从零开始设计的微光刻透镜：SYNOPSYS 光学设计软件

Do&/+Ssnu  
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。 Rn-RMD{dh  
镜片数22片 fv",4L  
物高31mm /M1 /  
物方数值孔径NA 0.2 '!%Zf;Fjr  
波长为UV x(Us O}  
像方晶圆尺寸是12.66mm }RvP*i  
总长小于1200mm %;r0,lN|II  
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 9"H]zfW  
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：

pUz;e#J|  
      Here is the input for DSEARCH: c9eLNVM  
      CORE 14 TIME h!L/ZeRaV  
      DSEARCH 2 QUIET q)ns ui(  
D# "ppa}  
      SYSTEM B7fV_-p:G  
      ID DSEARCH LEFT UNI MM A80r@)i  
      OBA 15 31 3 31 5IPZ;
  
      OSNA .2 TCO EC4RA'Bg1k  
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC X7*i-v@  
      END (0=e ,1 n  
 jx3J$5  
      GOALS ELEM 11 :|\{mo1NB  
      TOTL 600 .1 XRMYR97  
      TOPD .01 &C.{7ZNt  
      NPASS 50 
/>Z`?  
      QUICK 20 50 _^2rRz  
      ANNEAL 50 10 Q !`rR;5&sT  
      SNAP 10 a&Stdh  
      RSTART 1000 DO#!ce  
      ASTART 25 tR,&|?0  
      THSTART 12 )e$}sw{t  
\D9J!K82  
      FOV 0 .5 .707 1 YQ&Ww|xe  
      FWT 1 1 1 1 END r{V=)h  
      SPECIAL PANT \Tc<27-  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 +ti_?gfx  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 =peodj^  
      CUL 1.6 vbo:,]T<A  
      FUL 1.6 END 't+ J7  
RZtY3:FBx|  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ,[ UqUEO  
      M 0 .1 A SAP L*Gk1'  
      M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END a,GOS:?O5  
      GO TIME

7wivu*0  
     SAVE LEFT11.

|4J ;s7us  
     SAVE LEFT11.

UP18?uM  
      CORE 14 TIME rjFIK`_w  
      DSEARCH 3 QUIET +[JvpDv%  
C#^V<:9  
      SYSTEM \F$Vm'f_  
      ID DSEARCH RIGHT UNI MM [9wuaw"~[Z  
      OBB 0 4 83.36 Y]xFe>  
      WAVL .354732 .354712 .354692 END _(U|Kpi  
ma!rZn  
      GOALS ELEM 11 Xjy5
Yj  
      TOTL 600 .01 kBh*@gf  
      FNUM 1 kM0TQX)$m  
      BACK 11 SET <|!?V"`3  
      TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50 N)kZ2|oD  
      QUICK 20 50 TpB4VNi/<  
      ANNEAL 50 10 Q qhdY<[6
 
      SNAP 10 f: j9ze  
      RSTART 1000 FZvh]ZX  
      ASTART 25 \]j{  
      THSTART 12 '7oW
N,-  
6T?$m7c  
      FOV 0 .5 .707 1 }f l4^F  
      FWT 1 1 1 1 END cYC@@?  
      SPECIAL PANT m-<"`:+  
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 wM-I*<L>  
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 F}f/cG<X  
      CUL 1.6 4Y2!q$}I+  
      FUL 1.6 END tdCD!rV`{  
X6T*?t3!9[  
      SPECIAL AANT ADT 7 .01 1 ;JD/4:  
      M 0 1 A P HH 1 Jq5](F!z  
      M 0 10 A P YA 1 S GIHT O`;e^PhN  
      M 0 10 A DI3 END 4N!Eqw  
      GO TIME

)K.'sX{B  
      SAVE RIGHT11. ~7G@S&<PK(  
      SAVE RIGHT11.

QY^v*+lr\  
      COMBINE 23 @@1Sxv_  
      RIGHT11