| 讯技david |
2018-04-28 14:19 |
VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 ?aguAqG$ PU4-}!K 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 iZ4"@G:, ('2Z&5 m%b#B>J,n 建模任务 FQ0PXYh "8Lv QZ+G2$ 结果 R+El/ya:6 +~sqv?8 6m@B.+1 结果 XRTiC#6 SX&Q5:
ornU8H` 结果 TkVqv v i7e_~K wG73GD38 文件信息 F\jawoO9 tns4 e\ {&a6<y#- Best wishes, #|T2`uYotf 行销部 17621763047(微信同号) yY]E~ --------------------------------------------------------------------- p(fMM : 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 OuKRaZ 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 &A=c[pc Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 z0%tBgqY( Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com [
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