从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

.`Rt
  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 m?w_ ]  
镜片数22片 f|{iW E2d  
物高31mm dlYpbw}W&<  
物方数值孔径NA 0.2 zYzV!s2^  
波长为UV 'AA9F$Dz  
像方晶圆尺寸是12.66mm >.meecE?Q  
总长小于1200mm `'1g>Ebk0  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 8}|et~7!  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

Ty g>Xv  
      Here is the input for DSEARCH: &M13F>!  
      CORE 14 TIME 6H|1IrG  
      DSEARCH 2 QUIET S;4:`?s=i  
i$NlS}W  
      SYSTEM J*;RL`  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM A3eCI  
      OBA 15 31 3 31 9xR5Jm>k  
      OSNA .2 TCO Yg&(kmm  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC /p !A:8  
      END 4)gG
_k  
R*r4)+gd  
      GOALS ELEM 11 w<(ubR %$  
      TOTL 600 .1 p@jw)xI  
      TOPD .01 g*YDgY  
      NPASS 50 @j\:K<sk  
      QUICK 20 50 `w!XO$"]Z  
      ANNEAL 50 10 Q G^.N$wcv  
      SNAP 10 RqA>"[L  
      RSTART 1000 n\+c3  
      ASTART 25 0he3[m}Nr  
      THSTART 12 nXT`7  
Bve|+c6W  
      FOV 0 .5 .707 1 81Z;hO"~  
      FWT 1 1 1 1 END .~i|kc]Ue  
      SPECIAL PANT Da-Lf2qT9  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55
pwFdfp  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 {w2] Is2F  
      CUL 1.6 ` @QZK0Ox  
      FUL 1.6 END )Q1>j 2&  
BA h'H&;V  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 RBQ8+^  
      M 0 .1 A SAP P<vl+&*  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END 2F2Hl  
      GO TIME

c!\Gj|  
     SAVE LEFT11.

X /c8XLe"  
     SAVE LEFT11.

s[8.
l35|  
      CORE 14 TIME E+\?ptw  
      DSEARCH 3 QUIET e0(/(E:  
nI3p`N8j*  
      SYSTEM VukbvBWPN  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM &GLDoLk6[  
      OBB 0 4 83.36 k{2Gq1S{  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END *q6XK_  

:Q`Of}#  
      GOALS ELEM 11 T
nQ>v{Rx  
      TOTL 600 .01 p)SW(pS  
      FNUM 1 aBC5?V*e%  
      BACK 11 SET p4P=
T@:  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 {.LJ(|(Mz  
      QUICK 20 50 RiTL(Yx  
      ANNEAL 50 10 Q pN^
g.  
      SNAP 10 IP`lx  
      RSTART 1000 4 
{M   
      ASTART 25 /NQrE#pb  
      THSTART 12 %mQ&pk  
iDDJJ>F26  
      FOV 0 .5 .707 1 Sqa9+' [  
      FWT 1 1 1 1 END obvE m[x!Z  
      SPECIAL PANT BvP\c_  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 e(s0mbJE  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 ?!Y_w2  
      CUL 1.6 y7+@  v'  
      FUL 1.6 END |Z>-<]p9g  
fizW\f8ai  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ^t3>Z|DiB^  
      M 0 1 A P HH 1 ddgDq0N1j  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT |YLja87  
      M 0 10 A DI3 END _WNbuk0  
      GO TIME

L"jA#ULg  
      SAVE RIGHT11. 
'ayb`  
      SAVE RIGHT11.

WHx#;  
      COMBINE 23 Zv}F?4T~:  
      RIGHT11