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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: &AuF]VT 定义单向弯曲器件的材料 b96%") 定义系统设置 B{oU,3U> 创建弧形波导 LNl#h 插入输入平面 b 6t}{_7 选择输出数据文件 &|%6|u9 运行仿真 RO0>I8c1c 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 p_ Fy>j IC{eE 1. 定义单向弯曲器件的材料 =z{JgD/ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 6~#Ih)K 步骤 操作 PN~@ 1) 从文件菜单中,选择新建。 ]Mj/&b>"e 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 iyVB3:M 'sp-%YlM - 图1.初始属性对话框 G Ejd7s]C 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 Sx*oo{Kk% 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 %xlqF< 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 ~.PO[hC 2M)]!lYy 图2.轮廓文件设计器 >vrxP8_
3) 创建以下介电材料: <]C$xp<2 名称:包层(Cladding) k{tMzx]F__ 折射率(Re :):1.442 w|mb4AyL{? ?Y:x[pOe 4) 要保存资料,请单击“存储”。 M,j(=hRJ/E xX0-]Y h: 5) 创建第二种介电材料: &Gm$:T'~ y5= `ap 名称:波导层(Guide) *xf ._~E 折射率(Re :):1.45 e98lhu"|H =H0vE7 {* 6) 要保存资料,请单击“存储”。 !KKT[28v t3Z_Dp~\ 7) 创建以下通道: `"i Y* 轮廓名称:通道1 wn
Y$fT9 2D轮廓定义材料:波导(Guide) j4FeSGa 8) 要保存通道,请单击“存储”。 -K(fh#<6KO 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 *?QE2&S: 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI :ztr) rOW-0B+N 2. 定义系统设置 WWwUwUi 要定义系统设置,请执行以下步骤。 dAP|:&y@ 步骤 操作 It_M@ 1 点击默认波导标签 X u"R^
2 在轮廓文件列表中,单击通道。 OE)~yKy 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 /wQL 4 键入以下值: @L84>3O 长度:800 $=sXAK9 宽度:50 QU{Ech' 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 NRnRMY- 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 [=uo1% 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 )oo~m\` 出现布局窗口(参见图3)。 {qKxz9.y 4@ILw 图3.布局窗口 0,*%vG?Q 3. 创建弧形波导 |VOg\[f 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 =U
OLT>! 步骤 操作 w)E@*h<Z 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 !.7udYmB 光标变成十字线。 s)voII& 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 "`}~~.q m,3er*t{ 图4.绘制一个弧形波导 d lH$yub 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 d
{lP 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 J
)BI:]m 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 -7WW[
w 出现弧形波导属性对话框(参见图5) Nd:R"
p*8 ->-*]-fv[L 图5.弧形波导属性对话框 < (RC|? 5) 点击起始标签 :&}odx!-!C 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): g1(Xg. 水平:0 K.tlo^#^B[ 垂直:-10 W#_/ak$uF* hf!|\f 图6.初始偏移值 3zuF{Q2P< 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 8B!aO/Km 激活表达式框(参见图7)。 *, Ld/O;s ,O=a*%0rt 图7.波导半径 y$Zj?Dd# 8) 键入以下值: Auy".br' 表达式:4000 k1z$e*u&r 9) 单击终止选项卡。 P`$12<\O1 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): !yjo Horizontal:800 z
`8cOK- 垂直:-8 `U!y&Q$, UbJ*'eoX 图8终止偏移值 lw8"'0 11) 输入以下值: {hSGv 宽度:4 VCNT4m 12) 点击“OK”。 Q>}2cDl 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 @54*.q$ *E>.)B i 图9.修改的弧形波导 ;:&?=d 4. 插入输入平面 ske@uzAz 要插入输入平面,请执行以下步骤。 g]mtFrP 步骤 操作 FD7H@L5 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 A )nW 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 Z{-Lc68 输入平面出现(参见图10)。 P=AS>N^yaL hPm>tV2X 图10.输入平面 }6RT,O g 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 /%x7+Rl\-^ 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 T*2C_oW KV!<Oq ...... _cJ[
FP1 D _X8- 未完待续 L6:h.1 U$ 来源:讯技光电 iCG`3(xL
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