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optics1210 2018-09-05 09:58

SYNOPSYS 光学设计软件课程十二:非球面激光光束整形器

O\%0D.HEz  
YXdo&'Q<qX  
在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。 @x *,fk  
让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件:

a,fcR<  
RLE e\*(F3r  
ID LASER BEAM SHAPER     ! Beginning of lens input file eOZ~p  
WA1 .6328               ! Single wavelength v+<4?]EJ  
UNI MM               ! Lens is in millimeters MdTu722  
OBG .35 1               ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. AOTtAV_e  
1 TH 22                ! Surface 2 is 22 mm from the waist . : 'jVA  
2 RD -5 TH 2 GTB S 'Ir   
SF6     ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog jpMMnEVj6P  
3 UMC 0.3 YMT 5          ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find d9T:0A`M  
!spacing so ray height is 5 mm on next surface E?Qg'|+_  
RD 20 TH 4 PIN 2          ! Guesses for surface 4 k6\&[BQs  
7|!Zx-}  
UMC 0 TH 50           ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. 6&2{V? W3  
7                    ! Surfaces 6 and 7 exist bp}]'NA  
}C~9 ?Y  
AFOCAL                       ! because they are required for AFOCAL output. ._.Qf<7  
END                    ! End of lens input file.
IiX2O(*ZE  
byZj7q5&Q  
优化命令如下
,wyEo>>4)  
    CHG VArMFP)cz  
    NOP                  ! Be sure there are no pickups or solves. 确保没有拾取或解决方案。 ZA'0 q  
    4 PIN 2 ]^@m $O  
    5 TH 10 UMC 0         ! move surface 6 before the caustic在焦散前移动表面6 ~ntDzF  
    END (^<skx>  
_m%Ab3iT~  
    PANT                   ! Start of variable parameter definition. 开始定义变量参数 <LX-},?P  
    VLIST RAD 2 3 4 5   ! Vary four radii. 四个半径变化 N[yS heT  
    VLIST TH 3          ! Vary the central airspace. 改变中心的空气间隔。 @%^h|g8>Fu  
    VY 3 CC              ! Vary the conic constant on surface 3. 改变表面3上的圆锥常数 ~C?)- ]bF  
    VY 4 CC              ! And on surface 4. 改变表面4上的圆锥常数 m*KI'~#$%  
    VY 3 G 3            ! Add three aspheric terms to surface3. 向表面3添加三个非球面项 8Qkwg]X  
    VY 3 G 6 )cm^;(#pV  
    VY 3 G 10 EKmn@S-&P  
    VY 4 G 3             ! And three to surface 4. 表面4也添加3个球面顶 9*r l7  
    VY 4 G 6 bGlr>@;-r  
    VY 4 G 10 b~TTz`HZ  
    END 8N4E~*>C  
H*",'`|-  
    AANT                   ! Start of merit function definition. 开始评价函数定义 r8o^8.  
    AEC                   ! Enable automatic edge feathering control. 启用控制边缘厚度 =^)$my\C:  
    ACC                   ! Enable automatic center thickness monitoring启控制中心厚度 bhfC2@  
    ASC                   ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. 启用自动坡度控制,因此曲线不会太陡峭 h +9~^<oFl  
    LUL 100 1 1 A TOTL  ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. 限制近轴总长度不超过150毫米。 Rgz zbW  
    M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 &uf|Le4  
    M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. 为表面5,6上的边缘射线分配5 mm的目标。 +9# qNkP  
G P ' -  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. 瞄准边缘射线点和on之间的通量差!在表面上轴线指向0。 ^<j =.E  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1     ! Target the flux at the 0.99 aperture point. 将光通量定位在0.99孔径点。 &NI\<C7_Gw  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1     ! And so on, for a set of zones. 等等,对于一组区域进行设置。 Z07n>|WF-  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 q$}gQ9'z'  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 k<rJm P{  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 Yv"B-oy  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 nM99AW  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 +\>op,_9I  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 iD>H{1 h  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 0J;Qpi!u2v  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 g5*?2D}dqX  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 FY/F}C,o  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 &Cr4<V6-q  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 yFTN/MFt  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 H9WXp&  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 *mW2vJ/B  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 TW1#'G_#  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 pK0@H"$8  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 zbvV:9N  
    M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 C87 9eeJ  
    GSO 0 .01 10 P          ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01将10条光线的SFAN的OPD定为零,权重为.01 -<(RYMk*)  
    GSR 0 50 10 P           ! And also target the ray angles to zero. 并且还将光线角度定为零。 ?5j~"  
    END #E_<}o  
bb-u'"5^]  
    SNAP fC$@m_-KD  
    SYNO 50
r,P`$-  
va0}?fy.O%  
虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。 ? Q"1zcX  
如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。 9A9T'g)Du  
此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。 Nc?'},  
让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。 :b;`.`@KL_  
这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。
4"\%/kG  
这是最终设计的FLUX图:
iMQ0Sq-%1  
曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样?
4Ujy_E?^  
    SYNOPSYS AI>OPD BW"24JhF"  
y!_8m#n S  
        SYNOPSYS AI>SFA 5 P ^S!;snhn  
+ 7wMM#z  
        ID LASER BEAM SHAPER                       115            20-MAY-17   13:32:54 ieXi6^M$  
        SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS {*K$gH$  
S7~HBgS<  
        FRACT. OBJECT HEIGHT               HBAR      0.000000   GBAR      0.000000 6r`Xi&  
        COLOR NUMBER                          1 Xx\,<8Xn  
CW]Th-xc  
         REL ENT PUPIL   WAVEFRONT ABERR NB-%Tp*d  
              XEN            OPD (WAVES) (ki= s+W-  
        ________________________________ J :KU~`r  
        0.200             -0.000865       0.400 SnM^T(gtS3  
        -6.675373E-05       0.600  , YlS  
        0.000361 ,,lR\!>8  
             0.800             -0.000651 {$ v^2K'C  
             1.000             -0.000791
2HF`}H)H  
WADEDl&,'  
这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计! )c532 y  
为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前:
^1_CS*  
    STORE 9 $KlaZ>D h  
    CHG iU(B#ohW"  
    1 SIN j-ob7(v)*]  
    1 TH 0 .bj:tmz  
    CFIX z:1t vG  
    END 4 =T_h`  
    DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE -"?~By}<C  
    GET 9
U\M9sTqo  
"F4 3q8P  
这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。 A8Km8"  
现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。
08! _B\  
    ADEF 3 PLOT ADEF D]N)  
    4 PLOT
ab]Q1kD  
\C4wWh-A  
这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式: ^)C#  
ADEF 3 FRINGES
ekqS=KfWl;  
这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。

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