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    [求助]滋控溅射的偏压是什么？ [复制链接]

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    离线wangxingyu
    技术员
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2009-08-15
    请教高手滋控溅射的偏压是什么？靶材的偏压对溅射有什么影响？
     
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    离线longmin
    高级工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2009-08-15
    去翻書看比較容易了解
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    离线1985120
    助理工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2009-08-16
    楼上的话说的很对！！！！！！！！！！！！！
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