ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 d$<HMs:o@ 加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22) \D BtU7"v
yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31) XRVE8v+
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) _!6~o> 鍊藥不用通氧、製程要 289teU 之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 ' p,QI> 之前做紫外的AR 搭配是SIO2 ~E&drl\ ....... (2018-08-30 11:38) s,>1n0a
johnyu:之前做過的經驗是 zTb!$8D"g hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) rxtp?|v9 要通氣體 + ion beam sp*_;h3' ....... (2018-09-03 16:10) afY~Y?PJ<
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