现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 j8cIpbp8x  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 (#&-ld6  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 &RJ*DAmL  

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第一篇光学多层膜设计 Silh[8  
第1章光学薄膜特性的理论计算 (-no
`j  
1.1单色平面电磁波 NihUCj"  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 kF;N}O2?{  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ]c9\[Kdq}H  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 `hl8j\HV<}  
习题 *;&[q{hz  
第2章光学薄膜的设计理论 AMw#_8Y  
2.1矢量作图法 ]\C wa
9  
2.2有效界面法 >\7Mf@c  
2.3对称膜系的等效层 22T\-g{  
2.4导纳图解技术 0h=}BCb+i  
习题 2q NA\-0i>  
第3章光学薄膜系统的设计 iV$TvD+  
3.1减反射膜 kl~)<,/@  
3.2分束镜
w;{=
 
3.3高反射膜 |AQU\BUj  
3.4干涉截止滤光片 ,M.phRJ-`  
3.5带通滤光片 "5!T-Z+F  
3.6特殊膜系 VnYcqeCm  
习题 KB"N',kG  
参考文献 [  *~2Ts  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 2Ij,OIcdBE  
第4章薄膜制备技术 2dyS_2u  
4.1真空淀积工艺 :#VdFMC<  
4.2光学薄膜材料 ${h1(ec8  
4.3薄膜厚度监控艺术 }`$s"Iv@  
4.4膜层厚度的均匀性 &7 K=  
习题 ri`;   
参考文献 dC<2%y  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 oj(st{,  
5.1薄膜的形成过程 GGs7]mhA  
5.2薄膜的微观结构 yW)r`xpY  
5.3薄膜的成分 -N'wKT5  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 aXyFpGdb9  
5.5薄膜微观结构和改善 LVNA`|>  
习题 2lCgUe)N  
参考文献 b['v0x  
第三篇光学薄膜检测技术 fm^J-  
第6章薄膜透射率和反射率测量 L)n_  Q  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 VaW^;d#  
6.2薄膜反射率的测试 bt};Pn{3  
6.3薄膜反射率的测量 A"O\u=!  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 =fy\W=c  
6.5总结 RW<10:  
习题 %L|xmx!c  
参考文献 p'0X>>$  
第7章薄膜的吸收和散射测量 0v,fY2$c  
7.1激光量热计基本原理 PfsUe,*  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 4wN5x[vp  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 nMJ(tQ  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 )<f4F!?,A  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 sd"eu  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 R,s}<N$  
7.7总结 va:<W H  
习题 l;rA}?,.^  
参考文献 P}^Y"zF2  
第8章薄膜光学常数的测量 .EReYZO  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 &ty-aB=F  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 &lgzNC9g%  
8.3薄膜波导法 A>8~deZ9  
8.4光学薄膜厚度的测试 BCuoFw)  
8.5总结 3B='f"G  
习题 sYfm]Faz  
参考文献 M
Gf*+!y,  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 D~bx'Wr+  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ts% n tnvI  
9.2薄膜器件的环境试验 O+|ipw*B%  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 :7i x`C2  
9.4总结 Vh1y]#w  
习题 %JH/|mA&|  
参考文献 !
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附录 !C|Z+w9Y  
附录A复数与复数运算 gj iFpW4  
A.1复数的概念 ($!uBF-b  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 lQiw8qD  
A.3复数在物理中的运用 (?g+.]Dt,  
附录B矩陈及矩陈运算 ;B;@MD,B  
B.1矩陈的定义 5 1N/XEk  
B.2矩陈运算 vS"h`pL  
附录C光的电磁理论基础 k~Q 5Cs  
C.1振动与波 3AglvGK7{  
C.2电磁波 }]#z0'Aqsu  
C.3麦克斯韦方程 Cn{v\Q~.4
 
C.4平面电磁波 jo0XF]  
C.5平面电磁波性质 a0+q^*\d\R  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 YR? E z<p  
附录D光的干涉 eEfGH  
D.1波的叠加原理 Sa%%3_&  
D.2杨氏干涉 .jg@UAK  
D.3平板的表面干涉 xY/F)JOeG  
D.4光的空间相干性和时间相干性 R?;mu^B  
附录E光的偏振 zy%0;%
 
E.1自然光和偏振光 pg!MtuC}  
E.2偏振光与Jones矩陈 mQ<4(qd)  
E.3偏振光的获得 Phk3Jv  
E.4偏振光的检验 =|``d-  
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