稳定性上很难说。 ~FsUK;?
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪, gON6jnDO
后来因为软件问题,包括售出的机器全换成了INFICON的。 ;?[~]"
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了,没问题了, =&p bh
然后又买了400多台,然后又是各种问题。 g|zK%tR_P
OP&[5X+Y
新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 jG2w(h/"
Cn55%:
回过头来讲,晶振的原理非常清楚,做晶振一点也不难。 ]lo1Kw
难就难在抗干扰上了,加热丝开关造成的电压波动; 4w?7AI]Ej
电子枪高电压6KV~10KV;离子源的RF射频干扰; w\mF2h
机械泵和POLYCOLD的震动……