首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 预融参数 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

奔跑的小骏马 2017-12-28 09:55

预融参数

谁手里有比较完善的氧化钛的预融参数啊!能不能资助一下。谢谢 6d/Q"As  
奔跑的小骏马 2017-12-29 07:47
没有大神来指点一二么
yzhuang 2017-12-31 13:16
我一般是快速扫描转圈预熔,功率设置比蒸镀时功率稍大一点,预熔时充少量氧气。
奔跑的小骏马 2018-01-06 08:20
yzhuang:我一般是快速扫描转圈预熔,功率设置比蒸镀时功率稍大一点,预熔时充少量氧气。 (2017-12-31 13:16)   <EU R:  
1V1I[CxlX  
充氧气是为何?快速扫描能够融透不?
ouyuu 2018-01-06 14:59
以40mm大小的坩埚举例。 $!>.h*np  
先中心30s,再分12个点转圈走3遍,每个点10s,然后在中心10s -sQ[f18  
电流300mA~600mA左右,扫描大小以不飞溅为宜。一般光斑直径为坩埚直径的35%左右。
囊中蓄乾坤 2018-01-06 19:00
ouyuu:以40mm大小的坩埚举例。 }'x;J   
先中心30s,再分12个点转圈走3遍,每个点10s,然后在中心10s Zl5'%b$&  
电流300mA~600mA左右,扫描大小以不飞溅为宜。一般光斑直径为坩埚直径的35%左右。 (2018-01-06 14:59)  >lRZvf-i  
Tsg9,/vXM  
新科隆1900的就是12个点,是自动的,只要设置坐标就行了
奔跑的小骏马 2018-01-08 08:29
ouyuu:以40mm大小的坩埚举例。 5}#wp4U  
先中心30s,再分12个点转圈走3遍,每个点10s,然后在中心10s Y 2 @8B6  
电流300mA~600mA左右,扫描大小以不飞溅为宜。一般光斑直径为坩埚直径的35%左右。 (2018-01-06 14:59)  dVQ[@u1,  
USBQEt  
光斑直径也就是XS/YS这个参数与实际的哪个长度单位对应?是mm、dm还是m?
奔跑的小骏马 2018-01-08 08:30
囊中蓄乾坤:新科隆1900的就是12个点,是自动的,只要设置坐标就行了 (2018-01-06 19:00)  jJ ,_-ui  
 7GgZ: $d  
光驰的也是一样的,转动半径给定后按照系统测算的点位坐标,自己查找位置坐标转动。
fly6947 2018-01-09 11:12
TI3O5是面蒸发材料   可以不用转圈, TQa}Ps  
4-(kk0]`z  
40%左右大小的光斑 稍微移动  把颗粒料大致融化;200mA zCx4DN`  
Luq4q95]  
5%大小光斑在坩埚中心,一直加电流到光斑扩散至坩埚边
奔跑的小骏马 2018-01-09 13:47
fly6947:TI3O5是面蒸发材料   可以不用转圈, pfA6?tP`  
40%左右大小的光斑 稍微移动  把颗粒料大致融化;200mA XX6Z|Y5.  
5%大小光斑在坩埚中心,一直加电流到光斑扩散至坩埚边 (2018-01-09 11:12)  WjV15\,  
[Kg b#L'{  
你这个是不是手动预融啊
ouyuu 2018-01-10 10:14
奔跑的小骏马:光斑直径也就是XS/YS这个参数与实际的哪个长度单位对应?是mm、dm还是m? (2018-01-08 08:29)  5of3&  
=W(*0"RM  
是按百分比,出厂前会把100调成覆盖整个坩埚的大小。 y4V:)@ P  
但因为光斑是方形的,所以实际使用上不要超过80,否则四个角就出坩埚了。 l6viP}R  
另外光斑0也不是缩成一个点,他也是有尺寸大小的。 /r}L_wI  
所以实际上35%就有坩埚直径的一半大小。
ouyuu 2018-01-10 10:15
奔跑的小骏马:光驰的也是一样的,转动半径给定后按照系统测算的点位坐标,自己查找位置坐标转动。 (2018-01-08 08:30)  MvVpp;bd  
?Ua,ba*  
光驰的人都是新柯隆出来的,所以基本概念是一样的。 "kg`TJf=  
不过光驰的本地化做的好
fly6947 2018-01-16 07:35
手动和自动过程都一样的,自动的话你光斑中心位置估计隔段时间要重新设定一下。其他扫面范围的坐标响应改一下就好
yzhuang 2018-01-29 16:15
看来大家熔料都有差异啊,这个是不是可以研究一下,哈哈哈。
查看本帖完整版本: [-- 预融参数 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计