膜外⽩雾 Q.[0c t
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 <}LC~B!
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） 0`hdMLONR
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： 0aAoV0fMDz
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； :pUtSs7p}
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 S[N5 ikg
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ u&NV,6Fj2[
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ 7Ix973^
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 M`>E|" <
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 g5yJfRLxp
⑦ 膜与膜之间的应⼒ wj+*E6o-n
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 4Up/p&1@
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 Vc2`b3"Br
改善对策： g 'gdgfvn
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 =fbWz
洁） o@Oqm> ]SS
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 ise-O1'
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 kFB
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 YMgNzu
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 _L PHPj^Pg
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） 6 p zS p
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 yw!{MO
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 9UkBwS`
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 7"mc+QOp
膜内⽩雾 dscgj5b1 ~
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 TO_e^A#
可能的成因： yLGRi^d#
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 q@&6#B
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 xmX 4qtAL
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 G"6 !{4g
④ 氧化物充氧不够。 B6"0OIDY"
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 KP"+e:a%
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 U17d>]ka
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 ?`#Khff?
⑧ 环境湿度⼤ <[phnU^
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改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 %$I;{ -LD
问题。 [ }:$yg
改善对策： y(&Ac[foS}
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 =I4lL]>
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 d1*<Ll9K
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ TV:9bn?r)
燥、⼲净。 GeqPRah
㈣改善环境 !W\+#e z
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 Dq Pw#<"H
㈥改善洗净、擦拭效果。 /{[o ~:'p
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） l k!@?
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） s.#`&Sd>
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 j+!v}*I
