?~  
      ANNEAL 50 10 Q r8tW)"?  
      SNAP 10 c
*y*UG  
      RSTART 1000 H_JE)a:+  
      ASTART 25 XtQwLH+F  
      THSTART 12 
~z\a:+  
&Hyy .a  
      FOV 0 .5 .707 1
}U(bMo@;  
      FWT 1 1 1 1 END Na4O( d`  
      SPECIAL PANT FUXJy{n6"2  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 D59q/@  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 Peo-t*-06  
      CUL 1.6 k 1a?yH)=  
      FUL 1.6 END l^^Z}3^Rk  
#].qjOj  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 :7i x`C2  
      M 0 .1 A SAP Vh1y]#w  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END D@O5Gd  
      GO TIME

7n o6  
     SAVE LEFT11.

 iDx(qdla  
     SAVE LEFT11.

k~Q 5Cs  
      CORE 14 TIME P*B@it  
      DSEARCH 3 QUIET }]#z0'Aqsu  
Rc3!u^?u  
      SYSTEM Caz5q|Oo  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM op/_:#&'  
      OBB 0 4 83.36 MGq\\hLD\-  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END IN@o9pUjV  
~1E!Co  
      GOALS ELEM 11 IdMwpru(  
      TOTL 600 .01 zRd.!Rv  
      FNUM 1 @/?i|!6  
      BACK 11 SET ,(Ol]W}  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 "O-X*>?f  
      QUICK 20 50 &ds+9A  
      ANNEAL 50 10 Q H2H[DVKv  
      SNAP 10 O9zMD8  
      RSTART 1000 \<(EV,m2  
      ASTART 25 
C7G,M  
      THSTART 12 `"}).{N]C  
^>&#F[aT  
      FOV 0 .5 .707 1 P 4t@BwU$  
      FWT 1 1 1 1 END :
<bh
QY  
      SPECIAL PANT X.S<",a{qz  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 &tvtL  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 %gs?~Xl)]  
      CUL 1.6 [|YvVA  
      FUL 1.6 END M]p-<R\  
i-w$-2w  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 }:{9!RMO  
      M 0 1 A P HH 1 Xp9I3n
d|  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT N&p0Emg  
      M 0 10 A DI3 END XVqkw@Ia4!  
      GO TIME

M49l2x=]9  
      SAVE RIGHT11. K
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      SAVE RIGHT11.

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      COMBINE 23 qbD 7\%  
      RIGHT11