稳定性上很难说。 !C|Z+w9Y
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪, ,zuS)?
后来因为软件问题,包括售出的机器全换成了INFICON的。 VC0Tqk
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了,没问题了, d'&OEGb<
然后又买了400多台,然后又是各种问题。 I o"3wL)2
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新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 lU%oU&P/"S
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回过头来讲,晶振的原理非常清楚,做晶振一点也不难。 S?6-I,]h
难就难在抗干扰上了,加热丝开关造成的电压波动; k<P`
电子枪高电压6KV~10KV;离子源的RF射频干扰; 4x}U+1B
机械泵和POLYCOLD的震动……