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材料N值和K值
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oprs999
2018-02-23 17:00
材料N值和K值
求各位大神指点迷津
SJU93n"G/
md$[Bs9
怎么才可以获取正确的材料N值和K值
IX7d[nm39
<eN>X:_N
我现在的方法是镀一个5k的膜,然后先测裸片监控片的反射率,再测镀膜后的监控片反射率,导入到MAC里去算N和K,但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样,这里面的原因是啥?
^\N2 Iu>6
y=h2_jt
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。
1+eC'&@Xjt
74gU4T
前题是我是用晶控去控制,不是光控。
洋洋0109
2018-05-11 15:54
我夜想知道!
huangweipeng
2018-05-16 22:09
同求!!!!!
ruby6843
2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量)
w2{k0MW
鍍5Q膜厚
3 tXtt@Yy
先以macleod求出基板N與K
qgZ(o@\
再求出藥材N與K
QQ2xNNF[
js2700
2018-06-14 22:06
同求TFC计算 Tooling值的方法
knight627
2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu
2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm?
GQF7]j/
S<p "k]
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少?
DVSYH{U4
(3]7[h7
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到
1&jX~'
(|U+ (~PJ
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ
fiw~"2U
;/oMH/,U8
再來
ZLL0 6p
J|xqfY@+
你的材料是什麼?介電質材料?金屬?
boN)C?"^h
k9^P#l@p
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的
vpXS!o>/Sn
P45q}v
說到這邊其實還是要確定你的手法
JC =Bxv
~]"}s(J;
例如:你基板是套入你量的穿透嗎?
h@W}xT
<[~x]-
你可能連基板都不對咧!!
3N]pN<3@
t4gD*j6J3
去確認一下吧! 有問題再提出
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材料N值和K值
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