从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

'@bA_F(  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 }_x oT9HUr  
镜片数22片 NeP1 #  
物高31mm g!UM8I-$  
物方数值孔径NA 0.2 L3\{{QOA  
波长为UV 3ji#
"cX  
像方晶圆尺寸是12.66mm DTY=k  
总长小于1200mm @P>@;S  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 4g9VE;Gd  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

&gfQZxT  
      Here is the input for DSEARCH: ;RI,zQ  
      CORE 14 TIME Sl#XJ0 g  
      DSEARCH 2 QUIET W` V  
\I=:,cz*,  
      SYSTEM &0`L;1R  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM E}u\{uY  
      OBA 15 31 3 31 =O<BMq{d  
      OSNA .2 TCO 9S^-qQH3}  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC tz{]H9  
      END ?{V[b
m  
V RL6F2 >6  
      GOALS ELEM 11 i%iU_`
 
      TOTL 600 .1 s*@.qN  
      TOPD .01 =9M-N?cV  
      NPASS 50 6SwHl_2%  
      QUICK 20 50 CT : ac64  
      ANNEAL 50 10 Q LO229`ARr|  
      SNAP 10 0IK']C  
      RSTART 1000 {+MMqJCa  
      ASTART 25 :?TV6M  
      THSTART 12 K+Qg=vGY  
FP$]D~DMo  
      FOV 0 .5 .707 1 sC j3h  
      FWT 1 1 1 1 END (|-/S0
AV  
      SPECIAL PANT .B@;ch,  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 Tm `CA0@  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 =uH`EkY:  
      CUL 1.6 'D bHXS7N  
      FUL 1.6 END = FQH  
bm^ou#]|  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1
9Y(<W_{/  
      M 0 .1 A SAP !O\r[c  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END *KMCU m  
      GO TIME

_%x|,vo`(  
     SAVE LEFT11.

B:l(`G  
     SAVE LEFT11.

nV<YwqK  
      CORE 14 TIME ]ba<4:[Go  
      DSEARCH 3 QUIET W[YtNL;  
</eh^<_~  
      SYSTEM "_^FRz#h  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM _K8-O>I "  
      OBB 0 4 83.36 A;kB"Tx  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END MRs8l  
T+\BX$w/4e  
      GOALS ELEM 11 N%0Z> G  
      TOTL 600 .01 |YH1q1l  
      FNUM 1 q+N}AKawB  
      BACK 11 SET rh+OgKi  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 #xO`k1W.  
      QUICK 20 50 Yz,*
Q<t  
      ANNEAL 50 10 Q 
9TeDLp  
      SNAP 10 *e^ZH  
      RSTART 1000 5~qr+la  
      ASTART 25 ]xuq2MU,l  
      THSTART 12 CxO)d7c  
hM;EUW
v  
      FOV 0 .5 .707 1 wc;5tb#  
      FWT 1 1 1 1 END {r Gx*<e  
      SPECIAL PANT $jm'uDvm  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 5ewQjwW0  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 <)M?qkjb  
      CUL 1.6 2WKA] l;  
      FUL 1.6 END ,7eN m>$  
>~6 ;9{@  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 FrB19  
      M 0 1 A P HH 1 U\51j  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT ?L_#AdK  
      M 0 10 A DI3 END -
QR
KDp  
      GO TIME

wTOB'  
      SAVE RIGHT11. Bs^W0K$uBO  
      SAVE RIGHT11.

Am-JB
 
      COMBINE 23 'A4Lr  
      RIGHT11