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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: o&>0
pc 定义单向弯曲器件的材料 = U^B,q 定义系统设置 UP,(zKTA 创建弧形波导 HkQ2G}< 插入输入平面 ^@6eN] 选择输出数据文件 A\=:h AQ 运行仿真 ;B7>/q;g 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 c*3ilMP\4 ln3.TR* 1. 定义单向弯曲器件的材料 h IGa);g 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 6E 步骤 操作 Tp9LBF 1) 从文件菜单中,选择新建。 /
{A]('t 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 AKS(WNGEp 2[WQq)\ 图1.初始属性对话框 6/GhQ/T%D 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 8x+K4B"oe 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 o XGf#>keg 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 6z/8nf +u ~>C!l k 图2.轮廓文件设计器 #M_QSD}& 3) 创建以下介电材料: oiklRf 名称:包层(Cladding) ^tpy8TQ 折射率(Re :):1.442 %';n9M uH]^/'8vBd 4) 要保存资料,请单击“存储”。 K7CiICe \0b",|"3 5) 创建第二种介电材料: Uz1u6BF )hn,rmn
(P 名称:波导层(Guide) >(\[ $ 折射率(Re :):1.45 FL` . (, ;E*ozKpm 6) 要保存资料,请单击“存储”。 {a>)VZw_# PUa~Apj' 7) 创建以下通道: | WDX@Q
轮廓名称:通道1 RzyEA3L' 2D轮廓定义材料:波导(Guide) EkJo.'0@ 8) 要保存通道,请单击“存储”。 *A_ 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 s
n? 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI 8^M5u>=t; {VI%]n{M 2. 定义系统设置 ;1"K79 要定义系统设置,请执行以下步骤。 8fdOV&&D~i 步骤 操作 tl#hCy 1 点击默认波导标签 J,IOp- 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 ytJ |jgp' 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 jkfI,T 4 键入以下值: gAR];(* 长度:800 FxD" z3D 宽度:50 Th"7p:SE? 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 qHvW{0E 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 L !{^^7 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 5ptbz<Xv 出现布局窗口(参见图3)。 bk5~t' W[YcYa_tQ 图3.布局窗口 m
81\cg 3. 创建弧形波导 F.AO 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 x%$Z/ 步骤 操作 hf%W grO. 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 4u:{PN 光标变成十字线。 ]QpR>b=[j 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 A~h8 >zz* HLk/C[`u, 图4.绘制一个弧形波导 ~-.q<8
注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 {x-g?HB 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 Q}I. UG_ 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 .}j@(D 出现弧形波导属性对话框(参见图5) i3f/{D/ smk0 *m4 图5.弧形波导属性对话框 _Hkc<j/e~ 5) 点击起始标签 lJq
%me;4m 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): -[+FVvS 水平:0 .]8 Jeb 垂直:-10 I|BLAm6j =. OWsFv 图6.初始偏移值 D b(a;o 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 'zRd?Z>% 激活表达式框(参见图7)。 F2+lwyc Y /@on=~ 图7.波导半径 c?wFEADn 8) 键入以下值: .llAiv 表达式:4000 &4DvZq= 9) 单击终止选项卡。 ! a1j c_ 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): LG51e7_gFi Horizontal:800 ' Bdvqq 垂直:-8 JlGyGr^MD ;9 b?[G 图8终止偏移值 x~KS;hA 11) 输入以下值: hu6)GOZbv 宽度:4 G.c s-f 12) 点击“OK”。 r?H {Y3, 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 EMJ}tvL0Tp UlQ }
图9.修改的弧形波导 tjYe82 4. 插入输入平面 E6BW&Xp 要插入输入平面,请执行以下步骤。 o'R_kadN[T 步骤 操作 ?jb7Oq#[ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 yUBic~S 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 mVk:[
}l6 输入平面出现(参见图10)。 D|UDLaz~ 9/^4W. 图10.输入平面 <o
p !dS 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 7!Fu.Ps
> 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 |RHX2sso 7dxY07yu ...... 3",6 E(
{T.$xiR 未完待续 VSM%<-iQ 来源:讯技光电 \5X34'7
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