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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： \;1nEjIA 定义单向弯曲器件的材料 A}[x ))r 定义系统设置 3b/J 创建弧形波导 *-&+;|mM 插入输入平面 fW$1f5g" 选择输出数据文件 i7mo89S 运行仿真 EU by QL 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 mZ g'
Y o\%53w/ 1. 定义单向弯曲器件的材料 - d[Gy-
J 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 U lPhW~F) 步骤 操作 _FCg5F2U 1) 从文件菜单中，选择新建。 q}C;~nMD 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 Q!(qb hX: yn:P~ 图1.初始属性对话框 p:
u@?
k
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 7w}]9wCN? 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 P"|-)d 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 drJUfsxV yJdkD VxYr 图2.轮廓文件设计器 \eXuNv_
3) 创建以下介电材料： ~&D5RfK5f 名称：包层（Cladding） 1]&{6y 折射率（Re :)：1.442 'VV"$`Fu"
_opB,,G 4) 要保存资料，请单击“存储”。 19i =kdH
71Y3.1+ 5) 创建第二种介电材料： s0'6r$xj
qmtH 0I7) 名称：波导层（Guide） D2f~*!vEnA 折射率（Re :)：1.45 *t`=1Ioj
]+Z,HY@;- 6) 要保存资料，请单击“存储”。 cA~bH 6
2+yti,s+/ 7) 创建以下通道： j2oU1' b 轮廓名称：通道1 Wu)An 2D轮廓定义材料：波导（Guide） \"P$*y4Le 8) 要保存通道，请单击“存储”。 HM w}pp: 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 ]) #?rRw 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI =( Y +u
7! ~)a 2. 定义系统设置 vof BS 要定义系统设置，请执行以下步骤。 - H`, ` #{ 步骤 操作 d!y_N&z|( 1 点击默认波导标签 =< Ss&p> 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 K<v:RbU|[1 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 k)a gbx 4 键入以下值： pwl7aC+6d 长度：800 cR SgP{hy 宽度：50 ~n%]u! 6 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ) Ut9k 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 dK]#.. 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 tdNAR| 出现布局窗口（参见图3）。 TlC? ?# )! 5"\eys 图3.布局窗口 fz rH}^ 3. 创建弧形波导 <-HWs@8# 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 !3\(
d{ 步骤 操作 EV_u8?va 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 gH0Rd
WX 光标变成十字线。 >iI_bcqF 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 ckbD/ + 7=HpEc 图4.绘制一个弧形波导 /U="~{*-R
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 hmI>
7@& 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 dZ Ab' : 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 (]$&.gE.F 出现弧形波导属性对话框（参见图5） IeB^B D+j /Kh Y,G'Z 图5.弧形波导属性对话框 v>5TTL~?
5) 点击起始标签 !X1
KOG 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： b7HT<$Wg 水平：0 MpJ] 1 垂直：-10 JQSczE3 Hqb-)8 ~ 图6.初始偏移值 W\O.[7JP
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 y7LM}dH#m 激活表达式框（参见图7）。 pZ 7KWk4 P?zL`czWd 图7.波导半径 DS7Pioa86
8) 键入以下值： =j8g6# 'u 表达式：4000 p%5(Qqmlk 9) 单击终止选项卡。 oSH]TL2@Cd 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： vZI x > Horizontal：800 ; MW=F9U* 垂直：-8 Sv[+~co<l
QLZ%m $Z 图8终止偏移值 -IL' (vx
11) 输入以下值： =64Ju Wvo 宽度：4 q ;e/gP2 12) 点击“OK”。 @XH@i+ {B 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 _J0(GuG=~ IDp2#qg_ 图9.修改的弧形波导 KXcE@q9 4. 插入输入平面 i7`/ "5I 要插入输入平面，请执行以下步骤。 (~^KXJ{-> 步骤 操作 xS_ tB)C 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 gO bP 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 Xnxb.{C 输入平面出现（参见图10）。 RY~ m Q rM20Y(| 图10.输入平面 {QI deB[
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 LP} j 0)n 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 sl*&.F,v=
2~@Cj@P]
...... |w.5*]?H
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未完待续 $lF\FC 来源：讯技光电 kQ .3J.Q5
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