SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器
r4iNX+h?V 8/)\nV$0Y 在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 N80ogio_Tk 让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件: RA<ky*^dr RLE =bD.5,F) ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file tb~E.Lm\ WA1 .6328 ! Single wavelength $nmt&lm UNI MM ! Lens is in millimeters MhHh`WUGh OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. bskoi;)u 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . nrev!h 2 RD -5 TH 2 GTB S %zGv+H? SF6 ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog FNLS=4 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find z-gMk@l !spacing so ray height is 5 mm on next surface *Xk5H,: RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 }gXhN" Qm3F=*)d UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. Iv 7 ! Surfaces 6 and 7 exist 3)W_^6>bM !6X6_ +}M AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. !~?/D END ! End of lens input file. (kY0< Rjq\$aY}% 优化命令如下 @hA`f4^ CHG UJqh~s NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 &UnhYG{A 4 PIN 2 v+{{j|x= 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 %eofG]VM< END (S W6?5 &D{!zF PANT ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 *Lz'<=DLoW VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. 四个半径变化 pEcYfj3M VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 yN`hW&K VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 , 2#Q> VY 4 CC ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 ]3,9."^ VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 L$O\fhO? VY 3 G 6 T8g\_m VY 3 G 10 .+XK>jl+ VY 4 G 3 ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 /hqn>t VY 4 G 6 '/UT0{2;rS VY 4 G 10 1-^D2B[- END
K!9K^ h ZJWpb AANT ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 ?q4`&";{3 AEC ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 o>(<:^x9 ACC ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 EmO[-W|2 ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 TEo LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 0|-}>>qb\ M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 iB
W:t M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 oh$"?N7n1 '"7b;%EN' M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 `.JW_F)1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 T5}3Y3G,6 M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 -E6av|c,F M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 ]8 }2 M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 u{=h%d/ M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 NvIg,@} M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 rG~W=!bj M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 \9p.I?= M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 f@ |[pT M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 d!T,fz/-. M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 T2]8w1l&K M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 "2C}Pr,p8 M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 d_$0 M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 ZMMx)}hS M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 p#4*:rpq4 M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 J&h59dm- M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 *>qc6d@' M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 ]7k:3"wH M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 JE:LA+ ( M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 lt4IoE`tk? GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 DI;LhS*z GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 S6bYd` END CZ]Dm4 WLU_t65 SNAP :,p3&2I SYNO 50 :
^}!"4{ W?E01"p 虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 \M.?*p 如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 9.dZA9l@g 此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 Ag:/iB] 让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 K'8?%&IQ 这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。 q'H6oD` 这是最终设计的FLUX图: LC=M{\ 曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样? N4VZl[7? SYNOPSYS AI>OPD >clVV6B )ZLj2H < SYNOPSYS AI>SFA 5 P VWdTnu fuHNsrNlm ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 n3V$Xtxw SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS .
&}x[~g d<ES FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 ?\4kV*/Cqz COLOR NUMBER 1 hA/Es?U] ho^c#>81 REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR ?S=y>b9R XEN OPD (WAVES) R=R]0 ________________________________ |uFb(kL[U 0.200 -0.000865 0.400 ?T%"Jgy8 -6.675373E-05 0.600 F\;l) 0.000361 {s*1QBM$\Z 0.800 -0.000651 !Y UT* 1.000 -0.000791 _z]v;Q K\ pZ 这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! '^7Z]K <v 为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前: `{w|2 [C3 STORE 9 BH}rg,]G CHG !F6rcDK I 1 SIN [=.iJ5,{2 1 TH 0 F@t\D? CFIX IYptNR END %T<c8w}dP DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE r#ADxqkaV GET 9 UDkH'x$= 8EiS\$O- 这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 \mb@-kM) 现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。 ;gJAxVD< ADEF 3 PLOT ADEF c2GTN " 4 PLOT tQxAZ0B^ g(jn
/Cx 这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: buKkm$@w ADEF 3 FRINGES `tH F} 这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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