膜外⽩雾 76Vyh f&7
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 |z.GSI_!)
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） |4> r"
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： 3J~kiy.nfW
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； m2q;^o:J
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 *r,&@UB
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ *R\/#Y|
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ C1B3 VG
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 gq_7_Y/
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 QC5f:B wM
⑦ 膜与膜之间的应⼒ GH C?Tp
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 ph12x: @B
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 P,;b'-5C
改善对策： 8
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㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 \P~rg~
洁） dd q 1NW
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 ciGpluQF
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 4IP\i w#w
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 kH8$nk eev
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 m7wc)"`t
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） {_toh/8)r
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 r>:L$_]L
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 UG"6 RW @
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 a}qse5Fr
膜内⽩雾 B?lBO
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⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 7hF,gl5
可能的成因： 0I>?_?~l6
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 Fwx~ ~"I
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 2VV[*QI
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 HEB /\
④ 氧化物充氧不够。 (\mulj
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 Ih-3t *L
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 2^^'t 6@
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 j`|^s}8t
⑧ 环境湿度⼤ q?Ku}eID3
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 mU3 Y)
问题。 uO _,n
改善对策： uVq5fT`B
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 or%gTVZ
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 Igl JEH[+
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ )`s;~ _ZZ
燥、⼲净。 g N, k/U8
㈣改善环境 _/jUs_W
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 =|gJb|?w
㈥改善洗净、擦拭效果。 Q@e*$<3
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） *qO ]v9 j
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） VM!-I8t
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 o!s%h!%L
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
