膜外⽩雾 /H'- }C
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 do" m=y
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） ?1=.scmgDG
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： MIJuJ]U}
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； = 3(v4E':5
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 S
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③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ f `qy~M&
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ S1=P-A o
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 W2{w<<\$3}
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 S#ryEgc]
⑦ 膜与膜之间的应⼒ dgVG P_~
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 ~ 5}t;
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 D,IT>^[^7
改善对策： kff N0(MR
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 TuwP'g[
洁） l!p`g>$&f
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 w:zo
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㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 *f+s
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 ^wy
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 yi8vD~aA[
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） g9C ; JmU
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 <)d%c%f'`
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 9R= avfI
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 m=}h7&5 p
膜内⽩雾 *~8F.c x
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 "kApGNB
可能的成因： rxp|[>O<
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 Ggx PpS<ne
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 MZ3 8=nJ
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 KR.;X3S}
④ 氧化物充氧不够。 AE~zm tW
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 qT?{ }I
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 NDRD P D
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 !gI0"p?
⑧ 环境湿度⼤ HxbzFu?h
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 21!X[) r
问题。 u(zgKoF9A
改善对策： . vHHw@
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 ->ZP.7
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 &S="]*Z
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ Yo %U{/e
燥、⼲净。 rl.K{Uad
㈣改善环境 fTEZ@ #p
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 hp -|a
㈥改善洗净、擦拭效果。 2*snMA
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） 7 2$S'O%,0
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） RZW=z}T+H
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 Hec8pL
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
