首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> Macleod,TFCalc -> 材料N值和K值 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

oprs999 2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指点迷津 z HT#bP:o  
5PsjGvm.%  
怎么才可以获取正确的材料N值和K值 -tIye{  
UD=[::##  
我现在的方法是镀一个5k的膜,然后先测裸片监控片的反射率,再测镀膜后的监控片反射率,导入到MAC里去算N和K,但是把材料回推回去看光谱还是和实测的光谱不一样,这里面的原因是啥? 2HO2  
[y~kF?a  
我的想法是机台镀膜随着时间的推移每一层的膜N和K都不一样。 nC(Lr,(  
(&SPMhs_|(  
前题是我是用晶控去控制,不是光控。
洋洋0109 2018-05-11 15:54
我夜想知道!
huangweipeng 2018-05-16 22:09
同求!!!!!
ruby6843 2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) aLl=L_  
鍍5Q膜厚 M@JW/~p'  
先以macleod求出基板N與K d_!}9  
再求出藥材N與K !jf!\Uu[U  
js2700 2018-06-14 22:06
同求TFC计算  Tooling值的方法  
knight627 2018-08-06 13:46
这个 可以探讨,特别误差在金属上面例如TI等,误差很大,真实的n和k导出来!我觉得主要根电子枪关系大,
johnyu 2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm? j\"d/{7Q  
-24ccN;  
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? Ii# +JY0k  
9oIfSr,y  
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 K4 -_a{)/  
y|=KrvMHJ  
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ Kn1T2WSAg  
T(,@]=d,DD  
再來 ?gBFfi  
Qsw.429t  
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? n a*Z0y  
.K1wp G[4  
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 1:Ff#Eq,s  
v_WF.sb~  
說到這邊其實還是要確定你的手法 f|ERZN`uB  
' 9%iHx-<  
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? re,}}'  
9R">l5u  
你可能連基板都不對咧!! R#i`H(N  
)?I*zc  
去確認一下吧! 有問題再提出
查看本帖完整版本: [-- 材料N值和K值 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计