|
本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: \p.yR. 定义单向弯曲器件的材料 Y+),c14# 定义系统设置 - >?tB1}^ 创建弧形波导 nhMxw@ Z\ 插入输入平面 =Yl ea,S 选择输出数据文件 Gt?l 2s 运行仿真 k18v{)i~ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 |,=^P`#% :
qK-Rku 1. 定义单向弯曲器件的材料 |/xx**? 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 MCEHv}W 步骤 操作 5oCg&aT 1) 从文件菜单中,选择新建。 _x""-X~OL 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 &L+.5i W 2[]m>; 图1.初始属性对话框 KIv_
AMr 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 (y6}xOa( 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 `C|];mf(# 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 /W*Z. ORF:~5[YS` 图2.轮廓文件设计器 z7sDaZL?_ 3) 创建以下介电材料: VJTO:}Q 名称:包层(Cladding) 7$g$p&,VX 折射率(Re :):1.442 |kvH`&s iSoQ1#MP)2 4) 要保存资料,请单击“存储”。 h/|p`MP\1 "9c=kqkX 5) 创建第二种介电材料: 573,b7Yf #|,cy,v4 名称:波导层(Guide) flC%<V%'- 折射率(Re :):1.45 R)*DkL! N8Z z6{rp 6) 要保存资料,请单击“存储”。 GrJLQO0$N o<3$|`S& 7) 创建以下通道: 6YNL4HE? 轮廓名称:通道1 a,S;JF)v 2D轮廓定义材料:波导(Guide) M.s'~S7y 8) 要保存通道,请单击“存储”。 q! 'p 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 +e2:?d@ 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI [(3s5)O g6lWc@]F 2. 定义系统设置 sfr+W-7kx 要定义系统设置,请执行以下步骤。 8Vj'&UY 步骤 操作 Kw?3joy 1 点击默认波导标签 @>VVB{1@,] 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 p)iEwl}!j 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 /N_:npbJF 4 键入以下值: ^s7!F.OC 长度:800 Kd^.>T- 宽度:50 300w\9fn& 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 J@$~q}iG 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 f4Y)GO<R] 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。
HrsG^x 出现布局窗口(参见图3)。 a=j'G]= RfTGTz@H 图3.布局窗口 "#o..?K 3. 创建弧形波导 z
dgS@g 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 Lm2!<<< 步骤 操作 $+7uB-KsU 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 /o m++DxV 光标变成十字线。 [C0v- 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 \*e\MOp6 Px=@Tw N, 图4.绘制一个弧形波导 0Z6geBMc 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 thJ~*
0^ 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 A/'po_'uy 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 rniM[7K 出现弧形波导属性对话框(参见图5) edq,: 18Y#=uH} 图5.弧形波导属性对话框 K$M+"#./ 5) 点击起始标签 _i+@HXR & 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): s b;q)Rh 水平:0 V9v20iX 垂直:-10 A'KH_]) ,?|$D Y+= 图6.初始偏移值 !>`Fg>uy 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 @ps(3~?7 激活表达式框(参见图7)。 vW=L{8zu G7nhUg 图7.波导半径 z2uL[deN'" 8) 键入以下值: I}
jgz 表达式:4000 MY@&^71i4 9) 单击终止选项卡。
zd=O;T;. 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): _rwJ:r Horizontal:800 O9sEaVX 垂直:-8 r!2U#rz z~ C8JY: 图8终止偏移值 ;Y^'$I2fR# 11) 输入以下值: RPW46l34 宽度:4 VIT|# 12) 点击“OK”。 !=YKfzE 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 K] (*l"'U5 CP~ZIIip" 图9.修改的弧形波导 ! ;t\lgMl 4. 插入输入平面 (h3L= 要插入输入平面,请执行以下步骤。 a]T:wUYG' 步骤 操作 qcj {rG18 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 hF,|()E[ 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 i3,IEN 输入平面出现(参见图10)。 2jFuF71 ?Afe} 图10.输入平面 gA!@oiq@ 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 oBkhb 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 X/,)KTo7 \l~^dn} ...... $8=|<vt SeD}H=,@ 未完待续 &<PIm 来源:讯技光电 N,Eap KG
|