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ff13326	2018-05-16 22:21
光驰中和器的一些问题想询问有经验的维修人员 x\|@1wQ"6 1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? q_<*esZ, V[o7Jr~ 2.要如何预防镍电击氧化 ? k9}Q7)@ SY%A"bC 謝謝 ^&+zA,aL,A

lishuyu18	2020-02-13 10:12
通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 Z/2,al\ 镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作

ouyuu

2020-02-26 21:07

镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。

你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？
防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。
防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。
副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。

gaofei555	2024-08-09 09:38
ouyuu:镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 1o8wy_eSs 现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 *D2Nm9sl 不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 <>%,}j 9 你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ v2d<o[[C ....... (2020-02-26 21:07) rVY?6OMkd ! 0^;;' 学到了

浮世清欢	2024-08-18 23:21
多谢分享~~~赞

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