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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: $!.>)n 定义单向弯曲器件的材料 l(sVnhL6h 定义系统设置 ALTOi? 创建弧形波导 tn'Jkwp 插入输入平面 0W*{ 1W 选择输出数据文件 W[O]Aal{ 运行仿真 6Kpq~o 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 E@ U]k$M &su'znLV 1. 定义单向弯曲器件的材料 Z*co\ pW 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 +`Z1L\gmA 步骤 操作 >%U+G0Fq 1) 从文件菜单中,选择新建。 =9a2+ v0 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 wL?Up>fr ja_8n["z 图1.初始属性对话框 4Lt9Dx1 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 tf~B,? 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 LOx+?4|y 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 +r8bGS]ki }R['Zoh4I 图2.轮廓文件设计器 `3rwqcxA 3) 创建以下介电材料: ?N<My&E 名称:包层(Cladding) }~I!'J#) 折射率(Re :):1.442 %vJHr!x }%jF!d 4) 要保存资料,请单击“存储”。 )Fv.eIBY +{I_%SsG 5) 创建第二种介电材料: .Ix3wR9 /e '3\,2_ 名称:波导层(Guide) ?J\&yJ_B 折射率(Re :):1.45 /88s~= `-L?x2)U 6) 要保存资料,请单击“存储”。 q`<:CfCt %hnBpz 7) 创建以下通道: c1'@_Is 轮廓名称:通道1 o]e,5] 2D轮廓定义材料:波导(Guide) wGArR7r 8) 要保存通道,请单击“存储”。 C$y6^/7) 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 1VX3pkUET 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI k6Kc{kY ^Pn|Q'{/p 2. 定义系统设置 X1|
+9 要定义系统设置,请执行以下步骤。 EU?qLj': 步骤 操作 I@'[> t 1 点击默认波导标签 JY0aE 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 ANhtz1Fl 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ]nTeTW 4 键入以下值: ]ZY2\' 长度:800 2zBk#c+ 宽度:50 ZLkl:'E_ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 *r`=hNr 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 OpUfK4U) 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 #aP#r4$ 出现布局窗口(参见图3)。 v"bWVc~H 7*5B 图3.布局窗口 /Y7^!3uM 3. 创建弧形波导 Ma^jy. 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 $p0nq&4c 步骤 操作 DB' 0 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 8MJJ w; 光标变成十字线。 d6luksO*9 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 N"S`9B1eD( oPSPb(. 图4.绘制一个弧形波导 OdzeHpH3g 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ,-c,3/tyA 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。
w$}q`k' 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 /7AHd ; 出现弧形波导属性对话框(参见图5) > G\0Z[<v, !7N:cx'Qy 图5.弧形波导属性对话框 Th) 5) 点击起始标签 Y <6|z3 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): CsO!Y\'FY 水平:0 wNf:_^|} 垂直:-10
\]ib%,:YU 4>gfLK\R: 图6.初始偏移值 mxv?PP 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 _Id'56N]J! 激活表达式框(参见图7)。 S,&LH-ps h,{m{Xh 图7.波导半径 [EAOk=X 8) 键入以下值: =^9h
z3j 表达式:4000 W{6QvQD8 9) 单击终止选项卡。 Fy=GU<&AI 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): iQG!-.aX Horizontal:800 */aY$aWv 垂直:-8 %BI8m|6 <y6`8J7: 图8终止偏移值 $@AJg 11) 输入以下值: `Skvqo(5: 宽度:4 QQJGqM3a2 12) 点击“OK”。 {]CZgqE{ 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 (m/:B=K ]iV]7g8: 图9.修改的弧形波导 &h5Vhzq(< 4. 插入输入平面 VUP|j/qD 要插入输入平面,请执行以下步骤。 VfnL-bDGV 步骤 操作 odP<S. 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 M
Kyj<@[ 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 |IAx!Z-P 输入平面出现(参见图10)。 -)A:@+GF wT@Z|.) 图10.输入平面 9ihg[k 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 ql?w6qFs] 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 RoqkT|#$ bmT%?it ...... !?,,
ZD Kzev] er 未完待续 _H| )g*]t 来源:讯技光电 NEBhVh
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