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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> HFO2材料有谁用过？ [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过？

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ =%B5TBG  
N; '] &f  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ xg}Q~,:  
H$+@O-  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 FUarI5#fwF  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 c 3O/#*  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  E?G'F3i  
|ZL?Pqki  
谢谢，大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧，40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  = LNU%0m  
ij$NTY=u  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) zR<{z  
鍊藥不用通氧、製程要 8\rca:cF   
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 ?>;aD  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 vwT1bw.  
.o/|]d`%  
K1 "HJsj  
gy}3ZA*F  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) efyEzL  
鍊藥不用通氧、製程要 D!* SA  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 46f- po_  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 <\~@l^lU  
....... (2018-08-30 11:38)  ]4O!q}@Cd  
ar@,SKU'K  
谢谢，大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 t]sk[  
#IppjaPl8  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) F4=X(P_6  
*/{y%  
要通氣體 + ion beam HA c"&#pG  
R Q 8"vF#  
不能融溶表示功率不太夠 &(< Gr0  
~e|E5[-i  
加油 }G(#jOYk  
[Qr_0O  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 `OZiN;*|  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) Q*f0YjH!  
要通氣體 + ion beam e ?Jgk$"  
....... (2018-09-03 16:10)  "-HWw?rx/  
P-Gp^JX8  
谢谢，大神
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