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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ *Mr'/qp,  
3!KEk?I]  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ FPXB>D'  
)u(Dqu\t  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 dRnO5 7+{  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 {b6g!sE  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  L7lRh=D  
.xp|w^  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  ] PnE%  
B43o_H|s  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) 79^on8k}  
鍊藥不用通氧、製程要 W&>+~A  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 !!c.cv'  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 [\ JZpF  
h,@x5q>g  
A*h)p@3t<  
/rNY;qXM  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) 0/KNXz  
鍊藥不用通氧、製程要 Q}2w~Cn\S  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 Vxgc|E^J  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 TU. h  
....... (2018-08-30 11:38)  w\t{'  
^ O`  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 */8\Z46z  
3YT _GW{  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) BLJ-' 8G  
^$#Q_Y|  
要通氣體 + ion beam alu`T c~  
wOk:Q4OjL  
不能融溶表示功率不太夠 Vk_L*lcN  
@/7Rp8Fr  
加油 \|&5eeE@  
Q'=!1^&  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 g?`J,*y  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) Nf~<xK  
要通氣體 + ion beam BOG )JaDW  
....... (2018-09-03 16:10)  r5"/EMieh  
3_>R's8P  
谢谢，大神
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