SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
V`,[=u?c &JhIn%=- 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 fslk7RlSKg 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 &n]Z1e}5 RLE _8li4;F ID FIVE-ELEMENT LENS 124 s.;KVy,=Bu WAVL .6562700 .5875600 .4861300 qH%L"J APS 5 [gkRXP[DGs UNITS MM xrVZxK:! OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 (U'7Fc 25.40000 RA/ =w& MARGIN 1.270000 p
(xD/E BEVEL 0.254001 t+!gzZ 0 AIR ~|Ih
JzDt 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 EB2^]? 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 ;}eEG{`Y 1 GTB S 'LASFN30 ' #~URLN 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 rfXF 01I 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 YY:iPaGO 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR [> &+*c 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 I0l.KiBm 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 '5xuT _ 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 W|H4i;u 3 CTE 0.830000E-05 +?j?|G 3 GTB S 'SF57 ' F*4Qa 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 TtwJ,&b 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 0J:U\S 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR <S8I"8{Mb 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 ~e`;"n@4 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR SEQO2`]e: 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 QVSsi
j 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 =>:% n 6 GTB S 'LAKN12 ' @%G' U&R{ 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 @8M'<tr<z 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 >|_gT%]5 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR e1`)3-f 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 vN0L(B 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 g~Nij~/ 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 cu479VzPx: 8 GTB S 'LAKN12 ' f=_Bx2ub 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 ]O[+c*|w 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 U=c5zrs 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 Nn,vdu{^2 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 z6FbM^;; 9 CTE 0.810000E-05 8V=HyF# 9 GTB S 'SF6 ' S&
, Ju% 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 Gh$y#0qr 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 cy& 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR <nOuyGIZ 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 ui.QYAYaV 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR ]xJ'oBhy END K4?t' dd] s]F?=yEp 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 5S|}:~7T 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) , `[Z`SUk` PANT bG5^h VLIST RAD ALL VLIST TH ALL q#Yg0w~ VLIST GLM 1 3 6 8 9 END (sV]UGrZ rSF;Lp)} AANT t3
uB M 1 1 A FNUM ]|C_`,ux M 7.8 1 A BACK 'FPcAW^8 M 0 1 A DELF 6:|!1Pg5 M 0 1 A SA3 PEX26== M 0 1 A CO3 @sB}q 6> M 0 1 A TI3 fR]p+\#8u* M 0 1 A SI3 i_[
HcgT- M 0 1 A PETZ dt-Qu},8- M 0 1 A DI3 3xmiX{1e M 0 1 A PAC d$"G1u~% M 0 1 A SAC ;I!+lx3[ M 0 1 A PLC L;.VEz! M 0 1 A SLC |aI|yq) END dDv{9D, lQp89*b?=U SNAP 9D{u,Q V SYNO 30 ;uM34^ vWqyZ-p,q 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 YiIddQ 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! lgCHGv2@ 我们用命令查看三阶像差 wE,=%?" THIRD 2cs?("8e% SYNOPSYS AI>THIRD 'WKu0Yi^' G zJ9N` ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 ;-3h ~k THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS /gqqKUx FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT AI^AK0.L 50.804 25.400 8.958 c*S#UD+ =Q/w% 8G THIRD-ORDER ABERRATION SUMS ')AByD}Hi] SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION #6*V7@9]3| (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) {&\J)oZ -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 |uQn|"U4 PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS O tXw/ AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT im_w+h%^ (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) E@5zd@[ -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 ^#a#<8Jz SYNOPSYS AI> 9l]UE0yTL/ 07$/]eO%C 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? R7E]*:0} ID FIVE-ELEMENT LENS g)=V#Bglv F`YFo)W THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS 9O),/SH;: FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT 4 "pS 50.800 25.400 8.957 kN'|,eKH4 B]'e$uyL7 THIRD-ORDER ABERRATION SUMS vqrBRlZ SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION E0sbU<11 (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) <ldid]o
# -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 )x$!K[= RtW4n:c PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS r :fwrC AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT &M0o&C-1/ (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) H"Q(2I -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 2"T8^r|U S9OxI$6Y
这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 3M}AxE u 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 ,DE(5iDS 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: TZ^{pvBy SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO Ix( 6 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 D"`%|`O RLE k
TF z_*6. ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 cj$,ob&DX FNAME 'L6L2.RLE ' }R`8h&J MERIT 0.145212E-01 LOG 236 LTg?5GwD\j WAVL .6562700 .5875600 .4861300 Vil@?Y" APS 4 YH6snC$u GLOBAL cNdu.c[@ L=d$"Q UNITS MM slu$2-H OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 S/a/1n$ U 25.40000 '"Bex` 0 AIR =ft9T&ciD 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 ;
qO@A1Hq 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 b OW}" 1 CTE 0.630000E-05 Z$Z`@&U= 1 GTB S 'SK16 ' {;U} :Dx 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 8&i;hZm 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 CKJAZ 2 2 CTE 0.790000E-05 kJ/+IGV^v 2 GTB S 'SF15 ' aLV~|$:2 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR w(aUEWYL TH 1.00000001 AIR Y3D3.T6Q TH 5.00000000 H!p!sn 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 J =b* 5 CTE 0.820000E-05 #]"/{Z 5 GTB S 'K5 ' :RPVT,O} 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR 4"LPJX)Q 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 SO7(K5H, 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 _\p`4-.V 7 CTE 0.820000E-05 AlUJ1^o) 7 GTB S 'F2 ' MY&<)|v\ 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR ^n
t~-% 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 ki#y&{v9Be 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 cS4xe(n8 9 CTE 0.820000E-05 JAN|aCzD 9 GTB S 'F2 ' %?@x]B9Y8E 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 bG52s 10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 tAaYL
\~ 10 CTE 0.820000E-05 %j%%Rn 10 GTB S 'K5 ' `Rrr>vj 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR A5+q^t} 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 %@>YNPD`E 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 DQcWq'yY^ 12 CTE 0.630000E-05 /\~l1.6` 12 GTB S 'SK16 ' I I&< 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 H%FM 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 miPmpu! 13 CTE 0.820000E-05 u]R$]&< 13 GTB S 'F2 ' )ukF3;Gt 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR @ozm; 14 CV -0.00120156 wtq,`'B 14 UMC -0.10260000 r9<V%PHv 14 TH 86.31660394 [
ynuj3G
V 14 YMT 0.00000000 >)4.$#H 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR hRk,vB] END $khrWiX y!F:m=x< 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 t~q?lT 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: g2A"1w<-AH 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 R \ia6 THIRD SENS 5|5=Y/ ID 8-ELEMENT TELEPHOTO Mg+4huT u9BjgK(M NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY xwi!:PAf,o pVY4q0@ SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 f7ZA837Un SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 G<|:605 SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 sLNNcj(Cy> SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 _;#9!"& SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 _nP)uU$ SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 `6UtxJSx SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 ,^HS`!s[ E SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 9Kx<\)-GMD @bE~@4mOu 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 $ND90my M .001 100 A ECD5 b1H7 gXF.on4B 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 uQWp+}>ZJy 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 %iX/y THIRD SENS pcNSL'u+ ID 8-ELEMENT TELEPHOTO QsM*wT&aa NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 jK e.gA SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 Jb9F=s+ SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 \x(.d.l/ SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 bK?MT]%}r SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 sLZ>v SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 g[AA,@p+ SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 J+lGh9G SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 >GmN~"iJ t GC2
^a#~ 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 )Y~xIj> M 7 1 A ACT %Sul4: D# tq0;^L 透镜视图如下: O<>#>[ 公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) %OEq,Tb 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 QE3ryD 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 xb]odYGdW 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 JA< :K0 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 aTG[=)xL M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 SYeE) mI
ZJ9x6|q 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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