首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 关于电子枪的一些小知识 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

ouyuu 2018-01-23 14:53

关于电子枪的一些小知识

趁最近有空，把我手头的一些小知识和大家分享一下。 >,kL p|gA  
mn(/E/  
1，电子枪的知识（电气） 0 -!?W  
?U}sQ;c$  
电子枪有两个主要电源：（由两个高压接线柱接进） %Fs*#S  
一个给灯丝通上电流，加热灯丝提供热电子；一个给灯丝加上高压，把电子打出去。 f 5mY;z"  
灯丝电流越高，电子就越多；灯丝电压越高，电子速度越快。 1bT' u5&  
这两个都能提高蒸发速率，但一般说来，我们固定住电压，只调节电流。 #dHr&1(  
=kwb` Z/a  
电子枪的三个副电源：（由低压接线柱接进，一般是六根线） ]!]`~ Z/  
偏转电源，是提供一个磁场，使电子枪发射的热电子进行偏转，打到药品上。 o*?[_{x W  
调整XP,YP就是调节的偏转磁场。 '_k>*trV  
p .lu4  
扫描电源，是提供一个磁场，使电子枪发射的热电子不断的在药品上进行扫描， 扫描范围大的光斑就大，扫描范围缩小光斑就小。对应的就是XS和YS。 5z9JhU  
电子枪的最远的那对磁极棒就是控制Y方向扫描的， 所以拆掉这个磁极棒，Y方向上就没有宽度了，看起来光斑就是一条线。 =VCi8jDkP  
1d=0q?nH  
电子枪的其他电路： OY+!aG@.  
电子束打到药品上以后，还会反弹起来。反弹的电子（二次电子）如果不加约束， 就会跑到镜片上去，使镜片带电。 9)#gtDM%J  
一是会吸附小颗粒造成麻点，二是影响离子源水晶片等的工作。 ^xzE^"G6  
所以有些电子枪还会加上一个二次电子抑制器，让二次电子往地面跑。 u![4=w  
N-]\oMc2  
电子枪工作时，如果有药品飞溅进电子枪灯丝附近，会被电子枪灯丝加热蒸发， 导致高压处放电，这个放电过程其实很频繁，所以一般电子枪还有一个灭弧电路。 FrgW7`s[A  
如果灭弧电路发生故障了，电子枪就很容易熄火。
ouyuu 2018-01-23 15:04
2，电子枪的知识（机械） }*xC:A%aS  
电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。 #Y/97_2 xa  
bMSD/L  
1，冷却 9vB9k@9  
电子枪因为功率高，所以一般都是水冷。 cZPbD;e:  
水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。 l :f9Ih  
所以一定要防止空打。（会打穿坩埚盘） }K#iCby4  
防止空打的措施有： QWU5-p9e8  
1，限制镀膜的最高电流 hdo+Qezu:  
2，限制镀膜的最长时间 _JfJ%YXy  
3，坩埚放置及确认的制度（提前准备好装药的坩埚，放置在显眼处，关门前后的确认……） NvXj6U*%  
nwZ[Ygl|  
2，枪头 Z)C:]}Ex  
枪头是指灯丝及周边那部分，因为温度高，离材料近，枪头非常容易沾污，需要及时保养更换。 e}{8a9J<%_  
这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。 <1ztj#B  
如发现外观尺寸不佳，光斑不稳定，电子枪电流不稳甚至打火，枪头及灯丝寿命短等问题，请及时怀疑买到了假货，多安装几次确认一下就可以投诉了。 ##SLwrg  
比如日本电子的270度枪头，假货成本也就几百元。 43UJ#rF  
真货厂家出厂价最低也要7000多。 4U}.Skzq  
n,C D4Nv  
3，坩埚盘 m~Lf^gbG?  
坩埚盘分为点状和环形，环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。 dM);LT8@  
坩埚盘常见故障有卡死，偏位，速度不稳定等。 wxdh?sQ  
定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同，对坩埚位置要采取不同方式进行调整。 sV9{4T~#|  
?AqrlR]5  
4，挡板 e_fg s>o`(  
挡板是非常重要的零部件，挡板设置不好会影响镀膜效果。 9$B)hrJo  
挡板高度越低越好，以电子枪束流打不打为限，可以用铝膜包覆挡板，然后开电子枪的最低电流做实验。 ?K= gg<  
铝膜溶破就代表打到了，然后再往上调30mm左右。 ucIVVT(u  
挡板速度越快越好，但以不打到其他部件，不掉药渣为限。 Y?"v2~;3  
新柯隆一般为1秒。 eY0Ly7  
挡板的打开及关闭位置的确认：坩埚中心点放一小灯（手机或者小头灯，越低越好） nOA ,x  
然后手动打开和关闭挡板，打开时伞架上无阴影，关闭是伞架上无照亮。  ` 4s#5g  
(.jO:#eE%  
5，故障 VZ9e~){xA  
电子枪原理简单，所以一般故障较少。 T>AI0R3  
多数故障是由于保养不良等原因造成的。 IqR[&T)lj  
要注意高压导入的裸铜丝，枪头下面的底座陶瓷也属于耗材，最好每年更换一次。 Y/?DSo4G  
否则因为铜丝损耗（特别是压接处，会少量蒸发导致铜丝变细，接触不良） ; /6:lL  
底座陶瓷绝缘变差造成故障。 \t&n jMWpZ  
另外电子枪本体内有永磁铁，时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化， "6|'& 6&  
此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。 /NPl2\o.  
还有，电子枪电源通常会放在泵房，所以每年大修的时候， B1 jH.(  
最好拆开护板用吸尘器打扫一下，毕竟几千伏高压的东西， cOj +}Hz58  
太脏了会严重影响寿命及稳定性。
ouyuu 2018-01-23 21:34
3，电子枪相关的药品知识 dsft=t8s  
fSb@7L  
药品根据折射率分为低折射率（1.38～1.5）中折射率（1.5～1.8）高折射率（1.8以上）三类。 0$dY;,Q.  
药品特性： X#\P.$  
MgF2：蒸发电流低，面蒸发，硬度高，易吸水 gs2&0rnOy\  
SiO2：蒸发电流低，面蒸发，硬度高，不耐碱， BRQ5  
           易失氧变成黑色SiO，镀膜时需要充氧。 9"l%tq_  
           绝缘电阻高，所以一旦熔融后无法再次蒸发。 n*]x02:LjZ  
Al2O3：附着力强，耐水耐酸（塑胶片寿命要求高时，可用来打底） i~M.F=I5  
ZrO2：附着力强，易形成不均质 wE=8jl*  
TiO2：硬度高，折射率易变 ~m"M#1,ln3  
ZB h@%A  
一般颗粒药材，除SiO2外镀膜前都需要溶药， +\]S<T*;  
目的是为了将颗粒缝隙中的空气和杂质气体（如H2O)排出，以免镀膜中发生溅料。 R|^t~h-  
e[Ul"pMvS`  
各药品蒸发条件如下： Ub-k<]yZ  
药品 m$e@<~To  
蒸発源電流(mA)扫描(XS/YS)速率 9cHNwgD>v  
MgF230～6070/708～12
SiO2顆粒120～17070/7010～12
SiO2环形150～20040/7010～12
Al2O3340～38020/205～7
SiO30～60顆:70　固:406～10
ZrO2280～3500～305～7
Ta2O5（IAD)350～40020/203～4
TiO2350～400　0～103～5
zx19921216 2018-01-29 13:54
学习了，
rexchou 2018-02-01 14:10
ouyuu:3，电子枪相关的药品知识 aIyY%QT  
药品根据折射率分为低折射率（1.38～1.5）中折射率（1.5～1.8）高折射率（1.8以上）三类。 hQrsZv:Q  
药品特性： m_W.r+s~C4  
MgF2：蒸发电流低，面蒸发，硬度高，易吸水 2H0q\zZ  
....... (2018-01-23 21:34)  ;bu;t#  
k{$"-3ed  
請問O大   環型坩鍋轉速建議用多少
ouyuu 2018-02-02 01:12
rexchou:請問O大   環型坩鍋轉速建議用多少 (2018-02-01 14:10)  DFH6.0UW  
f*@:{2I.v  
0.02转每分
Optical_honor 2018-02-11 14:26
电子枪，是做电子显微镜的？
奔跑的小骏马 2018-02-24 10:32
祝家莹:电子枪，是做电子显微镜的？ (2018-02-11 14:26)  {bEEQCweNJ  
gWPa8q<b  
镀膜机的好不。
光迹 2018-05-23 13:47
ouyuu:3，电子枪相关的药品知识 '~ 0&m]N  
药品根据折射率分为低折射率（1.38～1.5）中折射率（1.5～1.8）高折射率（1.8以上）三类。 i/z7a%$   
药品特性： kvn6 NiU  
MgF2：蒸发电流低，面蒸发，硬度高，易吸水 @d|9(,Q  
....... (2018-01-23 21:34)  \9^@,kfP  
H2vEFnV  
很好的资料
光迹 2018-05-23 13:47
光迹:很好的资料 (2018-05-23 13:47)  ZUycJ-[  
<>TBM^  
感谢感谢
zksddn 2018-08-03 15:49
很好的资料，书上没有的，谢谢了！
wuldone 2018-08-12 16:44
多谢楼主  学到了
ouyuu 2018-11-08 08:45
电子枪的安全使用。 dq2v[? *R  
在电子能量大于5KeV的时候，电子打到原子会激发X射线。 XJ"9D#"a>  
所以使用电子枪设备需要有屏蔽X射线的措施，特别是视窗玻璃。 .kVga+la?  
正规厂家都会使用电磁屏蔽玻璃（派热克斯）来做视窗玻璃。 Dp8(L ]6  
但市场上那些副厂，多数是耐热的石英玻璃，没有电磁屏蔽作用。 ZfU_4Pl->  
使用这种玻璃会对身体造成无法挽回的损失（特别是眼睛） P\JpE  
/+u*9ZR&1  
以下数据来源自新柯隆资料： @)B_e*6>'  
在使用普通石英玻璃的情况下，实测辐射值为：240000R/h !wgj$5Rw.  
使用派热克斯（新柯隆原装）玻璃的情况下，实测辐射值为：0.2mR/h ctGjqHo  
从24万降到了万分之二，差不多是十亿倍的差距。 IWkBq]Y  
美国对使用阴极射线管电视机的辐射规定是银幕表面不超过0.5mR/h。 _[ x(p6Xp  
7_RU*U^  
*根据计算，不锈钢只要0.2mm厚度即可将辐射控制在0.2mR/h以下，故设备本体不必做屏蔽。 lk80)sTZ  
门和腔体的缝隙上，缝隙不正对电子枪，X射线是直线行进的，只要缝隙够长，X射线就会在多次反弹中被吸收掉。 dZ*o H#B  
{q^KlSjm  
morningtech 2018-11-09 15:38
很好的知识点.
sosjinyan 2019-08-02 15:09
非常 有用， 多谢楼主。
罗先生 2019-08-22 09:25
很好的资料，谢谢
bilong 2019-11-08 22:37
感谢分享
chenenlin 2020-04-15 22:18
不点赞说不过去
知123 2020-04-21 15:25
非常感谢
小学僧 2020-10-30 15:05
实际工作中积累的宝贵经验，值得好好学习一下，为版主点赞。
shenhan0701 2020-12-09 16:26
感谢楼主分享，都是很实用的知识
fanrongwei11 2021-03-10 10:11
前辈总结的很详细，看过后确实长知识了，谢谢！
hhyfilm 2021-06-23 15:22
好文章
春风依旧 2021-10-13 14:05
整理的挺不错
春风依旧 2021-10-13 14:05
基础的往往更实用，赞一个
李某 2022-06-01 14:03
学习一下 感谢大佬
hezhiwei 2022-09-08 12:34
感谢版主的分享，增加知识了 。
五六七 2022-09-19 13:00
感谢楼主分享
bilong 2022-09-20 18:27
感谢分享 +"'cSAK  
gongsc 2024-03-06 14:24
学习了
787666 2024-03-23 06:59
感谢分享
renlgj 2024-06-25 13:44
谢谢楼主，新人学习中
光學の翔 2024-06-25 15:20
感謝分享 資料很有用 謝謝~
cwl563590 2024-08-24 18:51
非常感谢分享
查看本帖完整版本: [-- 关于电子枪的一些小知识 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计