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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: $fj])>=H 定义单向弯曲器件的材料 :~yzDk\I"- 定义系统设置 e#tIk;9Xz 创建弧形波导 @gNpJB]V 插入输入平面 /:U1!9.y 选择输出数据文件 _3|6ZO 运行仿真 8KFj<N>' 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 '<TD6jBs 7'Lp8 1. 定义单向弯曲器件的材料 l1&5uwuF 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 ~%`EeJwT 步骤 操作 NdZ)[f:2 1) 从文件菜单中,选择新建。 <nBo}0O} 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 AWO0NWTB *xPB<v2N:P 图1.初始属性对话框 @|Dm E!) 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 ?4,@,
ae& 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 dgXg kB' 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 2xDQ:=ec rsWQHHkO 图2.轮廓文件设计器 3c b[RQf 3) 创建以下介电材料: B22b&0 名称:包层(Cladding) ~P/]:= 折射率(Re :):1.442 H.:9:I[n a2o.a2
4) 要保存资料,请单击“存储”。 Vc| NL^ GWgd8x*V 5) 创建第二种介电材料: X<Z(]`i Vb2\/e:k 名称:波导层(Guide) 0 sZwdO 折射率(Re :):1.45 Twx{' S Rs2-94$!5 6) 要保存资料,请单击“存储”。 y`rL=N# mf}\s]_c 7) 创建以下通道: 2 l(Dee Y 轮廓名称:通道1 p'}lN|"{O 2D轮廓定义材料:波导(Guide) w,Q)@]_ 8) 要保存通道,请单击“存储”。 ~
7}] 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 QWw"K$l 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI zj{(p Z1 to'j2jP 2. 定义系统设置 N`HSE=u> 要定义系统设置,请执行以下步骤。 .U 39nd 步骤 操作 )6=gooe] 1 点击默认波导标签 X'@'/[? 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 UT4f (Xo 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 =5ug\S 4 键入以下值: KY
g3U 长度:800 d@ZoV 宽度:50 HyEa_9
5 单击“2D晶片属性”选项卡。 Ir27ZP 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 `E W!-v) 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 3za`>bUN 出现布局窗口(参见图3)。 D"cKlp-I6| zw]3Vg{T 图3.布局窗口 0~]QIdu{AR 3. 创建弧形波导 :G}DAUFN 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 +*C^:^jA 步骤 操作 y@A6$[%(E| 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。
%}h`+L 光标变成十字线。 K6hfauWd[ 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 [/OQyb4F< p![&8i@ym 图4.绘制一个弧形波导 ~M*gsW$ 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 4)^vMG& 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 Fc'[+L--Q 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 P>wZ~Hjk 出现弧形波导属性对话框(参见图5) {2:d`fqD BSKEh"f 图5.弧形波导属性对话框 uoCGSXsi 5) 点击起始标签 PBrnzkoY 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): OR;&TbWF(R 水平:0 /UHp [yod 垂直:-10 ;&
~929 U
Du~2% 图6.初始偏移值 $)*xC!@6X 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 Lm|al.Z 激活表达式框(参见图7)。 6vobta^w Dx3 %KS 图7.波导半径 &$#99\/ 8) 键入以下值: B+46.bIH 表达式:4000 [4>r6Hqxr 9) 单击终止选项卡。 9"ugz^uKt 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): F7T E|LZ Horizontal:800 76u{!\Jo/{ 垂直:-8 F;kvH 7/"@yVBW 图8终止偏移值 J`<f 11) 输入以下值: wyw <jH 宽度:4 `W"G!X- 12) 点击“OK”。 8=F %+ 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 hVUIBJ/5(- S+ebO/$> 图9.修改的弧形波导 DA=1KaJ . 4. 插入输入平面 <hv7s,i 要插入输入平面,请执行以下步骤。 lzDdD3Ouc 步骤 操作 ?Y3@" rdR 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 aZKXD! 4 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 z0Xa_w= 输入平面出现(参见图10)。 "8HE^Po/pn y|sma;D 图10.输入平面 Yy
h=G 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 jczq`yW 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 fsvYU0L qq;b~ 3kW ...... I4ilR$jg h8=h >W- 未完待续 D|Si)_
Iz 来源:讯技光电 "={L+di:M
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