首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
光学薄膜设计,工艺与设备
->
《石英晶体监控膜厚仪的发展与应用》
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
ponydonews
2006-11-17 11:14
《石英晶体监控膜厚仪的发展与应用》
提要:石英晶体振荡监控光学薄膜厚度是直接监控光学薄膜物理厚度的方法,与T作波段无关,设置简单,各种厚度皆可控制.易于实现自动控制,将会越来越广泛地应用在光学薄膜厚度监控中。本文首先介绍了石英晶体监控膜厚仪监控光学薄膜厚度的原理,然后讨论了石英晶体监控仪的发展和晶振片的稳定性。
(&_~eYZU
d5=&