从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

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< 0~g  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 x97 j  
镜片数22片 :A1{d?B  
物高31mm &=#[(vl  
物方数值孔径NA 0.2 %<E$,w>
 
波长为UV N F2/B#q  
像方晶圆尺寸是12.66mm  /<HRwG\w  
总长小于1200mm vV[eWd.o6M  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 g6Q!8  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

{k>Ca  
      Here is the input for DSEARCH: qR(\5}  
      CORE 14 TIME N$h{Yvbn  
      DSEARCH 2 QUIET WKT4D}{1  
8S%52W|  
      SYSTEM F{EnOr`,m=  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM @\0Eu212  
      OBA 15 31 3 31 Q?3Gk%T0[  
      OSNA .2 TCO jqv-D  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC 7]9 a<  
      END <1FC%f/  
u:[vaBh91  
      GOALS ELEM 11 jgbLN/_{  
      TOTL 600 .1 _{r=.W+w  
      TOPD .01 VG,u7A*Z#  
      NPASS 50 RnhL< Ywu  
      QUICK 20 50 'f[T&o&L/  
      ANNEAL 50 10 Q c%&:6QniZ  
      SNAP 10 LM}Ib.  
      RSTART 1000 V>R8GSx  
      ASTART 25 UG2nX3?  
      THSTART 12 >c9a0A  
lmfi  
      FOV 0 .5 .707 1 s0DGC  
      FWT 1 1 1 1 END BB~OqZIP  
      SPECIAL PANT ]T;EdK-  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 TYJ:!  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 4d8B`Fa9  
      CUL 1.6 Z$0uH*h  
      FUL 1.6 END |`lzfe  
t: #6sF  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 b!sRk@LGZ  
      M 0 .1 A SAP F{eU";D  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END :cq9f2)  
      GO TIME

cfcim.jB  
     SAVE LEFT11.

Q\cjPc0y  
     SAVE LEFT11.

<5NF;  
      CORE 14 TIME \8<BLmf4U  
      DSEARCH 3 QUIET zipS ]YD  
NX|v=  
      SYSTEM B>GE9y5  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM iMs5zf<M  
      OBB 0 4 83.36 du)~kU>l  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END Dh5X/y  
[P 06lIO  
      GOALS ELEM 11 |1b
_3?e  
      TOTL 600 .01 2I&o69x?  
      FNUM 1 SQqD:{#g"  
      BACK 11 SET
PB#fP_0C  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 q|8{@EMT  
      QUICK 20 50 91$]Qg,lB  
      ANNEAL 50 10 Q <L`"!~Q  
      SNAP 10 DwrO JIy  
      RSTART 1000 :cGt#d6  
      ASTART 25 P#fM:z@[  
      THSTART 12 TZ2=O<Kj  
yQ^($#Yk  
      FOV 0 .5 .707 1 9nH?l{As  
      FWT 1 1 1 1 END *,Za6.=  
      SPECIAL PANT 6S+U&Ce\  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 Db6om7N  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 f-5:wM&  
      CUL 1.6 mZx&Xez_G  
      FUL 1.6 END h=(DX5:A  
x-?{E
  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 CMn{LQcC  
      M 0 1 A P HH 1 xia|+  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT ds&e|VSH;  
      M 0 10 A DI3 END 7c~u=U"  
      GO TIME

$6CwkM:  
      SAVE RIGHT11. 2At
LyN'.  
      SAVE RIGHT11.

"m^' &L  
      COMBINE 23 *P#WDXRwd  
      RIGHT11