| cyqdesign |
2018-10-10 09:40 |
IBM正尝试利用石墨烯超越7nm制程
早在4年前,IBM投入了30亿美元用来研发纳米电子器件,最近IBM的研究人员首次实现了在石墨烯表面以97%的准确性在特定的石墨烯基底上沉积如量子点、碳纳米管、层状纳米材料等。采用了纳米材料经典的自上而下和自下而上的混合工艺, .9[8H:Fe X{9JSq [attachment=87067] y9re17{
X 0x9F*i_ [attachment=87068] %RT6~0z EU&3Pdnd [attachment=87069] rz%[o,s ,P; a/{U [attachment=87070] w7*b}D@65\ 1X!f!0=g+ [attachment=87071] *nUpO] 3Av(|<cR 1、在碳化硅基底上生长石墨烯,再揭下放在硅/氧化硅晶片上; uYFcq 2、刻蚀石墨烯,产生层积位点,没被刻蚀的石墨烯充当下一步的电极; ]cGz~TN~ 3、在交流电场中使溶液里的纳米材料被附在石墨烯层积位点附近; Z+h70,| 4、除去石墨烯层积电极。 }5Tyz i( 这种方法的最大好处在于能够以纳米级分辨率层积各种纳米材料,石墨烯电极使得层积的纳米材料有很好的取向和密度。 Gad2EEZ%0 在石墨烯上层积纳米材料不失为一种跨越摩尔定律的好方法。 "
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