SYNOPSYS 光学设计软件课程六:三阶像差的重要性
tejpY PklJU:Pu\U 很多镜头设计初学者和许多镜头设计师都认为,像差必须得到很好的控制。 他们只说对了一部分 - 但这些要求总是指三阶像差,但如果要求三阶像差都为零。 这是不明智的。 rQpQqBu 复制以下透镜文件并将其粘贴到EE编辑器中并运行它。 这是一个五片式透镜。 %[ o($a$ RLE lf R}cx ID FIVE-ELEMENT LENS 124 fM*aZc*Y WAVL .6562700 .5875600 .4861300 @TzUcE APS 5 FL0yRF5 UNITS MM Z 2$S'}F OBB 0.000000 10.00000 25.40000 -8.63996 0.00000 0.00000 'Q.5`o 25.40000 X|R"8cJ MARGIN 1.270000 ,wyEo>>4) BEVEL 0.254001 G('UF1F 0 AIR )"E1/$*k 1 RAD 73.9295960000000 TH 12.00000000 !!~r1)zN 1 N1 1.79798347 N2 1.80318130 N3 1.81530119 hN!{/Gc| 1 GTB S 'LASFN30 ' WO^]bR 1 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 0.000000 7sVO?:bj} 1 EFILE EX2 34.000000 34.000000 0.000000 v~YGef;D 2 RAD -263.9335099999995 TH 5.22356650 AIR y'^b{q@ 2 EFILE EX1 34.000000 34.000000 34.000000 ZiaFByLy 3 RAD -81.3505230000000 TH 6.00000000 W&&C[@Jd3 3 N1 1.83648474 N2 1.84664080 N3 1.87201161 8>X] wA6q 3 CTE 0.830000E-05 UHIXy#+o5 3 GTB S 'SF57 ' gf/<sH2} 3 EFILE EX1 31.841015 33.619003 34.000000 0.000000 F C=N}5u 3 EFILE EX2 33.365005 33.365005 0.000000 A
"'h0D 4 RAD 553.8617899999995 TH 19.92504900 AIR b~TTz`HZ 4 EFILE EX1 33.365005 33.365005 34.000000 *I k/Vu%; 5 CV 0.0000000000000 TH 13.18557900 AIR ]l 6 RAD 169.2089400000000 TH 9.00000000 1XHE:0!dQ 6 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 %Bg>=C)^(1 6 GTB S 'LAKN12 ' JPg^h 6 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 0.000000 %V#? 1{ 6 EFILE EX2 25.241916 25.241916 0.000000 @U =~c9 7 RAD -83.9867310000000 TH 0.10051658 AIR UGoB7TEfn 7 EFILE EX1 25.241916 25.241916 25.495917 4-C'2? 8 RAD 39.2493850000000 TH 34.99484900 5tY/ d=\k 8 N1 1.67418625 N2 1.67790015 N3 1.68646733 58o&Dv6? 8 GTB S 'LAKN12 ' >#Bu [nD% 8 EFILE EX1 22.063038 22.063038 22.063038 0.000000 D28>e 8 EFILE EX2 22.063038 22.063038 0.000000 jk%H+<FU` 9 RAD -24.3037950000000 TH 3.00000000 lKS 2OOYC` 9 N1 1.79607463 N2 1.80516268 N3 1.82772732 bPuO~#iN~ 9 CTE 0.810000E-05 J{nA
?[ 9 GTB S 'SF6 ' L#!m|_Mz 9 EFILE EX1 12.935701 12.935701 13.697701 0.000000 TA~ZN^xI 9 EFILE EX2 11.336482 13.443700 0.000000 )X8N|W>vh 10 RAD 38.6888290000000 TH 7.79631890 AIR FrV8_[ 10 EFILE EX1 11.336482 13.443700 13.697701 aTBFF 11 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR (!9+QXb' END _k(&<1i <s'0<e!./t 让我们制作一个可以有效控制三阶像差的优化MACro。 =L{-Hu/j 在EE编辑器中,输入(L6M1.MAC) 1buO&q!vn PANT z<9Llew^e VLIST RAD ALL VLIST TH ALL -Q%Pg<Q-# VLIST GLM 1 3 6 8 9 END Z!l]v.S IL"N_ux~w~ AANT "2PT]! M 1 1 A FNUM oZi{v]4 M 7.8 1 A BACK O! _d5r&, M 0 1 A DELF ]q&NO(:kbq M 0 1 A SA3 FRayB VHL M 0 1 A CO3 8K&=]:( M 0 1 A TI3 Ss\FSEN!/ M 0 1 A SI3 4"\%/kG M 0 1 A PETZ 9d!mGnl M 0 1 A DI3 -_Kw3x M 0 1 A PAC *0<)PJ T M 0 1 A SAC BW"24JhF" M 0 1 A PLC y!_8m#n S M 0 1 A SLC pB7^l|\] END t~8H~%T>v 3h}i="i SNAP ]3 QW\k~ SYNO 30 Hk=HO|&<XB 'UC1!Z 该MACro将改变所有设计变量并控制F/number ,离焦和后焦距,并同时以三阶像差校正为零作为目标。 输入VLIST RAD ALL将改变所有半径,VLIST TH ALL将改变所有厚度和空气间隔,本例中我们不建议使用VLIST GLM ALL命令,因为该命令将会改变透镜的材料,在这个例子中,我们必须单独声明表面。 wGxH 我们运行这个MACro,得到了一个糟糕的结果! >G As&\4hs 我们用命令查看三阶像差 1had8K- THIRD GH`y-Ul'K SYNOPSYS AI>THIRD A>_,tt
y>^0q/=]?O ID FIVE-ELEMENT LENS 179 01-JUN-17 13:49:05 rU1Ri THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS DZ9^>`* FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT ,
YlS 50.804 25.400 8.958 %N0m $* L<6nM
;d THIRD-ORDER ABERRATION SUMS "+Sq}WR SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION F6C7k9 (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) FOjX,@x& -9.657E-06 -0.00027 -3.991E-05 -6.235E-06 1.060E-05 -0.00056 lR]FQnZ PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS > }kZXeR| AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT 5Sb-Bn (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) '6L@l -0.00276 -0.00027 0.01062 0.00112 =r3g:j/>q SYNOPSYS AI> SIc~cZ!Yu ImbA2Gcs 结果显示 这些像差非常小。那么初始透镜的像差怎么样? vJS}_j]_@ ID FIVE-ELEMENT LENS DhD##5a r`<x@, THIRD-ORDER ABERRATION ANALYSIS +[4y)y` FOCAL LENGTH ENT PUP SEMI-APER GAUSS IMAGE HT jBl$r{L 50.800 25.400 8.957 vG\
b` 0|8cSE<
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THIRD-ORDER ABERRATION SUMS 6?[SlPPE1 SPH ABERR COMA TAN ASTIG SAG ASTIG PETZVAL DISTORTION 7nP{a"4_ (SA3) (CO3) (TI3) (SI3) (PETZ) (DI3(FR)) Ge^,hAM' -0.01806 -0.03730 -0.04236 -0.08744 -0.10998 -0.01754 7xYz9r)w` G\^<MR| PARAXIAL CHROMATIC ABERRATION SUMS Mc$rsqDz AX COLOR LAT COLOR SECDRY AX SECDRY LAT
eC L_c>3! (PAC) (PLC) (SAC) (SLC) PWkSl -0.01215 0.01518 0.00724 0.00478 [jrfh>v MH0wpHz 这些像差要大得多 - 但初始透镜性能要好得多! 所以在像差平衡方面,不要试图将像差校正到极端状态。 .L]5,#2([ 一般人们在设计透镜时,通常只关心两件事:图像是否清晰,是否在正确的位置。 +wQ}ZP& 然而,这些三阶像差在降低公差敏感度上有很重要的作用。 这是因为,当透镜制造偏差越大,三阶像差变化最快。 因此,我们定义了一组可以放入AANT文件的八个定义像差的命令: [JV?Mdzu SAT COT ACD ACT ECD ECT ESA ECO k4E9=y? 以下是如何使用这些像差来放宽透镜公差的示例。 我们优化了下面所示的透镜,并以目标波前权重0.05运行BTOL。 VE}r'MBk RLE q- 0q: ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 236 ~$hR:I1 FNAME 'L6L2.RLE ' q03+FLEfC MERIT 0.145212E-01 LOG 236 %5nEyZOq WAVL .6562700 .5875600 .4861300 T8Q_JQ APS 4 '?g&);4)k- GLOBAL ]>%2,+5 XODp[+xEEt UNITS MM 5?([jAOf OBB 0.000000 5.00000 25.40000 -0.88448 0.00000 0.00000 :"H?phk 25.40000 '2|P-/jU 0 AIR `(=?k[48 1 RAD 107.5431718565176 TH 11.00000000 #;?/fZjY 1 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 b#R$P]dr= 1 CTE 0.630000E-05 {TdxsE> 1 GTB S 'SK16 ' gGx(mX._L? 2 RAD -349.2713337442812 TH 3.00000000 sg49a9`8 2 N1 1.69220502 N2 1.69894060 N3 1.71544645 #kA?*i[T 2 CTE 0.790000E-05 E'5KJn;_7 2 GTB S 'SF15 ' `"<hO
'WU 3 RAD -2.9912862137173E+05 TH 1.00000001 AIR }^j8< TH 1.00000001 AIR ^ meU& TH 5.00000000 5FF28C)>/ 5 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 >yHtGIHe- 5 CTE 0.820000E-05 lyyf&?2 5 GTB S 'K5 ' Q
w - z 6 RAD -90.4865897926554 TH 1.35282284 AIR {9.UeVz 7 RAD -87.2286998720792 TH 3.00000000 " Up(Vj@ 7 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 8eYEi 7 CTE 0.820000E-05 1i_%1Oip 7 GTB S 'F2 ' 5X>~39(r 8 RAD 491.7930148457936 TH 73.15839431 AIR c h((u(G 9 RAD 218.6390525466715 TH 6.00000000 j+{cc: h"X 9 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 o?j8"^!7 9 CTE 0.820000E-05 Aq$1#1J 9 GTB S 'F2 ' V0W4M% 10 RAD -99.1627747164714 TH 3.00000000 FQ`1c[M@
10 N1 1.51981155 N2 1.52248493 N3 1.52859442 B3u/
y 10 CTE 0.820000E-05 dNF_T?E\ 10 GTB S 'K5 ' %<[{zd1C- 11 RAD -182.3746109793576 TH 45.48880137 AIR 9F?-zn;2s 12 RAD -67.5075897018110 TH 3.00000000 ~TeOl|!lE+ 12 N1 1.61726800 N2 1.62040602 N3 1.62755182 $xq04ejJ 12 CTE 0.630000E-05 8oXp8CC 12 GTB S 'SK16 ' \Q1&w2mw 13 RAD -40.7083005956173 TH 7.00000000 D
.LR-Z 13 N1 1.61502503 N2 1.62003267 N3 1.63207204 VmN 7a6a 13 CTE 0.820000E-05 m<kJH<!j 13 GTB S 'F2 ' hvNK"^\p 14 RAD -832.2479524920537 TH 86.31660394 AIR HW,v" 14 CV -0.00120156 BHYguS^qz 14 UMC -0.10260000 \~(kGE--+ 14 TH 86.31660394 ;aX?K/ 14 YMT 0.00000000 \_6 15 CV 0.0000000000000 TH 0.00000000 AIR ZH8 w^} END ?!/8~'xA6 -1d*zySL 一些公差降低得非常快速,如下表所示,其中标称数据是针对此透镜的。 GKSF(Tnj 将透镜位置保持公差很紧导致制造成本将会很昂贵。(看看表面7上的中心公差。)所以我们按如下方式进行: &}7R\co3 1.运行命令THIRD SENS,查看这些参数的当前值。 SK^(7Ws~0 THIRD SENS kR^h@@'F" ID 8-ELEMENT TELEPHOTO 1_v\G }1~9i'o%Z NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY (xVx|:R[<H I"x|U[*B SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 85.107903 !G0Mg; , SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 21.404938 ; '
vkF SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.007657 Zf<T`'_d SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 73.889722 D1 v0`od' SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.003941 U` HY
eJ SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 31.259708 L?N-uocT SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 1.944190 x9a\~XL>a SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.492351 9&.md,U ' =BE ! 2.由于我们主要关注中心误差,我们可能会尝试降低ECD的值,即当元件偏心变化时,CO3的变化。 让我们添加到AANT文件(在L6M2.MAC中)的行 g52)/HM M .001 100 A ECD5 G)t-W%D& \4G9YK-N> 由于ECD已经是一个很小的数字(与列表中的其他数字相比),我们给它一个很高的权重,因此它对评价函数产生了影响。 请记住,我们不能简单地将所有这些值都定为零,因为通常不能设计没有任何像差的透镜元件,并且没有光焦度。 而且,这些量以不明显的方式耦合。 例如,如果减少SAT的值,您可能会发现COT也变小了。 nGYimRYO 你不能给他们各自分配一个独立的值,并期望程序可以自己找到这样的组合。 因此,明智的做法是一次一个地进行,直到找到最适合您透镜的参数。 在这个例子中,控制ECD的值,即可得到透镜。 l"nS+z THIRD SENS xP&7i'ag ID 8-ELEMENT TELEPHOTO Yk|.UuXT NORMALIZED 3RD-ORDER ANALYSIS OF TOLERANCE SENSITIVITY SS OF SA3 BY SURFACE (SAT) = 7.027782 1Q? RD%lkf SS OF CO3 BY SURFACE (COT) = 4.876613 <bSPKTKL SS OF CO3/YDC BY SURFACE (ACD) = 0.001649 ~+Pe=~a[ SS OF CO3/TILT BY SURFACE (ACT) = 19.621736 &Mudu/KTr SS OF CO3/YDC BY ELEMENT (ECD) = 0.001064 x 4L3Z__ SS OF CO3/TILT BY ELEMENT (ECT) = 8.602740 $ B&ZnZ? SS OF SA3 BY ELEMENT (ESA) = 0.185606 -)')PV_+ SS OF CO3 BY ELEMENT (ECO) = 0.127624 su1fsoL0 !bYVLFp=\_ 即使我们只针对其中一个(ECD),请注意所有值都已更改。 该透镜的公差列于上表中的情况A.。显然,现在的公差要宽松得多,尽管这对制造商来说仍然是一个挑战。 让我们再试一试。 这次我们将ACT的值定为7.0,即标称值的1/10。 0;">ETh= M 7 1 A ACT M|%bxG^l RO/(Ldh 透镜视图如下: #Pf<2S
公差列在上面的案例B中。 对于一些公差来说,这可能是更好的预估。 (我们忽略了本课程的可制造性问题:某些元件太薄,应该使用ACM监视器进行控制。) @P75f5p}< 您选择控制的数量取决于您想要影响的公差。 例如,空气间隔的公差可以响应对ESA数量的控制。 另一方面,透镜厚度公差可能对SAT更好地响应。 您必须了解您的透镜,并尝试使用这些工具,以找到最佳目标和最佳BTOL预估。 DgW@v[#BK= 有时这些量的作用是增加评价函数。 通常这不是一个好主意,因为如果像质变得更糟,公差通常会变得更紧。 但是,本课中工具的放松效果有时会超过这种效果,无论如何都会使公差更加宽松。 当然,这只能在一定程度范围之内,如果评价函数太大,你的评价函数应该要求一个要求较低的值。 Pvi2j&W84 我们无法保证任何这些像差目标在任何特定情况下都能起作用,但经验表明它们肯定值得一试。 您的公差可以放宽2到10倍。 !3k-' ),z& 最后,我们提到控制单个元件灵敏度的另一种非常有效的方法是使用SECTION像差。 虽然本课程中讨论的数量适用于所有表面或元件,因此非常易于使用,但SECTION像差仅适用于您指定的表面范围。 如果一个元件仍然被分配了一个非常紧的中心公差,即使你尝试了本节中给出的目标 - 如果某些元件的公差变得更宽松但问题元件的公差变得更紧,可能会发生这种情况 - 你可能只控制那个含彗差或球差的元件。 这使您可以精确控制所需的像差,并且通常值得采取额外步骤。 例如,如果表面13和14处的元件非常敏感,您可以尝试 ,h'Q M 0 .1 A SECTION SA3 13 14 d<Q%h?E LDHu10l 并尝试目标和权重直到获得最佳效果。
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