SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
T&c0j( +dw$IMwb 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 Gx
ci 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: '^)Ve:K-. RLE HgPRz C ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file ~s{yh-B WA1 .6328 ! Single wavelength
]fvU}4! UNI MM ! Lens is in millimeters mr
dG-t(k OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. kwU~kcM 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . x%ju(B> 2 RD -5 TH 2 GTB S _-eF
&D SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog /4J2F9:f 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find _xT=AF9~o !spacing so ray height is 5 mm on next surface WJbdsPs RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 DG,CL8bv =+9.X8SP UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. F(c~D0 7 ! Surfaces 6 and 7 exist /HbxY 6X2>zUHR AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. lPF(&pP END ! End of lens input file. N=FU>qbz Y^80@MJ 优化命令如下 ^HYmi\` CHG Tap=K|b ]
NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 5[l9`Cn&A 4 PIN 2 M:x?I_JG8 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 u=NpL^6s< END #-$\f(+< MDn+K#p PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 rI34K~ P VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 Gh}k9-L VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 $ZX^JWq VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 V
;Kzh$^rk VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 ^2Sa_. VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 <Y~?G:v6+ VY 3 G 6 BzBij^h VY 3 G 10 @V{s'V VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 H.`>t VY 4 G 6 YI05?J} VY 4 G 10 E^uau=F END z
d
9Gi5& 3C'`c= AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 v~^c-]4I AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 YT!QY@qw ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 'Gwa[ |6i ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 P|}~=2J LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 oFt]q
=EU M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 U-.?+` M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 ?DPNa n{vp& M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 v%RcwVt| M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 dm3cQ<0 M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 Mf0!-bu M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 K"'W4bO#7 M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 OiPE,sv M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 &1O[N*$e M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 "=)i'x"0" M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 tBEZ4 W>67 M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 WK7=z3mu M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 b|U48j1A M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 cgKK(-$ny M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 ~F7 +R M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 ,a_F[uK M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 [s?H3yQ. M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 {XYv&K M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 6itp
Mck M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 `jY*0{ M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 u@d`$]/>F M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 $Yfm>4 M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 q^}QwJw GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 /BC(O[P GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 dRg1I=|{_ END J;+AG^U< `5}XmSJ?5 SNAP ,ry2J,IT7 SYNO 50 X$,#OR 0Eq.l < 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 ;p~@*c'E 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 T
xRa&1 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 hg7`jE&2 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 2GRh8G&5 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 =L~,HS(l, 这是最终设计的FLUX图: xM85^B' 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? H?8uy_Sc SYNOPSYS AI>OPD (mXV5IM :HhLc'1Jw SYNOPSYS AI>SFA 5 P N>;"r]Rl" btb-MSkO ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 * bmdY=#7 SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS r-]Au - mMO:m8W FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 *ie#9jA COLOR NUMBER 1 7SYU^GD 2#'{Q4K REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR 88Yp0T<1 XEN OPD (WAVES) F;yq/e#Q ________________________________ vvw6 GB,M 0.200 -0.000865 0.400 }S'+Ytea -6.675373E-05 0.600 [>#?C*s 0.000361 !$hrK6o 0.800 -0.000651 X
tZ0z? 1.000 -0.000791 l i}4d+ 5{qFKo"g@, 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! dix\hqZ 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: UzFd@W u# STORE 9 7(na?Z$
CHG f5zxy!dhKS 1 SIN 69(z[opW 1 TH 0 N8:?Z#z CFIX KZeRbq2jJ END ^dH#n~Wx0 DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE <9eQ GET 9 P"W$ZX =UA-&x@ 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。
OM{-^ 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 K^?yD ADEF 3 PLOT ADEF K)$.0S9d 4 PLOT & PrV+Lv w(n&(5FzB< 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: 5gZ0a4 ADEF 3 FRINGES 3WS`,} 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
|