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oprs999 2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指点迷津 SJU93n"G/  
md$[Bs9  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 IX7d[nm39  
<eN>X:_N  
我现在的方法是镀一个5k的膜,然后先测裸片监控片的反射率,再测镀膜后的监控片反射率,导入到MAC里去算N和K,但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样,这里面的原因是啥? ^\N2 Iu>6  
y=h2_jt  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 1+eC'&@Xjt  
74gU 4T  
前题是我是用晶控去控制,不是光控。
洋洋0109 2018-05-11 15:54
我夜想知道!
huangweipeng 2018-05-16 22:09
同求!!!!!
ruby6843 2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) w2{k0MW  
鍍5Q膜厚 3tXtt@Yy  
先以macleod求出基板N與K qgZ(o@\  
再求出藥材N與K QQ2xNNF[  
js2700 2018-06-14 22:06
同求TFC计算  Tooling值的方法  
knight627 2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu 2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm? GQF7]j/  
S<p "k]  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? D VSYH{U4  
(3]7[h7  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 1&jX~'  
(|U+(~PJ  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ fiw~"2U  
;/oMH/,U8  
再來 ZLL0 6p   
J|xqfY@+  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? boN)C?"^h  
k9^P#l@p  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 vpXS!o>/Sn  
P45q}v  
說到這邊其實還是要確定你的手法 JC=Bxv  
~]"}s(J;  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎?  h@W}xT  
<[~x]-  
你可能連基板都不對咧!! 3N]pN<3@  
t4gD*j6J3  
去確認一下吧! 有問題再提出
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