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oprs999 2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指点迷津 Qq>ElQ@  
k2wBy'M .'  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 8ipW3~-4  
mC "7)&,F  
我现在的方法是镀一个5k的膜，然后先测裸片监控片的反射率，再测镀膜后的监控片反射率，导入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样，这里面的原因是啥？ <M`-`v6H  
;HT0w_,  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 w=gQ3j#s  
o8mo=V4j  
前题是我是用晶控去控制，不是光控。
洋洋0109 2018-05-11 15:54
我夜想知道！
huangweipeng 2018-05-16 22:09
同求！！！！！
ruby6843 2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) `GP3 D~  
鍍5Q膜厚 _4~k3%w\`l  
先以macleod求出基板N與K I_K[!4~Kn  
再求出藥材N與K 6O%=G3I  
js2700 2018-06-14 22:06
同求TFC计算  Tooling值的方法  
knight627 2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu 2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm? yi&?d&rK  
.!!79 6hS  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? R+k=Ea&x  
~igRg~k:/  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 -fhAtxkg  
{kT#o3,>w6  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ Xk 5oybDI  
 KhLg*EL  
再來 K@y-)I2]  
!Jh*a *I}  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? J: L-15  
r .{rNR  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 NEZH<#  
.Y+mwvLpRG  
說到這邊其實還是要確定你的手法 Cl%V^xTb  
`6dy U_f  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? 30t:O&2<  
#}nBS-+  
你可能連基板都不對咧!! LqMe'z  
BYTXAZLb  
去確認一下吧! 有問題再提出
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