稳定性上很难说。 4mN].X[,
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪， <)O >MI'
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后来因为软件问题，包括售出的机器全换成了INFICON的。 `/O`OrZ1K
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了，没问题了， )N" Ew0U
然后又买了400多台，然后又是各种问题。 yB,{#nM>8
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新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 sdJ%S*)5G$
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回过头来讲，晶振的原理非常清楚，做晶振一点也不难。 V1SqX:;b&
难就难在抗干扰上了，加热丝开关造成的电压波动； C$<"w,
电子枪高电压6KV～10KV；离子源的RF射频干扰； 0n:?sFY>
机械泵和POLYCOLD的震动……
