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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ +s(JutC  
X[F<sxw  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ E Z^eEDZ  
2 d%j6D  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 oN0p$/La  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 &4aY5y`8+f  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  c=S-g 9J  
:z;}:+7n  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  4KB) UPW  
m"B)%?C#  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) !_+LmBd G  
鍊藥不用通氧、製程要 sje}E+{[  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 w!NtN4>  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 h[()!\vBy  
%@<}z|.4  
^s@?\v  
tS2P|fl  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) z.{T`Pn  
鍊藥不用通氧、製程要 /N+*=LIK I  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 8$<jd^w  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 <5MnF  
....... (2018-08-30 11:38)  &eq>>  
MWGW[V;  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 $Jo[&,  
%'Ebm  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) Oqeoh<y!\  
zYfn;s%A  
要通氣體 + ion beam 1]#qxjZ~  
[*w^|b ?  
不能融溶表示功率不太夠 b|t` )BF  
6=2M[T  
加油 aS?A3h4WM_  
2SEfEkk  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 d-nqV5  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) x0B|CO  
要通氣體 + ion beam Lw<?e;  
....... (2018-09-03 16:10)  #FKo:id`K  
#n5q$  
谢谢，大神
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