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案例024(3.0) 0 c'2rx m&jt[
该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 ,DUQto [Jh))DIx 1. 建模任务1:金属光栅 `GN5QLg#}0 )1yUV*6 RO3e 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 `::(jW.KO 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 KL\=:iWA NVh>Q>B$_ 2. 建模任务2:介质光栅 cS ;=_%~ 9qO:K79| 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 K}*p(1$u 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 Q_|S^hxQ iO= uXN1g 3. 建模任务 {aa,#B]i .1q~,}toX bFdg'_ VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 -bb7Y 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 S$_Ts1Ge6 场分布计算能够检测结构内部的热点 Sw9mrhzJfe ](6vG$\ 4. TE和TM照明线性光栅 X1PlW8pd q>l kLHS 5. 铬狭缝的分析 g<0%-p UU~;B n)7$xYuH 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 +#"Ic: 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 GN"LU>9| 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 T`0gtSS 红线说明了结构的形状(手动添加) ZjbG&oc 8[P6c;\ 6. 三角光栅的分析 GM5 6xZ!2T 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 k.f:nv5JO <T~fh>a ZaV66Y> 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 [?o vJ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 k#G7`dJl 红线说明了结构的形状(手动添加)。 Gkvd{G?F 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 6#63D>OWp %lW:8ckL 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。
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9'o 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ~l(tl[ @uD{`@[ 7. 总结 (j
Q6~1 '"p*FN VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 d33Nx)No 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 Q"_T040B 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 FQRcZpv; 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 fszeJS}Dw
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