光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 `[C v-
一、真空腔室内部及各部件的清理 #G[
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1.腔室内部防护板 U 3wsWSO
周期：每月清理一次 pR@GvweA
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 HiS,q0
2.离子源清洗 8a":[Q[
周期：50~100小时 do?S,'(g
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） N$ qNe'b
B.各个零件进行喷砂，其中： pZ@W6}
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 P&-D0T_
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 U:pLnNp`
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Lv, ji_
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 #Tg|aW$(*
3.真空计清理 b Q9"GO<X
周期：六个月清理一次 i$ fj r[$B
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 D@lAT#vA
4.冷泵再生 xRTg
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周期：一个月 5wE !_ng>|
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二、各计量部件校准 !Wdt:MUI8
1、真空计 *+,Lc1|\
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 Jq ?^8y
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） "ojD f3@{
A.光源性能检查 Z|cTzunp
周期：50小时一次 l;][Q]Z@V
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 qhn&;{{
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 :+gCO!9Y
B.光学监控系统的稳定性 0=(-8vwd
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ^RF mRn
检查条件： u {E^<fW]
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 t UAY]BJ*s
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 [ ;3EzZL
③测定波长：550nm ]Xkc0E1
C.波长精确度及再现性 H/v37%p 7
周期：2年一次 Y(G* Yi?;
合格标准 vCU&yX Gl
波长精确度 ±1.0 nm 8HH.P`Vk#
波长再现度 ±0.25 nm
