膜外⽩雾 8; N}d)*O
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 ]{, =mOk
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） 21k-ob1Y
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： J-{E`ibGN
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； KUn5S&eB
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 |2]WA'q
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ op{(mn
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ l|QFNW[i
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 F"0j r7
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 (C[S?@S
⑦ 膜与膜之间的应⼒ lukRFN>c"
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 xF>w r
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光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 bL#TR;*]
改善对策： Rl!WH%;c[X
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 j%<@ui u
洁） [eik<1=,~?
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 &T.P7nJ=
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 rpI7W?hh
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 rca"q[,
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 g/Nj|: 3
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） mZ&Mj.0+~
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 ]6 7wk
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 83(P_Y:
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 cG"<*Xi <
膜内⽩雾 I8>1RXz
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 *iN]#)3>
可能的成因： Mj;'vm7#'
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 )bg,rES M
② 镜⽚表⾯腐蚀污染
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③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 Z- Ae'ym
④ 氧化物充氧不够。 ,Yt&PE
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 +FK<j;}C7
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 Hx0,k Oh)
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 At|t k
⑧ 环境湿度⼤
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改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 wi
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问题。 d> Am M!J
改善对策： TzXl ?N
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 _$lQK{@rY
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 3c6)
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ W5;sps
燥、⼲净。 /;ITnG
㈣改善环境 
