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材料N值和K值
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oprs999
2018-02-23 17:00
材料N值和K值
求各位大神指点迷津
{>64 -bU
_;BN WH
怎么才可以获取正确的材料N值和K值
/Re 67cMQ*
}#g &l*P
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？
+yr~UP_ }
?TDmW8G}J
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。
(.z0.0W
a{;+_J3S
前题是我是用晶控去控制，不是光控。
洋洋0109
2018-05-11 15:54
我夜想知道！
huangweipeng
2018-05-16 22:09
同求！！！！！
ruby6843
2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量)
M_?B*QZJI
鍍5Q膜厚
LEg|R+ 6E
先以macleod求出基板N與K
4 q % Gc
再求出藥材N與K
,rY}IwM w
js2700
2018-06-14 22:06
同求TFC计算 Tooling值的方法
knight627
2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu
2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm?
q?w %%.9]X
KI\ 9 )
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少?
Q &&=:97d
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你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到
kDiR2K&
a[=B?Bd
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ
] RVme^=
]G! APE
再來
# 5{lOeN
ldKLTO*&
你的材料是什麼?介電質材料?金屬?
]3U|K .G
:K \IS `
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的
2C_I3S ~U
Qc 1mR\.5
說到這邊其實還是要確定你的手法
Tz(Dhb,
]V N1Y)
例如:你基板是套入你量的穿透嗎?
$reQdN=~
b3=XWzK5
你可能連基板都不對咧!!
N9H qFp
C0>)WVCK
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