SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
Xn^gxOPM . S4Xw2MS 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 6a51bj!f 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: //S/pCqED RLE c L}}^ ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file t$m~O?I WA1 .6328 ! Single wavelength U<QO@5 UNI MM ! Lens is in millimeters u+"3l@Y# OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. 'M+iw:R__ 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . musZCg$ 2 RD -5 TH 2 GTB S *o <S{ SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog yU]NgG=z:- 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find f-&4x_5 !spacing so ray height is 5 mm on next surface \7o&'zEw RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 Gv?3T Am8 E0]B=- UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. Ib3n%AG 7 ! Surfaces 6 and 7 exist |X@ZM 2>3#/I9Y AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. y5gTd_- END ! End of lens input file. mDZ/Kp{ }wZ9#Ll 优化命令如下 DtLga[M CHG [vCZoG8+> NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 (Ubz@s^ 4 PIN 2 &-M>@BMy 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 +ve S~ END %<c2jvn+k [H ^ktF PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 b?S,% VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 ;w0|ev6| VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 ?Vg251-H VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 g{0a]'ph VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 mN+
w, VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 /o@6?UH VY 3 G 6 Mkc
VY 3 G 10 lsJl+%&8 VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 Z',Z7QW7 VY 4 G 6 uW4)DT9[5 VY 4 G 10 !V/Vy/'`* END I_ O8 9Sgn ZbBz@1O AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 oY)xXx AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 jUnS&1]MF ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 }.`no ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 ]/31@RT LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 I'W`XN M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 ?fv5KdD M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 3(?V!y{@ ",&^ f M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 :@x_& b M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 LTsX{z M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 XR2Gw4] M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 NA@<v{z M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 YF)uAJ Ak M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 } J_"/bB M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 Vc2(R^ M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 ]Q8[,HTG M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 "INIP? M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 d `eX_] Z M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 7dxe03h M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 0Wd2Z-I M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 goa@e M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 LpV2XL$p># M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 ([g[\c,H M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 8rV"? m`S M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 ICvl;Q M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 3haR/YN M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 d2~*fHx_! M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 `eo$o! GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 W{@,DQ GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 Yee%
<<S END +Oxw?`I$ -e2f8PV?3 SNAP z*oeho SYNO 50 b7uxCH]Z
*(+*tjcWa 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 .
.5s2 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 J]AkWEiCJ 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 " z8iuF 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 2h;#BJ)) 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 Hoj'zY 这是最终设计的FLUX图: w%2|Po5 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? /s~(? =qYH SYNOPSYS AI>OPD #qnK nxD E[=#Rw!* SYNOPSYS AI>SFA 5 P N9S?c f,(@K% ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 C
CDO8 SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS 0F5QAR
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7>{ FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 C#l9MxZE COLOR NUMBER 1 Z@ dS,M* L> \/%x>Wx REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR EYy|JT]B XEN OPD (WAVES) ^1\[hyZ! ________________________________ LLV1W0VO=P 0.200 -0.000865 0.400 K%@#a}kRb -6.675373E-05 0.600 b/]@G05>> 0.000361 S=zW
wo$ 0.800 -0.000651 M> rertUR 1.000 -0.000791 8mnzxtk sUl
_W"aQ 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! X[E!q$ag 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: P3_&( STORE 9 3E$h
W CHG .a_xQ]eQ 1 SIN p5V.O20 1 TH 0 6DxT(VU} CFIX '-2|GX_o END C'&t@@: DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE '{F
Od_uk% GET 9 @tfatq+q aUyJi 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 J,_IHzO~Z 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 A4IPd ADEF 3 PLOT ADEF 'iikcf*)C 4 PLOT =|O><O| {^N90,! 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: hNL_e3 ADEF 3 FRINGES eCy]ugsi% 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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