11.1 定义材料要定义材料,请执行以下步骤。 ;Irn{O 步骤 执行 C(vQR~_ 1) 从“文件”菜单中,选择“新建”。出现“初始属性”对话框(参见图2) vs@u*4.Ut< <Qt9MO`a 图2.初始属性对话框 y?Pw6;e.
使用“初始属性”对话框指定基本参数。 这些参数可以稍后在会话框中进行更改,因为希望这些参数较少地改变,因此在项目创建开始时对其进行设置。 例如,预期诸如折射率之类的属性在设计会话中将比设计中的其他属性(例如系统几何形状)更少地改变。 轮廓是用来确定横向平面中波导几何形状的规格。通道波导包含多层结构,光纤具有圆形横截面,扩散波导具有渐变折射率指数。 这些定义在设计会话中比几何体布局更改地更少。 u7 a,h]DkD 2) 单击“轮廓”和“材料”。将出现“轮廓设计器”窗口(参见图3)。 wli H3vA_ |CAMdU 图3.轮廓设计器窗口 Sa@T#%oU
OptiBPM Designer1是我们正在使用的项目的临时名称。 保存项目时,可以给它一个更有意义的名称。 N]-skz<v R&Ss ET. 3) 在OptiBPM_Designer1的目录下,在“材料”文件夹下,右键单击“电介质”文件夹。 o%*C7bU 出现一个右键菜单。 %CQv&d2
Kw(S<~9-@ 4) 选择新建。 GK[Hs1/ 出现Dielectric1对话框(参见图4)。 K^P&3H*(/n v6ei47- 图4.介质对话框
`6(Zc"/
\m 5) 键入以下信息: VO~%O.> 名称:Core 39L_O RMH 折射率(Re :):1.46 @}pcj2K# 6) 单击各向异性选项卡并键入折射率Re的实部: 1.46 .)<l69ZD Z 7) 要保存材料,请单击“存储”。 7rG+)kHG 名称Core出现在目录中的Dielectric文件夹和对话框标题栏中。 *JAC+<~d 注意:您可以打开对话框,或关闭对话框以防止“轮廓设计器”窗口变得混乱。 7g:Lj,Z4L Y@7n>U 折射率有两种定义,因为在2D计算中,折射率通常不是物理指标,而是有效的指标。 2D标签是保存有效折射率的地方; 当有效折射率放置在2D选项卡中时,仅在执行2D模拟时才使用。 3D BPM和模式解算器将使用其他选项卡中的定义。 +
Y!:@d 8) 单击各向异性选项卡 1jE {]/Y7& 在项目中的某个时刻,可能会使用其他BPM模拟器,可以接受各向异性材料。 各向异性材料的特征在于介电常数张量(见图5)。 材料Core可以在这种环境中使用(尽管它本身不是各向异性的),因此默认情况下,OptiBPM会自动设置适当的对角线介电常数张量,即主对角线中的n2。 如果需要指定各向异性材料,请取消选中默认复选框并输入相应的常数(参见图5)。 #J t1AV H;0K4|I 图5.3D各向异性标签
!w%p Gv.wg 9) 重复步骤3)至6),并键入以下信息(参见图6) <
<F 名字:Clad 7=s0Pm 折射率(Re :):1.44 "{kE#`c6<n 10) 要保存信息,请单击“存储”。 f4VdH#eng` Clad出现在目录和对话框标题栏中的Dielectric文件夹中。 gf}*}8D y6Ez.$M 图6 包层定义 Y#+Ws0wN
11.2 定义2D和3D通道轮廓 V+r&Z<& 要提供2D和3D轮廓的定义,请执行以下步骤。 eZD"!AT 步骤 操作 .m.Ga|; 1) 在OptiBPM_Designer1下的“Profiles”文件夹下的目录下,右键单击“Channel”文件夹。 Yhjv[ 9 出现一个右键菜单。 p+0gE5 2) 选择新建。 14A(ZWwq9 出现“通道”对话框。 ev4_}! 注意:要确保您可以查看所有场,请最大化ChannelPro对话框。 E)wf'x 3) 输入轮廓文件名称:BuriedWg Qg0%rbE 4) 提供2D配置轮廓定义: ZXXJ!9-&+J • 在2D轮廓定义下,在“材料”组合框列表中,单击新定义的材质“Core”。 rjj_]1?K 通过选择Core,如果2D模拟器被调用,与配置文件名称BuriedWg相关联的波导内的任何点将具有Core的2D规范中定义的折射率。 bjI3xAs~ nM *}VI 图7 2D轮廓定义 'Ydr_Ses
通道轮廓文件由外延方向的层和这些在3D轮廓面板中被定义层组成。 &PMfAo^ 5) 要指定3D轮廓定义: iP@FXJJ a. 在3D轮廓定义下,键入以下信息: &%g$Bi,G 层名称:Channel1(通道1) f>e0l'\ 宽度:1.0 `\'V]9wS 厚度:2 PF#<CF$ = 偏移量:0 w`fbUh6/ b. 在材料清单中,选择Core。 Xk1uCVUe5 c. 单击添加。 ya[f?0b0 您输入的信息显示在3D配置文件定义窗口中。 k7j[tB# 6) 要保存通道轮廓文件,请单击“存储”。 l]j;0 i BuriedWg出现在目录中的Channel文件夹中,在Profile Designer标题栏和设计底部的选项卡上(参见图8)。 7SNdC8GZ~ 图8 定义通道轮廓
7) 要返回OptiBPM布局设计器窗口,请最小化“轮廓设计器”窗口。 ; 6PRi/@ 出现OptiBPM GUI和初始属性对话框。 Bsha)< KP
6vb@(6 11.3定义布局设置 ><xmw= 要定义布局设置,请执行以下步骤: unKl5A[h 步骤 操作 i`W~-J 1) 在“初始属性”对话框中,单击“默认波导”标签。 $G{j[iLY 2) 键入以下值: l<+PA$+}} 宽度:4.0 'X6Z:dZY 注意:所有波导将使用该值作为默认宽度。 C+"c^9[ 3) 在轮廓列表中,单击新定义的BuriedWg(参见图9)。 FBvh7D.hV 注意:可以随时更改默认的或者相关联的任意单个波导(在“波导布局设计器”中,选择“编辑”>“默认波导”)。 oE6`]^^ !"&-k:|g 图9初始属性对话框 - 默认波导选项卡 =vvd)og
要在平面视图中指定分析区域的大小: t0r0{: 4) 单击“晶圆尺寸”选项卡。 ?k($Tc&Q 键入以下值(参见图10)。 :RxMZwa= 长度:800 ^2{ 6W6= 宽度:40 u&[L!w
cd=|P?Bi 图10初始属性对话框 - “晶圆尺寸”选项卡
指定任意点的材料并不包含波导内部(对于2D计算): .p> ".q
I 5) 单击“2D晶圆属性”选项卡 @vXXf/ 6) 在晶圆折射率中,在“材质”列表中,单击“包层”。 <&g