SYNOPSYS 光学设计软件课程三十二:鬼像分析
sg8[TFX@Z 你的镜头看起来很好,光阑设计的很好。但是当你测试它的时候,每当一个明亮的光源进入到视场中,可以看到一个糟糕的鬼像。这不是一个好结果,而且这种情况经常发生。 >t_h/:JZ) 为了避免这种意外,你可以在MGH对话框(菜单、鬼像),通过这些工具在设计的早期发现问题,并在完成前纠正它们。 L</k+a?H! 简而言之,鬼像是由镜头系统内的两次不需要的反射光引起的光的聚焦图像。 如果您有3片透镜,则有15个可能的鬼像。 有6片透镜,你有66种可能性,依此类推。 要查看其中一些工具可以执行的操作,请使用ID MIT 1至2 UM镜头对镜头1.RLE进行FETCH。 然后看看PAD显示。 R*=88ds
AP:Q]A6} 打开MGH对话框 F)Iz:
[=BccT:b 在左上角是GHOST按钮。这一特性用于近轴光线追迹来寻找鬼像,当然,它所发现的鬼像与真实光线形成的鬼像有所不同。尽管如此,结果通常很接近,你可以看到问题出现的地方。你可以给镜头中的任何一个或所有的表面分配反射系数,当程序估计它发现的每一个鬼像的强度时,它会考虑这些值。对话框以默认的1%反射率打开,应用于所有的镜头表面。单击GHOST按钮。 J%u,qF}h 你会得到如下数据。首先分析所有表面的组合;输出的一部分如下所示。 v YJ9G"E --- GHOST R 0.01 @-ml=S7;Sz ID MIT 1 TO 2 UM LENS )dd1B>ej] /go|r ' GHOST IMAGE ANALYSIS Kl,NL]]4*5 eaAGlEW6J --- R 0.01 ALL "<"m}rE?Q --- END Nq%ir8hE NO. GHOST SURF Ymarg U'marg Ychief INTENSITY i\,I)S%yJ _________________________________________________________________________ .* )e24` H$+@O- 1 2 - 1 -30.0244 -0.3778 7.3095 1.10930E-11 Vu,e]@ 2 3 - 1 27.2543 -0.3984 4.6907 1.34627E-11 Z]e`bfNnI 3 3 - 2 63.5945 -0.2721 4.1819 2.47264E-12 Mg~4) DW] 4 4 - 1 -46.5167 -0.2920 4.9249 4.62149E-12 =C2KHNc 5 4 - 2 -25.1674 -0.3088 6.6272 1.57879E-11 P8(hHuO 6 4 - 3 -75.6813 -0.4937 4.4156 1.74591E-12 ?<`oKBn 7 5 - 1 -45.8712 -0.2619 4.0455 4.75247E-12 Gp{,v 8 5 - 2 -27.0481 -0.2839 6.4039 1.36686E-11 [!De|,u(^ 9 5 - 3 -72.6068 -0.4577 2.7558 1.89691E-12 <5?pa3 10 5 - 4 -3.4550 -0.3402 6.5304 8.37735E-10 _u+ 7> 11 6 - 1 0.5515 -0.5074 4.2824 3.28758E-08 XEnu0gr 12 6 - 2 44.1259 -0.4028 8.4078 5.13585E-12 a%A!DzS 13 6 - 3 -38.8865 -0.5677 1.4386 6.61305E-12 P6&%`$ 14 6 - 4 67.9018 -0.0930 9.4364 2.16889E-12 1uO2I&B 15 6 - 5 66.9185 -0.0241 8.9874 2.23310E-12 g)5mr:\ 16 7 - 1 -26.2150 -0.5336 -37.0598 1.45513E-11 n)~*BpL3 17 7 - 2 17.4775 -0.4677 31.7392 3.27372E-11 f S[-K?K 18 7 - 3 -71.3906 -0.6925 -107.3067 1.96208E-12 vK%*5 QgI[#d{ 在Ymarg标题下,注意表面6和1组合的最小值0.5515。这告诉您从表面6反射,然后从表面1反射的光将到达像面,形成(近轴)弥散斑半径约1/2毫米。 这可能是个问题。 如果您的镜头很长,通过检查第二个列表更容易找出问题鬼像: /Kd7#@ CUMULATIVE GHOST DISTRIBUTION \{}dn,?Fv NORMALIZED FOR DETECTOR SEMI-APERTURE 0.0100 Zwm/ c]6` RC/45:hZZ NO. GHOST INTENS. ACCUM. INTENS. SURFACES _6Y+E"@zs _____________________________________________ 'Oj 1@0*0 6 1.74591E-12 1.74591E-12 4 3 vQ
L$.A3> 9 1.89691E-12 3.64282E-12 5 3 EJ>&\Iq 18 1.96208E-12 5.60491E-12 7 3 a}uYv: 14 2.16889E-12 7.77380E-12 6 4 sO`
oapy 15 2.23310E-12 1.00069E-11 6 5 o K>(yC[ 3 2.47264E-12 1.24795E-11 3 2 FpiTQC7d 20 3.94955E-12 1.64291E-11 7 5 d=n@#|3 19 4.15611E-12 2.05852E-11 7 4 #1/~eIEY 4 4.62149E-12 2.52067E-11 4 1 {"+M%%`*# 7 4.75247E-12 2.99592E-11 5 1 (-g*U# 12 5.13585E-12 3.50950E-11 6 2 a%e` 13 6.61305E-12 4.17081E-11 6 3 m`9nDiV 21 6.62606E-12 4.83341E-11 7 6 W&=OtN
U! 1 1.10930E-11 5.94271E-11 2 1 D8<C7 2 1.34627E-11 7.28898E-11 3 1 3*&
Y'/! 8 1.36686E-11 8.65584E-11 5 2 vjq2(I)u 16 1.45513E-11 1.01110E-10 7 1 uN:KivVe 5 1.57879E-11 1.16898E-10 4 2 wS);KLe3 25 2.20749E-11 1.38973E-10 8 4 h7E~I
J 26 2.25477E-11 1.61520E-10 8 5 i1|>JM[V 17 3.27372E-11 1.94257E-10 7 2 ~L"$(^/ 24 5.08281E-11 2.45085E-10 8 3 T#H^
}` 23 5.72162E-11 3.02302E-10 8 2 4/Y?e UQ 28 8.28536E-11 3.85155E-10 8 7 $8)XN-%( 10 8.37735E-10 1.22289E-09 5 4 eD?&D_l~6 27 3.67946E-09 4.90235E-09 8 6 oX;.v9a 22 1.09304E-08 1.58327E-08 8 1 2}A)5P*K 11 3.28758E-08 4.87085E-08 6 1 J7* o%W*V <@<bX 在这里,鬼像被分类,最严重的鬼像显示在数据底部,并且它们计算累积的强度,并列出和总结。实际上,累积的鬼像强度,4.87E08主要是来自于那个单独的鬼像,它的强度是3.29E-9。现在我们知道鬼像从哪里来了。让我们看看效果。 HiA E9 为此,打开名为GHPLOT.MAC的MACro。 (通过本课程,您应该知道如何使用MACro编辑器,您可以使用命令EE打开它。)这是MACro: 755,=U8'wi ; GHPLOT.MAC oGRk/@ ; THIS EXAMPLE EXAMINES THE GHOST IMAGE IN A LENS ; IT RUNS GHPLOT IN ALL FOUR MODES. cvaG[NF Ln4]uqMG. CCW ! CLEAN UP FIRST; CLEAR COMMAND WINDOW W!wof-1 KAG Qz,2PO FET 1 st;iGg CHG ! AND CLOSE GRAPHICS WINDOWS hhze5_$_ CFIX ; FIX CLEAR APERTURES TO DELETE VIGNETTED GHOSTS kU[hB1D5 VIG ~= *o END 7a1o#O ; AND TURN ON VIG MODE IF OFF rXi&8R[ SSS .003 ==OUd6e} ; SMALL SPOT SIZE HERE ^Hv&{r77 GAW ; NEED NEW WINDOW FOR EACH PICTURE (GRAPHICS ADD WINDOWS) w6i2>nu_O GHPLOT 4000 P 10 .5 0 1 ; SELECT MODE 1, INDIVIDUAL RAYS UDh\%?j R .01 ALL ; THIS IS ALSO THE DEFAULT REFLECTANCE :QGkYJ PLOT |Dn Zk3M, vN'+5*Cgy6 GHPLOT 20000 P 1 .5 0 2 L ; NOW GET AN OBLIQUE PERSPECTIVE VIEW DRAD .0004 UZI:st
PLOT TP
rq:"K ,*J@ic7" GHPLOT 20000 P 1 .5 0 3 L ; THIS MAKES COLORED BINS m ol,iM*l DRAD .0004 w'K7$F51 PLOT 9j:]<?D,A 8>9Mh!t}(I GHPLOT 400 P 1 .5 0 4 L ; AND THIS DRAWS A SINGLE GHOST WITH PER SINGLE 6 1 (oGYnN,2 PER 0 0 0 1 99 gz~oQ
l)zJ PLOT QN#"c l8FJ \5'M GRW ; RESTORE GRAPHICS OPTION (GRAPHICS REUSE WINDOW) ]E-/}Ysz SBreA-2 GHPLOT有四种模式,在继续之前,最好先阅读他们。 由于此MACro已经在编辑器中,只需选择字符GHPLOT,然后查看TrayPrompt 。 )8A.Wg4S;c
N1Vj;- 于这是一个多行命令,因此提示无法显示整个格式,但如果在显示提示时按F2键,则帮助文件将打开索引中的该部分。 我们将在本课中使用所有四种模式。 对GHPLOT的第一次调用使用模式1,生成在图像平面上HBAR = 0.5处的对象点叠加的所有鬼像图像: ]q1w@)]n}
zMv`<m% 在视场中间确实有一个黑色的斑点。 这可能是我们之前标记过的鬼像。 模式2分析显示与倾斜透视图相同的能量分布: /oT~CB..
YVMvT>/, 那个尖峰确实是我们的鬼像。 另一种查看它的方法显示在mode-3图中: `;j1H<L
k24I1DlR8 最后,模式4绘图选出了特定的一组反射(我们所需要的)并绘制出一组子午面的扇形光线。 !T,<p
,^([aK 在这里,光从左边进入变为红色,从表面6反射后变成蓝色,然后在表面1处第二次反射后变成绿色。它确实在像面聚焦,但是有很多球差 所以鬼像不是很尖锐。 f'oTN!5WF 再看一下MGH对话框,您会看到我们还没有使用过的其他四个功能。 让我们在0.5视场区域追迹真实鬼影的路径。填写框 如图所示,然后单击RGHOST按钮。 MJ JC6:
Cw,a)XB 输出数据: <D.E.^Y --- RGHOST 6 1 0 .5 SURF ^3dc#5]Xf RAY VECTORS (X DIR TAN) (Y DIR TAN) (INC. ANG.) )/jDt dI SURF X Y Z ZZ HH UNI uOA/r@7I}S _____________________________________________________________________________________ }_nBegv OBJ 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 8.750000E-12
"du(BZw 1 0.000000 8.750000 0.442564 0.000000 -0.056702 5.790967 ni/s/^ 2 0.000000 8.540210 0.142402 0.000000 -0.086503 1.334779 R4'.QZ-x 3 0.000000 8.256701 1.510615 0.000000 -0.246653 15.791928 G<?RH"RZr 4 0.000000 6.624679 0.478579 0.000000 -0.384916 5.591649 ,/?J!W@m 5 0.000000 6.274262 0.388953 0.000000 -0.226690 13.957837 sE?%;uBb --- RAY REVERSES AFTER NEXT SURFACE --- +j 9+~ 6 0.000000 5.481374 -0.886627 0.000000 0.444814 f SkC>mWv 5 0.000000 6.994957 -0.483893 0.000000 1.206445 y~+LzDV 4 0.000000 7.951450 -0.691073 0.000000 0.498903 t{]
6GlW 3 0.000000 10.791512 -2.647176 0.000000 0.470102 NPH(v` 2 0.000000 12.783436 -0.319172 0.000000 0.221387 xw8k<` 1 0.000000 13.505397 1.058091 0.000000 -0.095157 4mDHAR%D 2 0.000000 13.193103 0.339970 0.000000 -0.151262 CH4Nz'X2 3 0.000000 12.414364 3.579028 0.000000 -0.404621 xRWfZ3E# 4 0.000000 10.296378 1.164810 0.000000 -0.674892 HIc;Lc8$ 5 0.000000 9.767857 0.947929 0.000000 -0.369535 ^UvL1+ 6 0.000000 8.241826 2.077523 0.000000 -0.148082 #`_W?-%^ 7 0.000000 4.247415 0.334421 0.000000 -0.153884 nk|(cyt) 8 0.000000 3.743737 0.107527 0.000000 -0.282387 eQ'E`S_d GHOST REFLECTED FROM SURFACES 1 6 AT SURFACE 9 E:9RskI X Y ZZ HH (d&" @ --------------------------------------------------------------- _/:- -Z 0.00000 -0.828738 0.00000 -0.282387 5S4Nx> (f&V 7n 光线从表面6反射,然后再从表面1反射,并进入像面,其Y坐标为-0.829mm。 这确实是一个糟糕的鬼像。 $*{,Z<|2 如果你在设计过程的早期就发现了这个问题,那么它很容易控制。键入HELP GHOST,然后选择描述控制鬼像的链接。 j0L%jz
791v>h 这将打开一个描述如何控制鬼像的页面。 DNmC
10.3.1.5 鬼像图像控制 下一个已有目录 rPB Ju0D" 鬼像图像由来自一个或多个折射表面的反射引起。 SYNOPSYS可以评估和控制两种类型:GHOST程序可以显示哪些表面的组合会导致鬼像的产生,而BGI可以评估在镜头系统内的另一个位置形成的鬼像的属性。 I;XM4a 从一个选定的近轴鬼像,为了控图像制弥散斑的大小,输入是 Kh3i.gm7g M TAR WT A PGHOST JREFH JREFL &3iI\s[ a0ms9%Y;Q[ 在这里,您可以看到控制鬼像所需的简单输入。 您的AANT文件中的命令是 ]4t1dVD M 5 0.1 A PGHOST 6 1 1Lf - L[zTT\a 调整权重使其他像差很好地平衡。 如果我们达到这个目标,鬼像将是以前的1%。 5的目标有点随机; 一个面积更大的鬼像也是一个更暗的鬼像,这猜测是一个很好的开始。 l3u [ 我们发现,这个过程通常会对指定的鬼像产生很大的改进。然而,另一种反射组合通常会产生新的鬼像,这就需要在优化函数中使用鬼像和另一种PGHOST像差进行另一种评估。当它们出现的时候,你把它们加起来,直到你到达一个点,在这个点上,许多鬼像的强度大致相同。我们从来没有遇到过这样的情况:这种强度高到足以成为一个问题。如果是的话,那么是需要在问题表面上使用镀膜来解决了。
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