膜外⽩雾 p;D
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现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 x^ cJ~e2
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） '$ z@40u
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： \C2HeA\#SW
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； ~fzuz'"^
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 !9.\A:G
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ cK\?wZ| Y
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ [By|3 bI
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 2^Z"4t4
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 )(c% QWz
⑦ 膜与膜之间的应⼒ Jp_ :. 4
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 o h9L2 "
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 C~nL3w
改善对策： r;>.*60AT
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 hM=X#
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洁） ICc:k%wE7
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 ;RQ}OCz9}8
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 Kw:%B|B<T
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 ,E@}=x9p
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 9/I
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㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） MOi1+`kwh
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 6JR FYgI
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 g0IvcA
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 QBfo=9[=e
膜内⽩雾 Sogt?]HB$
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 sWKdqs
可能的成因： ,Vof<,x0
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 +=nWB=iCb
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 ,,Ivey!kL
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 m,}GP^<1i
④ 氧化物充氧不够。 g; 7u-nP
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 Qv] rj]%
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 Jc` tOp5
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 K*p3#iB
⑧ 环境湿度⼤ [dqh-7
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 $ERiBALN:
问题。 H7meI9 L
改善对策： b d C
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 dOKe}?}==
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 X/ m~^
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ ,# %I$
燥、⼲净。 6*
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㈣改善环境 8] bLp
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 : J SuC
㈥改善洗净、擦拭效果。 k[f_7lJ2
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） X K)0Mt\
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） Pa$"c?QUy
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 g8" H{u
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
