稳定性上很难说。 Ss>ez8q
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪， V\Q=EsHj
后来因为软件问题，包括售出的机器全换成了INFICON的。 +r8: t5:/I
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了，没问题了， %0-fn'
然后又买了400多台，然后又是各种问题。 l= +hs
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新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 p ~LTu<*S
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回过头来讲，晶振的原理非常清楚，做晶振一点也不难。 S(* u _
难就难在抗干扰上了，加热丝开关造成的电压波动； (tG8HwV-
电子枪高电压6KV～10KV；离子源的RF射频干扰； } J_"/bB
机械泵和POLYCOLD的震动……
