从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

DL$O274uZ  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 X;[$yW9hE  
镜片数22片 EC
q(i(  
物高31mm 1?k{jt~  
物方数值孔径NA 0.2 Q7u/k$qN  
波长为UV F\LAw#IJ  
像方晶圆尺寸是12.66mm tkQ#mipAj  
总长小于1200mm Pv@P(y?\  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 .;),e#  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

|]s/NNU  
      Here is the input for DSEARCH: hsYS<]  
      CORE 14 TIME XEK%\o}  
      DSEARCH 2 QUIET U7GgGMw  
$Sz@u"ig%  
      SYSTEM \q2:1X|  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM r1vF/yt(  
      OBA 15 31 3 31 =v-qao7xCV  
      OSNA .2 TCO [diUO1p  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC 6}b1*xQ  
      END J/OG\}  
>ucVrLm,X  
      GOALS ELEM 11
R<* c  
      TOTL 600 .1 ]yg3|C;  
      TOPD .01 X*4iNyIs_  
      NPASS 50 #Tm^$\*h\]  
      QUICK 20 50 ,gag_o{*a  
      ANNEAL 50 10 Q a| w.G "W  
      SNAP 10 j%_{tB  
      RSTART 1000 .X2fu/}  
      ASTART 25 }K<% h  
      THSTART 12 I[P43>F3  
V?_:-!NJ(  
      FOV 0 .5 .707 1 cOhx  
      FWT 1 1 1 1 END h`{agWB  
      SPECIAL PANT c)L1@qdZ  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 f}1B-  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 no~Yet+<"  
      CUL 1.6 `=}w(V8pc  
      FUL 1.6 END y~16o   
S5%I+G3  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ]x;*Z&  
      M 0 .1 A SAP =x_~7 Xc{  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END /"Z6\T9  
      GO TIME

sN"JVJXi  
     SAVE LEFT11.

ca@?-)  
     SAVE LEFT11.

[wLK*9@&  
      CORE 14 TIME >^fpQG  
      DSEARCH 3 QUIET W##~gqZ/  
xAZ-_}'tW  
      SYSTEM f!H~BMA+a  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM w# iezo. 0  
      OBB 0 4 83.36 W`vgH/lSnZ  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END |(evDS5  
+VE] .*T  
      GOALS ELEM 11 jPDk
~|  
      TOTL 600 .01 X 

npn{  
      FNUM 1 WVa-0;  
      BACK 11 SET zyHHz\{  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 <SPT2NyX  
      QUICK 20 50 !e<D2><^  
      ANNEAL 50 10 Q REK(^1 h  
      SNAP 10 &/\Q6$a  
      RSTART 1000 U8||)+  
      ASTART 25 $2><4~T;|A  
      THSTART 12 Z)Zc9SVC  
+N3f{-{"Yo  
      FOV 0 .5 .707 1 u`ezQvrcy  
      FWT 1 1 1 1 END D_)i%k\  
      SPECIAL PANT ]-2Q0wTj  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 W Z_yaG$U  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 >508-)'  
      CUL 1.6 Cih~cwE  
      FUL 1.6 END 3$~oQC  
uXm_ pQpF  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ||}'  
      M 0 1 A P HH 1 SQSPdR+  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT DwNEqHi  
      M 0 10 A DI3 END 7_G$&  
      GO TIME

.7`c(9<  
      SAVE RIGHT11. 0Mo?9??  
      SAVE RIGHT11.

0rA&Q0  
      COMBINE 23 =-dg]Ol8  
      RIGHT11