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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: sQ8_j 定义单向弯曲器件的材料 A~7q=- 定义系统设置 3a\.s9A" 创建弧形波导 q%xq\L. 插入输入平面 u*i[A\Y 选择输出数据文件 li
Hz5<| 运行仿真 ($A0umW1% 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 <>|/U ` U>jLh57 1. 定义单向弯曲器件的材料 o\7q! 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 |<Gq^3 2 步骤 操作 n.\|NR'v 1) 从文件菜单中,选择新建。 y+.E} 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 )RE~=*?d :k*3?*'K 图1.初始属性对话框 n:d7 Tv1Z8 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 zBd)E21H 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 b`Agb<x" 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。
Y;[#~3CA T nG=X:+= 图2.轮廓文件设计器 )@OKL0t 3) 创建以下介电材料: uEPdL':}2 名称:包层(Cladding) DeTD.)pS 折射率(Re :):1.442 \C(dWs #(KE9h% 4) 要保存资料,请单击“存储”。 :P1/kYg g=)djXW 5) 创建第二种介电材料: Hg}@2n)/ +GqV9x 8 名称:波导层(Guide) 7,![oY[ 折射率(Re :):1.45 e}Xmb$ ,*Z:a4 6) 要保存资料,请单击“存储”。 Mm'q4DV^ ?6[X=GeUs 7) 创建以下通道:
[C TR8 轮廓名称:通道1 C)|{7W 2D轮廓定义材料:波导(Guide) etHkyF 8) 要保存通道,请单击“存储”。 BDCFToSf| 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 }*ZOD1j 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI 9/x_p;bI 9/nS?>11 2. 定义系统设置 DKGZm<G> 要定义系统设置,请执行以下步骤。 Q|`sYm'. 步骤 操作 E5y\t_H 1 点击默认波导标签 )(&WhZc Z 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 z]Jpvw`p 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 :',Q6j( s 4 键入以下值: iKu~o.yy 长度:800 %!;6h^@ 宽度:50 b&$sY!iU 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 QNzx(IV@ 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 8eVQnp* 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 cI Byv I- 出现布局窗口(参见图3)。 /` j~r;S Apfs&{Uy
图3.布局窗口 @9wug!, 3. 创建弧形波导 wv eej@zs 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 ]5=C3Y 步骤 操作 =
+=k(* 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 uk(|c-_]~c 光标变成十字线。
oq>8 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 ?+WSYg0 ny. YkN2 图4.绘制一个弧形波导 zeZ}P>C 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 aNW!Y':*
3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 @%5$x]^ 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 :&/b}b!)AX 出现弧形波导属性对话框(参见图5) %z_PEqRj q
i27:oJ 图5.弧形波导属性对话框 *UJ&9rQ 5) 点击起始标签 -zq_W+)ks 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): i8tH0w/(M 水平:0 o$=D`B 垂直:-10 ?1f(@ n;eK2+}] 图6.初始偏移值 tw`{\kWG 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 z}" Xt=G? 激活表达式框(参见图7)。 #SzCd&hI BpGK`0H 图7.波导半径 \*C}[D 8) 键入以下值: ^h :%%\2 表达式:4000 jNIZ!/K 9) 单击终止选项卡。 )i;o\UU 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): /kAu&} Horizontal:800 3+%c*}KC~ 垂直:-8 j>5D4}*]f ,pgpu ! 图8终止偏移值 jtMN )TM 11) 输入以下值: 6n
2LG 宽度:4 UY_'F5X 12) 点击“OK”。 <Q4yN!6 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 qx1}e `xO9xo#
图9.修改的弧形波导 jH1!'1s| 4. 插入输入平面 GTw3rD^wg 要插入输入平面,请执行以下步骤。 "v"w ER? 步骤 操作 Uv(THxVh 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 y8$TU; 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 j&G*$/lTO6 输入平面出现(参见图10)。 LV:`siK k0=$mmmPY 图10.输入平面 RaS7IL:e 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 :\+;5Se+l 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 QT;mCD=OD fNVNx~E ...... )$* T>.JA ;_yp@.,\T 未完待续 24TQl<H{ 来源:讯技光电 L{hP&8$k
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