[讨论]膜系设计相关问题 [复制链接]

各位同行大哥大姐，小弟这有一个膜系设计的问题想请教大家。 Zj`WRH4  
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我在膜系设计时开始没有考虑到设计TOOLING。设计并优化了膜系。光谱符合我们的要求。加上设计TOOLING后就不行了。我想请教各位:tooling 是1 的时候和不是1，比如是1.27(TI3O5)时它们之间有没有一个换算关系. &gXh:
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小弟不才.H层和L 层TOOLING 不是1 的时候我很难控制它的中心波长. R@vcS=m7  
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拜托各位了.小弟再次谢过了. V`V\/sgj  
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我的邮箱:fang198112042001@163.com

学习了，谢谢分享

多谢共享资料 好东

我有点不明啊!! Jd2.j?P=  

就是修正系数的意思，把实际测量厚度/设定厚度（基片厚度）。

斑竹 我的机器 是南光机带晶控的不过机器的系数一直不稳定请问你们是用什么方法做机器的系数

斑竹,知道答案给解释一下,我也很想知道,大家一起分享. ~z,o):q1}  
谢谢!!!

初始ＴＯＯＬＩＮＧ怎么计算啊？

好呀我来了又

是不是膜厚控制的tooling啊？如果是，对于同一个蒸发源，一般的不同材料tooling差别不大啊。 qA*~B'  
如果楼主成膜时H、L材料使用不同的蒸发源，建议将两个蒸发源的tooling调成一样。 :qYp%Ub  
    无论怎样，设计是也是可以按照理想状态设计的，只不过镀膜程式要随需变化。遇到搂住的情况，在下觉得问题不在设计，而应该考虑设备方面的问题。