《现代
光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜
材料、制备
参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观
结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。
D!F 2 l_ 光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。
E.`6oX\L| 为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。
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+G*JrwJ&= ""% A'TZ 第一篇光学多层膜设计
.Z\Q4x#!Z 第1章光学薄膜特性的理论计算
T2FE+ A]n9 1.1单色平面电磁波
*?t%0){ 1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射
V'DA[{\* 1.3光学薄膜特性的理论计算
M Hi8E9_O 1.4光学多层膜内的电场强度分布
YKZa$@fA? 习题
S($Su7g%_ 第2章光学薄膜的设计理论
Y32 "N[yw 2.1矢量作图法
F;q#& 2.2有效界面法
2% B'3>a 2.3对称膜系的等效层
LP];x3 2.4导纳图解技术
ABh&X+YD 习题
x,n,Qlb 第3章光学薄膜
系统的设计
_;
Y` 3.1减反射膜
T{+Z(L 3.2分束镜
L| hx
ar J 3.3高反射膜
Lel|,mc`k2 3.4干涉截止滤光片
, %9df+5k 3.5带通滤光片
c; 2#,m^ 3.6特殊膜系
Pe;Y1Qq>> 习题
tDg}Ys=4K> 参考文献
nkfZiyx 第二篇薄膜制备技术和微结构特性
*{
{b~$ 第4章薄膜制备技术
dG7OqA:9 4.1真空淀积工艺
V[o`\|< 4.2光学薄膜材料
*)M49a*UD 4.3薄膜厚度监控艺术
!%)F J:p 4.4膜层厚度的均匀性
BZ54*\t 习题
_tTN G2 参考文献
" ZM4F?x 第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响
Y_woKc* 5.1薄膜的形成过程
5,-U.B} 5.2薄膜的微观结构
a2'^8;U*_ 5.3薄膜的成分
d?`ny#,G B 5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响
,I 1 R V 5.5薄膜微观结构和改善
ojvj}ln 习题
I M-L'9 参考文献
8_<4-<}P: 第三篇光学薄膜检测技术
bef_rH@` 第6章薄膜透射率和反射率测量
n!p<A .O7@ 6.1光谱分析测试系统的基本
原理 if |+EN % 6.2薄膜反射率的测试
5[0
O'%$ 6.3薄膜反射率的测量
= C4 6.4利用
激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗
0U%f)mG 6.5总结
vVE2m=!v 习题
5?hw ! 参考文献
s l]_M 第7章薄膜的吸收和散射测量
F a'k0/_j 7.1激光量热计基本原理
Tb3J9 q+ya 7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收
^*P%=>zO 7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
yKYTi3 _( 7.4散射光的矢量理论和角分布测量
o. 0ci+z@ 7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法
]]C b$$Td 7.6薄膜导波传播衰减系数法
&f ^, la 7.7总结
6d_'4B 习题
H&:jcgV*P 参考文献
su*'d:L 第8章薄膜光学常数的测量
I 'V4D[H5 8.1从透射、反射
光谱确定薄膜的光学常数
j#cYS*^H 8.2其他薄膜的光学常数测试方法
-$\+ '
\ 8.3薄膜波导法
6
J{k(H$3 8.4光学薄膜厚度的测试
W[Ls|<Q 8.5总结
KXx32 b,~ 习题
:A/d to 参考文献
8_{X1b j 第9章薄膜非光学特性的检测技术
mIK7p 6 9.1薄膜的力学特性检测技术
"wNJ 9.2薄膜器件的环境试验
,6-:VIHQ 9.3薄膜的微结构与化学成分检测
\ O2 Rhz 9.4总结
U4d:] z 习题
i bj87K 参考文献
e
9;~P} 附录
I}1NB3>^ 附录A复数与复数运算
ML|FQ A.1复数的概念
}H ^+A77v A.2复数的三角函数及指数表示方法
=A LTUV3/q A.3复数在物理中的运用
U|jSa,} 附录B矩陈及矩陈运算
<0X f9a8> B.1矩陈的定义
=vX/{C B.2矩陈运算
Zy`m!]G]80 附录C光的电磁理论基础
A1O' |7X C.1振动与波
4K\G16'$v C.2电磁波
AE[b},-[ C.3麦克斯韦方程
LRL,m_gt C.4平面电磁波
pFOx>u2`a C.5平面电磁波性质
HiZ* +T.B C.6电磁波在介质表面的反射和折射
nT7%j{e=L 附录D光的干涉
Mk"^?%PxT D.1波的叠加原理
,Lr. 9I. D.2杨氏干涉
g6j?,c|y D.3平板的表面干涉
"~sW"n(F_ D.4光的空间相干性和时间相干性
(A9Fhun 附录E光的偏振
+^6 0T$ E.1自然光和偏振光
LBYMCY E.2偏振光与Jones矩陈
o#3 ly-ht E.3偏振光的获得
+$ 'Zf0 U E.4偏振光的检验
'DP1,7 ……
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%O|iE M , qMzW a 1m4$ p2j 电子文档下载：
http://www.opticsky.cn/read-htm-tid-44072.html
