现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ~S{\wL53  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 @DKl<F  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 exN#!&;  

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第一篇光学多层膜设计 r|BKp,u9
  
第1章光学薄膜特性的理论计算 6]A\8Ty  
1.1单色平面电磁波 |BWK"G  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ' g!_Flk  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Jj!tRZT  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ['`'&+x&!  
习题 soK_l|z:J  
第2章光学薄膜的设计理论 U~@B%Msb L  
2.1矢量作图法 s+G9L)b'  
2.2有效界面法 @%85k/(  
2.3对称膜系的等效层 2Sd6b 2-  
2.4导纳图解技术 6 FxndR;  
习题 Vk=<,<BB  
第3章光学薄膜系统的设计 _IGa8=~  
3.1减反射膜 n/Z =q?_  
3.2分束镜 uXa}<=O  
3.3高反射膜 dOgM9P  
3.4干涉截止滤光片 'QS~<^-j"  
3.5带通滤光片 h0QQP  
3.6特殊膜系 0`zq*OQ  
习题 BrmFwXLP"  
参考文献 ?^GsR[-x  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 X
E%6c3s  
第4章薄膜制备技术 j?ubh{Izm  
4.1真空淀积工艺 Ekp 0.c8:  
4.2光学薄膜材料 >(J!8*7  
4.3薄膜厚度监控艺术 f3|=T8"t  
4.4膜层厚度的均匀性 jl29~^@}1i  
习题 itM
c!bUQ  
参考文献 _ L6>4  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Q%d[U4@  
5.1薄膜的形成过程 U.jMK{  
5.2薄膜的微观结构 WuXRL}!\,  
5.3薄膜的成分 #Ih(2T i  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 JH,bSb  
5.5薄膜微观结构和改善 r/:'}os;  
习题 45JLx?rN_  
参考文献 ~u1JR`y  
第三篇光学薄膜检测技术 FJ. :*K[  
第6章薄膜透射率和反射率测量 3{E}^ve  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 pDN,(Ip  
6.2薄膜反射率的测试 1#RA+d(  
6.3薄膜反射率的测量 ,urkd~  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 N=x,96CF  
6.5总结 K",]_+b  
习题 @isqFKjph  
参考文献 YR#1[fe*_  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ~qxc!k!w4  
7.1激光量热计基本原理 GoXHVUyp  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 D]_\i[x  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
KwyXM9h6=  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 x&p=vUuukP  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法  =7@  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 6?~pjMV  
7.7总结 y['icGU6  
习题 L1+cv;t  
参考文献 $nN$"  
第8章薄膜光学常数的测量 "fwuvT 1  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ThB2U(Wf  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 EaL+}/q&  
8.3薄膜波导法 '93&?  
8.4光学薄膜厚度的测试 O;tn5  
8.5总结 4 .qjTR  
习题 W5 }zJ)x  
参考文献 g9.hR8X  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 O#k+.LU  
9.1薄膜的力学特性检测技术 sk/Mh8z  
9.2薄膜器件的环境试验 xbIA97g-O,  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 o)DKP>IM#  
9.4总结 X} 8U-N6)  
习题 fW`F^G1R  
参考文献 RUO
6Co-  
附录 'ZZ/:MvQa  
附录A复数与复数运算 "b;?2_w:E  
A.1复数的概念 Ja2.1v|r.  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 B dUyI_Ks:  
A.3复数在物理中的运用 q3t@)+l>*  
附录B矩陈及矩陈运算 b8
7d'# .  
B.1矩陈的定义 `^x^= og'  
B.2矩陈运算 Pd?YS!+S  
附录C光的电磁理论基础 H(|v  
C.1振动与波 AmFHn  
C.2电磁波 sa])^mkq(  
C.3麦克斯韦方程 R7>@-EG  
C.4平面电磁波 JKGZ0yn  
C.5平面电磁波性质 ]a()siT  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 }W J`q`g  
附录D光的干涉 7#`:m|$  
D.1波的叠加原理 XafyI*pOX  
D.2杨氏干涉 w.jATMJ)F  
D.3平板的表面干涉 2J5dZYW  
D.4光的空间相干性和时间相干性 nNr3'6lz  
附录E光的偏振 Z9y:}:j"  
E.1自然光和偏振光 *BV .zbGm  
E.2偏振光与Jones矩陈 )sr]}S0  
E.3偏振光的获得 ] D(3   
E.4偏振光的检验
V^D#i(5  
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