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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: P'tXG 定义单向弯曲器件的材料 g@!U^mr*3 定义系统设置 G8+&fn6 创建弧形波导 Xrb7.Y0d 插入输入平面 5Z_C(5)/Y 选择输出数据文件 ugTsI~aE 运行仿真 2YZ>nqy 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 vq(#Ih2 a_P|KRl 1. 定义单向弯曲器件的材料 /_m)D;!y 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 yYJ_;Va 步骤 操作 Pp!4Ak4TT9 1) 从文件菜单中,选择新建。 *1["x;A 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 tWy.Gz\ X$6NJ(2G 图1.初始属性对话框 xD&n'M] 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 Jg=!GU/:: 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 b;jdk w| 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 o 7kg.w| SZe55mK ` 图2.轮廓文件设计器 V5ZC2H 3) 创建以下介电材料: kqih`E9P7B 名称:包层(Cladding) nQOdM#dP 折射率(Re :):1.442 $T3_~7N qA)YYg/G 4) 要保存资料,请单击“存储”。 .kU^)H"l ,V!"4T,Z 5) 创建第二种介电材料: yR|2><A b/a\{ 名称:波导层(Guide) *tj(,:! 折射率(Re :):1.45 n?cC]k;P~ .5a>!B.I 6) 要保存资料,请单击“存储”。 A{q%sp:3~ ;GG,Z#\m 7) 创建以下通道: 1Zc=QJw@ 轮廓名称:通道1 7P3pjgh 2D轮廓定义材料:波导(Guide) l,h`YIy 8) 要保存通道,请单击“存储”。 R&(OWF;~, 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 ZH\t0YhrVe 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI j
H2)8~P &Iy5@8 2. 定义系统设置 xk~gGT& 要定义系统设置,请执行以下步骤。 qzNb\y9G 步骤 操作 |#o' =whTl 1 点击默认波导标签 !1I# L!9 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 #d$zW4ur2 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 G?$o+Y'F 4 键入以下值: C5 ILVQ 长度:800 1+$F= M~ 宽度:50 hQx*#:ns 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 `ZEFH7P 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 9dA+#;? 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 Rs"=o>Qu 出现布局窗口(参见图3)。 *$%~/Q@] E{ c+`>CY 图3.布局窗口 \0 h>!u 3. 创建弧形波导 x+4K ,r; 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 dT'}:2 步骤 操作 95#]6*#[4! 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 K_L7a>Fr 光标变成十字线。 %HpPTjAW 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 1 jB0gNe u|}\Af 图4.绘制一个弧形波导 }O~D3z4l0 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 4dFr~ { 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 :'wxm3f 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 wicsf<] 出现弧形波导属性对话框(参见图5) c\o_U9=n @>46.V{P}B 图5.弧形波导属性对话框 Wo&22,EB 5) 点击起始标签 h?dSn:Y\? 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): wX)'1H):T 水平:0 7WmLC 垂直:-10 %!Eh9C* aMe&4Q 图6.初始偏移值 xL_QTj 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 P<R^eLZ<& 激活表达式框(参见图7)。 =I'iD0eR ]_B<K5 图7.波导半径 TW&s c9 8) 键入以下值: i5le0lM 表达式:4000 c`3`}&g# 9) 单击终止选项卡。 k0j4P^d 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): T U_'1 Horizontal:800 bX38=.up 垂直:-8 #0r^<Yn kXhd]7ru 图8终止偏移值 Y_n/rD> 11) 输入以下值: )R
`d x 宽度:4 gKTCfD~ 12) 点击“OK”。 46T(1_Xt~ 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 E!}'cxb^ <#BK(W~$ 图9.修改的弧形波导 aOg9Dqtg)f 4. 插入输入平面 BDfMFH[1 要插入输入平面,请执行以下步骤。 4ZUtK/i+r 步骤 操作 oO[eer_S- 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 tBzE(vW 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 *sp")h#Z 输入平面出现(参见图10)。 />Zfx. Aj6 NaoOgZ? 图10.输入平面 8HLL3H0 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 )2" g)9! 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 *j83E[(] Oi|cTZ@A- ...... O2 Y|<m WVQHb3Pe0 未完待续 do^=Oq07$ 来源:讯技光电 %9zpPrWF
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