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摘要 nqw*oLFQ )-6[Bw 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 s 13 d* e1Z;\U$&.
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0 kv`3Y0R-" 光栅详细说明 BtDgv.;GH ?(XX
9R<J$e [E&"9%K •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 )}k`X<~k •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 vN[m5)aT uc
`rt" 光栅阶次分析器设置 cVt$#A) 9H Bx[2& •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 SZ1pf#w! •可以指定各种输出选项。 CX@HG)l •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 eXtF[0f k1
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Wn)A/Z ^r 1 bx^Pt) 常规设置 3jQ$72_ 4iB)oR
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$e |x~ei_x7.p •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 ;@$, "
P •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 ;?[ +vf") Sv[_BP\^h 单个阶次设置 !EC\1rmdlN REe%>|
P)
0=@{( X([n>w •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 ?>Ci`XlLr •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 U8 @*I>vA SOY#, Zu 单个阶次设置 dXSb%ho ~<Qxw>S# :=fHPT .*..pf|/
MhXm-<4
A&|(% 探测器标签页中的输出 o]k]pNO rAi!'vIE
[75e\=wK %.} •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 p~VW3u] •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 i}12mjF 5 s2}nIe 极坐标图中的输出 Y
.X-8 {.[,ee-)9 ]$%4;o4O n!,TBCNX •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 @G&xq"Fg7 •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 2G*#Czr" Q#AHEm{9;s 极坐标图设置 F973U "pJEzC
>TVd*S ;&:Et •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 H_^u_%:e
•可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 mLdyt-1 h1d0{ 阶次汇集输出 [_B&7#3>7 >.sN?5}y omU)hFvyS •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 JqIv&W |