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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： KJ S-{ed 定义单向弯曲器件的材料 {jwLVKT$ 定义系统设置 \Wg_ g A 创建弧形波导 %CnNu 插入输入平面 z Fj |E 选择输出数据文件 Q}l~n)= 运行仿真 0s{7=Ef 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 L^Q;M,.c;
a9 q:e 1. 定义单向弯曲器件的材料 K0B<9Wi | 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 X<$D NRN 步骤 操作 9 LBZMQ 1) 从文件菜单中，选择新建。 yZm=#.f 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 SYf1dbc..u ~#P]NWW%. 图1.初始属性对话框 ux!YVvTPd
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 gs/o cu 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 . p o, .} 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 \X ! NoF h 6? Z 图2.轮廓文件设计器 _ emW#*V
3) 创建以下介电材料： QY<5o; m` 名称：包层（Cladding） '|yCDBu 折射率（Re :)：1.442 E8R;S}P A
;PMh>ZE` 4) 要保存资料，请单击“存储”。 u8%X~K\
WcM\4q@ 5) 创建第二种介电材料： o[WDP IG
.L"IG=Uh# 名称：波导层（Guide） u^JsKG+,: 折射率（Re :)：1.45 :/Es%z
D
HOCj* O4 6) 要保存资料，请单击“存储”。 @^.W|Zh[&
q{B?j%.o 7) 创建以下通道： D `V.gV] 轮廓名称：通道1 U1lqg?KO 2D轮廓定义材料：波导（Guide） U~"Y8g#qgy 8) 要保存通道，请单击“存储”。 5F
^VvzNn 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 $)8,d S 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI < Q- m &
Yc_(g0NK 2. 定义系统设置 +w?R4Sxjn 要定义系统设置，请执行以下步骤。 tk=S4 /VWv 步骤 操作 :Y1 ;= W 1 点击默认波导标签 Kdp($L9r 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 &(32s! qH 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 W-&V: S{< 4 键入以下值： XG C\6?L~ 长度：800 O&|<2Qr 宽度：50 0jjtx'F 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 "&4r!2A 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 |Nj6RB7 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 Za3}:7`Gu 出现布局窗口（参见图3）。 k1zK3I&c_ 2=0HQXXrq 图3.布局窗口 2u!&Te(!9 3. 创建弧形波导 v0E6i!D/ 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 DC -d@N+ 步骤 操作
# C?M- 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 66" 6> 光标变成十字线。 c>^(=52Q 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 2ag8?# s<k2vbhI 图4.绘制一个弧形波导 i 61k
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ,J !$Q0 e 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 e3 :L]4t 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 { $yju _[ 出现弧形波导属性对话框（参见图5） uh2_Rzln <.gDg?'3 图5.弧形波导属性对话框 "2sk1
5) 点击起始标签 Q 1?*+] 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： Px
\cT 水平：0 (?JdiY/ 垂直：-10 p WJ EFm M~|7gK.m1 图6.初始偏移值 @v#P u_
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 p&]V!O 激活表达式框（参见图7）。 8j3Y&m4^ ,bd jk ( 图7.波导半径 hp9U
8) 键入以下值： xSK#ovH2 表达式：4000 Kob,}NgqZ 9) 单击终止选项卡。 mOn_#2=KF 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： *pS 7,Hm Horizontal：800 \'*M
}G 垂直：-8 VK1B}5 / TSsZzsdr2 图8终止偏移值 _"yA1D0d_
11) 输入以下值： fTvm2+ .nX 宽度：4 'EA skA] * 12) 点击“OK”。 wL
4Y%g 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 A& ~fw^HM er)I ". | 图9.修改的弧形波导 N6}/TbfAR 4. 插入输入平面 + W*~=*h| 要插入输入平面，请执行以下步骤。 `;; l {8 步骤 操作 Hn(1_I%zF 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 'Uf?-t*LT@ 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 k<^M >` $ 输入平面出现（参见图10）。 R5 4[U vb6EO[e% I 图10.输入平面 ~!r;?38V`
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 #T^2=7 w 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 Q,xL8i
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未完待续 K -rR)-rI 来源：讯技光电 HN{c)DIm]
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