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案例024(3.0) q4,/RZhzh F_4Et
该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 ImbA2Gcs vJS}_j]_@ 1. 建模任务1:金属光栅 DhD##5a h.NCG96S XWq"_$&LF 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 V/zmbo) 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 gAf4wq @jrxbo;5 2. 建模任务2:介质光栅 @a,=ApS" :[0)Uu{ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 RL fQT_V 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ^dE[ ; =YD<q:n4 3. 建模任务 6~x a^3G: ef/43+F^x QS1lg VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 zS h9`F 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 Gl[1K/,* 场分布计算能够检测结构内部的热点 qVH.I6) 9<3fH J?vq 4. TE和TM照明线性光栅 l}&2A*c. 4t3>`x
7 5. 铬狭缝的分析 VN'\c3; KVUub'k < RtyW 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 YHMJ5IM@. 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 {7;QZk( 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 MU\Pggs 红线说明了结构的形状(手动添加) 1kR. .p<" _x^rHADp 6. 三角光栅的分析 I5`>XfO) 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 bbDm6, oJ`=ob4WDo ^7Z;=]8J 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 WNKg>$M 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 H4j1yD(d 红线说明了结构的形状(手动添加)。 g,W34*7=Q 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 Mc!LC
.8 5UG9&:zu'V 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 q8FpJ\ 红线说明了结构的形状(手动添加)。 rBy0hGx dnQ6Ras 7. 总结 ?/-WH?1I )VqPaKZl VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 E> $_
$' 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 Q]3]Z/i 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 ~*<`PD O? 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 .D\oKhV(
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