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五维光学调整架 Ba*,-i3ZK  
技术参数： 1H@>/QC  
1. X,Y,Z移动距离分别为: !tMuuK?IL=  
      X向: ±7.5mm /F-qP.<D,r  
      Y向: ±9   mm Jz.NHiLct1  
      Z向: ±10 mm x:>wUhzZ  
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005; y8L D7<1u  
                   X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于 t.&Od;\[/  
                   0.005 I)cFG{~L  
3. 三爪机构夹持范围 Ø10~ Ø 130 k*E\B@W>  
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5° D 38$`j  

图片:IMG_2243.jpg

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图片:IMG_2245.jpg

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