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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: @98;VWY\ 定义单向弯曲器件的材料 |g)FA_#|< 定义系统设置 <)m%*9{ 创建弧形波导 "Tbnxx]J 插入输入平面 w*LbH]l<- 选择输出数据文件 tn<6:@T
运行仿真 'UwI*EW2S 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 WnxEu3U -/{af 1. 定义单向弯曲器件的材料 )na&"bJ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 y>o>WN<q 步骤 操作 eMMx8E)B 1) 从文件菜单中,选择新建。 W^g'}}]T 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 IhonnLLW h* .w"JO 图1.初始属性对话框 4I~i)EKy6 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 83;IyvbL 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 s"#]L44N 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 lglYJ, I@Z)<5Zf 图2.轮廓文件设计器 Agy
<j
3) 创建以下介电材料: is#8R:7.: 名称:包层(Cladding) xxX/y2\ 折射率(Re :):1.442 x'`"iZO.t r2eQ{u{nX 4) 要保存资料,请单击“存储”。 a8uYs DS /A(NuB<Pq 5) 创建第二种介电材料: mN1Ssq"B "n?<2
wso 名称:波导层(Guide) Q7Ij4 折射率(Re :):1.45 H~9=&p[Q T!^Mvat 6) 要保存资料,请单击“存储”。 k$[{n'\@ oh\,OW 7) 创建以下通道: womq^h6 轮廓名称:通道1 YdOUv|tZC 2D轮廓定义材料:波导(Guide) W"sr$K2m| 8) 要保存通道,请单击“存储”。 R{3CW^1 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 WcGXp$M 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI n6f3H\/P& 4#rAm"H 2. 定义系统设置 !Yh}H<w0 要定义系统设置,请执行以下步骤。 (([I]q 步骤 操作 1r4,XSk 1 点击默认波导标签 9YC&&0 C@ 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 rihlae5Kz 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 Pz473d 4 键入以下值: -<oZ)OfU 长度:800 -V=arm\#z 宽度:50 c^S&F9/U* 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ]h@{6N'oNS 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 Dd/}Ya(Gi 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 !<Z{@7oH 出现布局窗口(参见图3)。 Zoow*`b|$U XZO<dhZX: 图3.布局窗口 D@hmO]5c 3. 创建弧形波导 JuJ5qIal 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 V\zsDP 步骤 操作 U42\.V0 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 .BL:h&h|y 光标变成十字线。 WEC-<fN|Y\ 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 s/S+ ec3 AQ}l% 图4.绘制一个弧形波导 RndOm.TE 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 6Bdyf(t 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 ^<9)"9)m_ 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 >B~?dT m 出现弧形波导属性对话框(参见图5) 9p<:LZd~ E& ]_U$ 图5.弧形波导属性对话框 6D^%'[4t 5) 点击起始标签 eCL?mh K 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): LW?2}`+ 水平:0 Mcb<[~m 垂直:-10 7xDN.o*>
lt%-m@#/ 图6.初始偏移值 S ljZ~x,! 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 nDn{zea7 激活表达式框(参见图7)。 !:J<pWN" g.&\6^)8p 图7.波导半径 *]9XDc]{j1 8) 键入以下值: p;ZDpR 表达式:4000 2V< # Y 9) 单击终止选项卡。 gT7I9 (x!W 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): 6cZ C Horizontal:800 bVOO) 垂直:-8 nK:`e9ES EQ~I'#m7 图8终止偏移值 tQnJS2V"{u 11) 输入以下值: Q2R>lzB 宽度:4 V,'FlU 12) 点击“OK”。 B)d@RAk 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 [r~~=b7*[ GD/nR4$ 图9.修改的弧形波导 :O#gJob-%s 4. 插入输入平面 P#9-bYNU 要插入输入平面,请执行以下步骤。 WFks|D:sB 步骤 操作 Ua!Odju*w 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 v_.j/2U 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 .=aMjrME 输入平面出现(参见图10)。 6!o/~I# :if5z2PE/ 图10.输入平面 W.sD2f 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 kjfxjAS=m 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 L/%xbm~ $q=hcu ...... @) ]t8( *xho 未完待续 _"`/^L`Q? 来源:讯技光电 "URVX1#(r
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