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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： gP"p7\
( 定义单向弯曲器件的材料 MH[Zw $ 定义系统设置 \kqa4{7 U( 创建弧形波导 Rq gH,AN 插入输入平面 Genk YtS 选择输出数据文件 *Dtwr 运行仿真 TU&6\]yF_ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 !4GG q
Ja>UcE29 1. 定义单向弯曲器件的材料 CB<1 ] Z 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 G;_QE<V~_ 步骤 操作 [S gWUP* 1) 从文件菜单中，选择新建。 m(>_C~rGN 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 f ZL%H0 & q$z#+2u 图1.初始属性对话框 mA} -hR%
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 eZWN9#p2 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 OLJb 8kO 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 Mz T#1~ CnruaN@ 图2.轮廓文件设计器 hYMIe]kJ
3) 创建以下介电材料： RmxgCe(2a 名称：包层（Cladding） }dw`[{c m 折射率（Re :)：1.442 ^ j;HYs_
Gc>bli<- 4) 要保存资料，请单击“存储”。 2|@@xF
xy>wA 5) 创建第二种介电材料： [Av#Z)R
%[\:
8 名称：波导层（Guide） Yq}7x1mm 折射率（Re :)：1.45 %^[45 e
(__=*e w 6) 要保存资料，请单击“存储”。 :' ?%%P
Y,RED5]t 7) 创建以下通道： O=LS~&=, 轮廓名称：通道1 fL.;- 2D轮廓定义材料：波导（Guide） r ?Jxl< 8) 要保存通道，请单击“存储”。 9)0AwLlv 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 W Xu:mv,'e 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI y
,isK
J_YbeZ] 2. 定义系统设置 } [}u5T`w> 要定义系统设置，请执行以下步骤。 gS4zX>rqe 步骤 操作 ^6[KzE#* 1 点击默认波导标签 Dww]D|M 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 @;kw6f:{d 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 @?iLz7SPk 4 键入以下值： '#$Y :/ 长度：800 'Wjuv9)/ 宽度：50 z_R^n#A~r 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 6TJ5G8z_ 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 Af1 izS3 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 {PgB~|W 出现布局窗口（参见图3）。 (A O]f fBU eO; i1 > 图3.布局窗口 <q
hNX$ t 3. 创建弧形波导 H
.)}| 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 ]#R'hL%f 步骤 操作 a(Ka2;M4J 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 '< ~r V 光标变成十字线。 UgDa i?b1 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 :kh l}| f gg^B[(Y 图4.绘制一个弧形波导 JbpKstc;
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 tk"L2t 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 fv$Y&_,5 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 0/hX3h 出现弧形波导属性对话框（参见图5） 5MV4N [; p 7IJ3YY 图5.弧形波导属性对话框 %AW5\ EX
5) 点击起始标签 "
]
0 ER 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： =o\ :@I[ 水平：0 w,TyV%b[_ 垂直：-10 #<f}.P.Uc vR`-iRQ?_ 图6.初始偏移值 *}R5=r0
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 nL!h hseH 激活表达式框（参见图7）。 S!.aBAW v:1l2Y)g 图7.波导半径 S_LY>k?
8) 键入以下值： 0h!2--Aur 表达式：4000 S+>&O3m 9) 单击终止选项卡。 ~-x8@ / 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： zMs]9o Horizontal：800 1<A+.W 垂直：-8 t+}@J}b zk5sAHQ 图8终止偏移值 cd{3JGg B
11) 输入以下值： &N1C"Eov? 宽度：4 9(lIz{ 12) 点击“OK”。 zYpIG8"o5 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 5&7)hMpp I }<7Dyn, 图9.修改的弧形波导 VOwt2&mZ 4. 插入输入平面 s([9 /ED 要插入输入平面，请执行以下步骤。 ^|xj. 步骤 操作 Dntcv|% u 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 d=WC1" 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 4LARqSmt 输入平面出现（参见图10）。 =YF\mhMQ: St,IWOmq" 图10.输入平面 ^!k^=ST1J
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 (ii 5p nq 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 dgd&ymRm
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未完待续 OdgfvHDgW 来源：讯技光电 RyD2LAf)J
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