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    [求助]膜系设计问题求助 [复制链接]

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    离线fly6947
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    只看该作者 10楼 发表于: 2015-07-31
    回 greensoya 的帖子
    greensoya:[图片] irZ])a  
    谢谢fly6947的详细指导! xw.A #Zb\_  
    刚发现前面那幅图仿真时的二氧化硅厚度填错了,实际的物理厚度是10000nm,错误的填到了光学厚度里面。修改之后的仿真结果如图所示,紧贴si表面的10um二氧化硅使透光曲线上出现了很多纹波(黑色曲线),而如果把这10um二氧化硅去掉, .. (2015-07-30 15:48)  W<'m:dq  
    zOJ%}  
    原来如此; \P[Y`LYL  
    由于环氧树脂和Sio2都比较厚,可以不考虑其干涉效应,模拟时先计算出100%透过率的光通过环氧树脂的透过率为多少,如T1;; C2!|OQ9A2  
    膜层设置  Substrate为Sio2    膜层从下到上分别为 Si3N4  Ag  Si3N4  Ag  Si3N4  Ag  Si3N4   Z*F3G#A  
    medium 设置为Air Lw1Yvtn  
    G0Iw-vf  
    不过此时软件模拟出来的透过率T2需要乘以T1才是实际透过率