[讨论]窄带滤光片无规律漂移现象 [复制链接]

我们用光驰OTFC-1100机器做的窄带，用间控光控控制，晶控辅助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心波长在1071nm,半波带宽20nm。 {.qeVE{  
本来是成熟膜系，已经做了有2年时间了，一直很稳定， Y|FF ;[  
但是最近出现膜系无规律漂移现象，中心波长或漂移向长波，或短波，漂移距离从4--20nm。 o8;>E>;  
本来出现漂移也是正常现象，但是现在是完全无规律啊，有可能连续3罩次是没有变化的，也有可能是每罩次都不一样。 @(M-ZO!D  
最开始怀疑是单色仪出问题，也就是控制波长不准确。送厂检测，用厂家来替换的单色仪做了几次，还是一样。 $OB2ZS"  
厂家说可能 是光控托盘有问题，换了一个，还是一样。 N}Q%y(O^  
其后还做了很多工作，都没有解决问题， ;NQ9A &$)  
在这里请教各位同行，谁做窄带，或者用光驰机器出现这种情况的是什么原因，怎么解决的？ uMKO^D  
先谢过啦。

要是蒸镀过程没有问题，看下供电稳定不，冷却水是否有问题。我遇到过冷却水脏了，导致的成膜不稳定

dumoty:要是蒸镀过程没有问题，看下供电稳定不，冷却水是否有问题。我遇到过冷却水脏了，导致的成膜不稳定 (2015-04-13 13:28)  suKr//_  

7b8+"5~  
哦？这个倒是没考虑过，但我们冷却水是定期换的啊

那你的膜料的质量怎样？纯度、颗粒度等是不是和原来的那种膜料一样？

这个原因太多了，你先要确定你镀膜滴标准要是一致滴，如果你确定你几没问题，你可以在没镀一伞前把你监控片，和监控器确认一下等，如果有需要可以我愿意和您一起探讨解决。