退掉的是EPD吧。 sst,dA V$
EPD是个全新的概念,用小功率的离子源就可以做出超硬膜来。 m^{
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就研发实力来讲,新柯隆比光驰强太多了。 t^tCA -
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现在这机器问题主要是麻点,因为伞架太低了,坩埚里药物的喷溅容易飞到伞架上。 p11G#.0
增加坩埚盘和伞架的距离后会好很多,但是镀膜速率就没有设计的高了。 zSjgx_#U
等这机器整好以后,不出三年光驰肯定会推同样机型。 1{2eY%+C
现在除了RAS机光驰都抄成功了。
c~dM`2J,
9|S` ub'
我基本知道你们公司的名字了。 *N/hc
RAS机可以做Si3N4和SiO2的膜系,如果需要做极端超硬膜的话可以买新柯隆。 ^i:\@VA:
(虽然我现在不在新柯隆了,但是我还是比较认同新柯隆的理念, S9Yt 1qb
像光驰这样抄下去,研发都会死掉的。) [B?z1z8l