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chenliang1990 2018-08-23 11:41

HFO2材料有谁用过?

各位大神,请教一下,关于HFO2这个镀紫外的材料,这个材料需要欲融和通氧气吗?怎么融不成液态的呢? ;r**`O  
`pB]_"b  
HFO2和MGF2搭配好,还是和SIO2搭配好呢?哪个更好呢! WyO7,Qr\   
!!jitFHzb  
[attachment=85986]
ouyuu 2018-08-24 23:22
融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 X4- _l$j  
加大电流或者减小光斑试试看。
chenliang1990 2018-08-25 09:28
ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 Ap{2*o  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  |k # ~  
qtx5N)J6  
谢谢,大神的指教
yzhuang 2018-08-27 10:31
需要充氧,40SCCM或更多
chenliang1990 2018-08-27 16:50
yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  7R$]BY=  
&DqeO8?Q  
谢谢,大神的指教,与MGF2搭配好,还是SIO2更好了。
rexchou 2018-08-30 11:38
能量需要比較高(跟Ti比起來) wYf9&}k\4  
鍊藥不用通氧、製程要 hBSci|*f  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 6j]pJ]F6  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 ]FJpe^ ua  
zUw9  
SI:+I4i  
D@Zb|EI%<  
chenliang1990 2018-08-30 11:53
rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) `P&L. m]|  
鍊藥不用通氧、製程要 $ ]/a/!d  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 Xa._  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 ~]71(u2  
....... (2018-08-30 11:38)  ni#!Gxw  
dm60O8  
谢谢,大神指教
johnyu 2018-09-03 16:10
之前做過的經驗是 W&[}-E8<Y  
@g*=xwve=~  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) X0X!:gX  
A &i  
要通氣體 + ion beam A*I mruV  
i[b?W$]7  
不能融溶表示功率不太夠 W`fE@*k0  
28L3"c  
加油 >r7{e:~q  
c43" o  
chenliang1990 2018-09-07 14:34
johnyu:之前做過的經驗是 ): C4"2l3  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) +0;n t  
要通氣體 + ion beam @= )_PG  
....... (2018-09-03 16:10)  4f~hd-z  
LR D71*/  
谢谢,大神
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