现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 o}O"  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 |,#DB  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 )IQ5Qu  

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第一篇光学多层膜设计 j=c=Pe"?u  
第1章光学薄膜特性的理论计算 B6 rz  
1.1单色平面电磁波 }(tuBJ9  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 4u0\|e@a  
1.3光学薄膜特性的理论计算 c$fi3O  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 YvA@I|..~  
习题 CWKN0HB  
第2章光学薄膜的设计理论 dZ^(e0& :H  
2.1矢量作图法 ::?,ZA  
2.2有效界面法 n/]w!  
2.3对称膜系的等效层 X~+AaI:~K  
2.4导纳图解技术 Yvmo%.oU  
习题 f[r?J/;P9  
第3章光学薄膜系统的设计 fyHFfPEE  
3.1减反射膜 /w[B,_ZKTk  
3.2分束镜 %PF:OB6[|  
3.3高反射膜 ,^Ug[pGG-  
3.4干涉截止滤光片 4S9hz  
3.5带通滤光片 o
4Ny9s  
3.6特殊膜系 &ZyZmB  
习题 AlPk o($E*  
参考文献 Dq
xtc|vo  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 EuH[G_5e0  
第4章薄膜制备技术 g<b(q|  
4.1真空淀积工艺 Ku'OM6D<  
4.2光学薄膜材料 [B0]%!hFw  
4.3薄膜厚度监控艺术 yLFZo"r  
4.4膜层厚度的均匀性 'J[n}r  
习题 y"bSn5B[  
参考文献 +O]jklS4H  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 xJcM1>cT>  
5.1薄膜的形成过程 ` @PHV  
5.2薄膜的微观结构 1&7~.S;km  
5.3薄膜的成分 O4c[,Uq8~  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响  H8lh.K  
5.5薄膜微观结构和改善 fCMFPhF  
习题 |$>ZGs#  
参考文献 f52*s#4}  
第三篇光学薄膜检测技术 EdH;P\c  
第6章薄膜透射率和反射率测量 EdC^L`::  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Sh@en\m=#S  
6.2薄膜反射率的测试 BI|BfO%F$j  
6.3薄膜反射率的测量 ~k(4eRq  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 /7`fg0
A  
6.5总结 j Z6]G{  
习题 .,vF%pQ  
参考文献 @3a
I7U/I  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ]QqT.z%B  
7.1激光量热计基本原理 Q$`u=-h|  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 'B"A*!"b  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 178u4$# b  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 \h{M\bSIEa  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 U??T>  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Hyn*O)q!  
7.7总结 Le?yzf  
习题 |0wHNRN_  
参考文献 6he 
(v  
第8章薄膜光学常数的测量 l<DpcLX  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 S&q(PI_"  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 >}I BPC  
8.3薄膜波导法 [(81-j1v  
8.4光学薄膜厚度的测试 8T]x4JQ0  
8.5总结 mh$Nwr/W:  
习题 $D%[}[2  
参考文献 {y
\5 9  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 WVMkLMg8d  
9.1薄膜的力学特性检测技术 sI,S(VWor  
9.2薄膜器件的环境试验 {=Y3[  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 /4xp?Lo:  
9.4总结 ^_0l(ke  
习题 ^1}Y=!&  
参考文献 }i\U,mH0_&  
附录 _?m%i]~o
 
附录A复数与复数运算 ]A
.tauSW  
A.1复数的概念 2y;J 11\  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 jn:9Cr,o;g  
A.3复数在物理中的运用 ;Q{~jT  
附录B矩陈及矩陈运算 nyRQ/.3  
B.1矩陈的定义 ==^9_a^  
B.2矩陈运算 =)O%5<Lwx  
附录C光的电磁理论基础 ^DaP^<V  
C.1振动与波 4\rwJD<  
C.2电磁波 6~O9|s^38w  
C.3麦克斯韦方程 h+"UK=  
C.4平面电磁波 YB?5s`vr9d  
C.5平面电磁波性质 q"OJF'>w5  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 muZ6}&4  
附录D光的干涉 *y@Xm~ld  
D.1波的叠加原理 b$,~S\\c  
D.2杨氏干涉 R{0
nk   
D.3平板的表面干涉 C\RJ){dk  
D.4光的空间相干性和时间相干性 g/_j"Nn  
附录E光的偏振 Z<ABK`rEO  
E.1自然光和偏振光 {g@?\  
E.2偏振光与Jones矩陈 BJ$\Mb##3@  
E.3偏振光的获得 *?<yg
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E.4偏振光的检验 x<lY&KQ0  
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