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楼主
发表于: 2015-05-12
从今天起,开始以应用型案例为主,本例使用
衍射
光学
工具箱来设计扩散器实现线聚焦。通过规则型扩散器的会话编辑设置窗口,设置
光源
,元件,评价
函数
等约束条件,选定一维。最后生成lpd及迭代傅里叶变换算法(IFTA)
优化
窗口,运行可得到DOE对应的相位分布,由
结构
生成可配置具体的介质,从而生成实体的表面轮廓。并导出为GDSII掩膜
文件
。
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