可用晶振片 6MHz p6S8VA
频率范围 5MHz~6MHz, xyXa .
频率分辨率 0.005Hz R=\IEqqsi
频率稳定度 1ppm 2&cT~ZX&'
膜厚分辨率 0.002A o)/ 0a
测量更新率 10Hz Zv{'MIv&v
材料数 112 <:CkgR$/{
膜系数 20, 可自动串接 P.DK0VgY
可设定层数 112层/每膜系 (/$^uWj
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit }x,S%M-
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 \Vk:93OH21
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 {M)Nnst"~
探头数 1,支持六探头 Q/Rqa5LI:
电源 90V~240V,AC, 20W #w=~lq)9
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) uXiN~j &Be
控制方法 PID ^<6[.)
语言 多国语言(中、英、…) kq-) ^,{y
通信接口 RS232