从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 ExY]Sdx  
镜片数22片 zsEc(  
物高31mm E<{R.r  
物方数值孔径NA 0.2 APn
|\  
波长为UV !1jBC.G1  
像方晶圆尺寸是12.66mm QUwd [  
总长小于1200mm *.ll<p+(-  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 lLX4Gq1  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

O@T9x$  
      Here is the input for DSEARCH: GvtG(u~  
      CORE 14 TIME `&r+F/Ap2  
      DSEARCH 2 QUIET gD-d29pQ  
4M=]wR;  
      SYSTEM Avge eJi  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM m4[;(1  
      OBA 15 31 3 31 vONasD9At  
      OSNA .2 TCO 9%o32eo,3  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC 8l>?Pv  
      END h"[AOfTE$  
j;r-NCBnz  
      GOALS ELEM 11 ejd(R+  
      TOTL 600 .1 r5/0u(\LB  
      TOPD .01 cjY-y-vO  
      NPASS 50 %1L,Y  
      QUICK 20 50 0+ '&`Q
!u  
      ANNEAL 50 10 Q Zi i  
      SNAP 10 _[3D  
      RSTART 1000 *^4"5X@  
      ASTART 25 rlLMT6r.8  
      THSTART 12 `wVyb>T  
T -2t.Xs  
      FOV 0 .5 .707 1 F>l] 9!P|m  
      FWT 1 1 1 1 END T^KKy0ZGM  
      SPECIAL PANT cT,sh~
-x,  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 {
\5
  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 SnfYT)Ph  
      CUL 1.6 ;^*W+,4WB  
      FUL 1.6 END Hn"RH1Zy  
Otuf]B^s  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 a=2%4Wmz  
      M 0 .1 A SAP 7NGxa6wi  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END D,feF9  
      GO TIME

yN-9[P8C  
     SAVE LEFT11.

(9a^$C
*  
     SAVE LEFT11.

|6-nbj  
      CORE 14 TIME QXK{bxwC  
      DSEARCH 3 QUIET N!}f}oF  
$&c*'3  
      SYSTEM h*\%
vr  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM ~n_HP_Kf?  
      OBB 0 4 83.36 m&3xJuKih  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END +}AI@+  
z1a7*)8P  
      GOALS ELEM 11 n$R)>nY  
      TOTL 600 .01 tuX
|\X  
      FNUM 1 gX@aG9  
      BACK 11 SET bN.Pex  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 6A ah9  
      QUICK 20 50 7tp36TE  
      ANNEAL 50 10 Q "dlVk~  
      SNAP 10 0g;|y4SN=  
      RSTART 1000 eMzk3eOJ  
      ASTART 25 j>kqz>3  
      THSTART 12 t{>q|0  
<UCl@5g&  
      FOV 0 .5 .707 1 ,zc(t<|-y  
      FWT 1 1 1 1 END jEwIn1  
      SPECIAL PANT >Q*Wi  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 \2z>?i)  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 Ys7]B9/1O  
      CUL 1.6 d(K+);!  
      FUL 1.6 END a'T;x`b8U,  
fqd^9wl>P6  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ~ri5zb20  
      M 0 1 A P HH 1 gM]:Ma  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT q\%I#1  
      M 0 10 A DI3 END /{2,zW  
      GO TIME

QV8g#&z  
      SAVE RIGHT11. :'ptuY  
      SAVE RIGHT11.

=MWHJ'3-/  
      COMBINE 23 sos5Y}  
      RIGHT11