SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
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H,Ik&{@j 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 I]dt1iXu_{ 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 Nd] w I|> RLE ,dZ&i!@? ID FIVE-ELEMENT LENS 124 p#fd+ WAVL .6562700 .5875600 .4861300 WhY8#B'? APS 5 6&Al9+$ UNITS MM G5K_e:i OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 %%-hax.x0X 25.40000 SmR"gu MARGIN 1.270000 .NOh[68' BEVEL 0.254001 <R%]9#re 0 AIR E?@batIrf 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 s1/:Ts[3i 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 -kZOve|5 1 GTB S 'LASFN30 ' ;uK">L[u' 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 pl.D
h 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 D%k`udz< 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR 'c")]{ 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 @jvF[wi; 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 N9s ,.. 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 gr%!<2w 3 CTE 0.830000E-05 -N4km5 3 GTB S 'SF57 ' _0uFe7sIZ 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 L(Ffa(i 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 ?jDdF 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR icnc5G 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 Z[&7NJo( 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR >^!qxb- 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 5qx,b&^w 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 l'#P:eW 6 GTB S 'LAKN12 ' fQtV-\Bc 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 FN)vFQ#J 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 e?"XMY 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR $2?10}mrx 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 uk\-"dS 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 ZV?~~_9 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 uBPxMwohR 8 GTB S 'LAKN12 ' pO~lVM 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 Ig*qn# Dd 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 pP`KI'aUN 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 lN<,<'&^. 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 p?q~.YY 9 CTE 0.810000E-05 GdxMHnn= 9 GTB S 'SF6 ' RkW)B^# 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 /<\B8^yQ 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 D02_ Jrg 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR b<N962 q$q 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 Lh"!Z 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR @H?_x/qBT END 6tKm'`^z4 j|N8"8" 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 0d%p<c 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) T==(Pw7R7 PANT &$!'Cw`, VLIST RAD ALL VLIST TH ALL pu"`*NL VLIST GLM 1 3 6 8 9 END kDrqV{_ BV9%| AANT RH+'"f M 1 1 A FNUM U!0 Qf7D M 7.8 1 A BACK 5tIM@,.I/ M 0 1 A DELF j#`d%eQ~J M 0 1 A SA3 K1F,M9 0] M 0 1 A CO3 .7!n%Ks M 0 1 A TI3 \U1fUrw$* M 0 1 A SI3 :-I~-Yj M 0 1 A PETZ x@@U&.1_A M 0 1 A DI3 Pd,+=
ML
M 0 1 A PAC 2rr}5i)r| M 0 1 A SAC ]lKQwpX3 M 0 1 A PLC +&w=*IAKZ M 0 1 A SLC b0~AN#Es END S;582H9D UP@a
?w SNAP ~}c`r 4 SYNO 30 f-V8/ UHtxzp =[ 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 /<HEcB 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! 3E!#?N|v 我们用命令查看三阶像差 6Q&*V7EO THIRD d" "GG/ SYNOPSYS AI>THIRD :uAW ]m#.MZe ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 q;))3aQe THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS V7zF5=w FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT x<0-'EF/S 50.804 25.400 8.958 !Cm<K*c"&E /ry#q%? THIRD-ORDER ABERRATION SUMS P(_wT:8C? SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION {\OIowa (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) RaKfYLw -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 > n~l\
fC PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS CvCk#:@HM AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT Y4%Bx8 (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) v;E7UL
.w -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 Fh XR!x^ SYNOPSYS AI> )\:cL GM
Pez 7HKW: 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? cT8`l!RD< ID FIVE-ELEMENT LENS _)J;PbK~ KfU4#2} THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS FtUO gL)| FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT RLypWjMx$ 50.800 25.400 8.957 Xd_86q8o wW3fsXu THIRD-ORDER ABERRATION SUMS c2}?[\U] SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION C043h?x (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) &%~2Wm -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 Y$%/H"1bk Md \yXp PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS ZQT14. $L AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT xw*T?!r=V (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) x%ZgLvdp, -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 /B$"fxFf }]pq&v! 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 ta>:iQa 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 a!,q\p8<t0 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: ^h+<Q%'a' SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO i|X ;n 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 Q 'R@'W9 RLE *p;Fwj] ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 5oQy
$Y FNAME 'L6L2.RLE ' r5qp[Ss3F MERIT 0.145212E-01 LOG 236 ~X^L3=!vf WAVL .6562700 .5875600 .4861300 tT}*%A APS 4 Y`S9mGR# GLOBAL OO@ (lt [&n2 yt UNITS MM RVv@x5 OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 ,?GEL>F 25.40000 6(4FC?Y7 0 AIR ;BV1E|j 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 B\a-Q,Wf 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 JcEPwF. 1 CTE 0.630000E-05 |3f?1:"Z 1 GTB S 'SK16 ' :E/]Bjq$; 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 2f1WT g) 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 gc-yUH0I 2 CTE 0.790000E-05 Z~^)B8 2 GTB S 'SF15 ' .OM m"RtK 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR f&glY`s# TH 1.00000001 AIR jnvi_Rodm TH 5.00000000 'qS&7
W( 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 1u&}Lq( 5 CTE 0.820000E-05 -QL_a8NL 5 GTB S 'K5 ' DVxW2J 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR K!6k< 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 Q=lQ y 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 2xvTijO0 7 CTE 0.820000E-05 T] \_[e:' 7 GTB S 'F2 ' l5ww-#6Z 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR 12;"=9e! 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 mG2*s ^$ 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 ~"89NVk" 9 CTE 0.820000E-05
DjK:) 9 GTB S 'F2 ' JQQP!]%} 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 _p/
_t76s 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 tW;1 10 CTE 0.820000E-05 k3::5& 10 GTB S 'K5 ' ( /{Wu:e 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR Heatt?(RR 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 6p%;:mDB 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 BtS#I[-p_ 12 CTE 0.630000E-05 '`Eb].s* 12 GTB S 'SK16 ' lAU`7uE 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 :,03)[u{8 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 @l:\0cO 13 CTE 0.820000E-05 Jylav: 13 GTB S 'F2 ' -ju&"L B 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR rf_(pp) 14 CV -0.00120156 fQcJyX 14 UMC -0.10260000 (LzVWz m 14 TH 86.31660394 #?8dInu> 14 YMT 0.00000000 b6sj/V8 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR >ENZ['F END Eb66GXF[ ]cvP ! 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 H1iewsfzH 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: mm(Ff >O 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 z97RNT|Y7U THIRD SENS KECo7i= e ID 8-ELEMENT TELEPHOTO OKs1irt5 t]LOBy-Kv NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY gE$D#PZa ^ Q]I)U SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 EaaLN<i@0 SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 k I SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 wp7<0PP SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 8D3|}z? SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 yf7p,_E/ SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 Kx,#Wg{H SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 pRyePxCDj) SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 %mKM9>lf# ASA ]7qyO 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 m,YBk<Bx M .001 100 A ECD5 2wR?ON=Q C sXV0 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 4#?Sxs 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 Zi'}qs$v THIRD SENS A=8%2UwI ID 8-ELEMENT TELEPHOTO oPP`)b$x NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 />^ sGB SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 g
i>` SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 WbF[4x SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 /G*]3=cSe SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 k# -u!G SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 FfEP@$ SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 aY:u-1 SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 pjG/` ->"Z1 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 ~4-:;8a M 7 1 A ACT D@.+B`bA f8ucJ.{" 透镜视图如下: a6Zg~>vX 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) 4WspPHj 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 R*PR21g 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 Owd{; 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 !q]@/<= 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 ZQ@Ul M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 ,u.G6"< B h<DqN 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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