| xunjigd |
2018-12-10 16:56 |
VirtualLab：高NA物镜聚焦的分析
摘要 $$T a
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高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 e#ne 5
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建模任务 d. y-R#F_]
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[attachment=89263] ~mT( [ V
概观 ]!WD">d:
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光线追迹仿真 /)V8X# ,
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•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 2-rfFqpe
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•点击Go！ TcH7!fUj
•获得3D光线追迹结果。 lkQ(?7
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光线追迹仿真 mHc5NkvQC
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@.h;k4TD
•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 ohPDknHp
•单击Go！ 9Hs5uBe
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 (5)DQ 1LaF
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场追迹仿真 P A$jR
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 W<Asr@
•单击Go！ wU&vkb)k
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[attachment=89267] j$r2=~1
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场追迹结果（摄像机探测器） # 6 M3BF
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3d(:Y6D)
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 xDn #=%~+x
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 R(#ZaFuo[
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 f+4j ^y}
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场追迹结果（电磁场探测器） ' -rRD\"q
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 \mNN ) K@
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文件信息 'E4}++\
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更多阅览 ??,/85lM
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- Imaging of Sub-Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination A%.Z esjAx
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（来源：讯技光电）
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