[求助]zns表面破损/脱膜 [复制链接]

使用阻蒸在GE基底镀一层ZNS的单层膜，镀膜温度170℃。 }bjTb!  
超声清洗后对ZNS膜层进行检测，发现存在白点和破损（如图），尺寸都是um量级。 V

I37  
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对白点进行了成分分析，是ZNS膜料。破损是什么原因造成的？破损的位置是否是大颗粒的ZNS点在超声过程中脱膜导致？如何改善？ -C.eXR{s  
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emmm，这个我这镀膜也有，咱们的异常一模一样，我现在也在想解决这个，目前只能做到减少，不能完全消除掉，还是得去找大佬问问。 )mp0k%  
我怀疑溅料、底部脏污，腔体环境，但不知道对不对 0( /eSmet  

飞奔的牛:emmm，这个我这镀膜也有，咱们的异常一模一样，我现在也在想解决这个，目前只能做到减少，不能完全消除掉，还是得去找大佬问问。 rPr#V1}1a  
我怀疑溅料、底部脏污，腔体环境，但不知道对不对 _czLKbcF  
 (2026-07-17 14:24)  u%v^(9z  

uyAhN  
底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析，发现一部分是基底脱膜，又有一部份是膜层中间脱落。 f{^n<\Jh  
另外对白点切片分析，有部分白点是膜层中间存在空鼓，导致突起。 ^!Bpev  
调整zns膜料装舟时的排列紧密度会不会对溅料产生改善 XTHrf'BU  
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nailiang:底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析，发现一部分是基底脱膜，又有一部份是膜层中间脱落。 'HOcK8}b  
另外对白点切片分析，有部分白点是膜层中间存在空鼓，导致突起。 /0@}7+&  
调整zns膜料装舟时的排列紧密度会不会对溅料产生改善
....... (2026-07-17 15:33)  <NS=<'U  

Z/Mp=273  
调整装料方式可以验证一下，我在其他途径了解到的方法： paMw88*u  
1.有的老师傅是压成块状的ZNS放在钼舟里，他们的缺陷就少 !kmo%+  
2.底层用ZNS旧料，然后在上面铺设新料 Z\dILt:#z  
3.降低速率，防止蒸发过快 NK"y@)%0  
前两条没试过，最后一条刚验证，确实可以减少这种节瘤缺陷 (S9"(\A  
你可以先验证一下，或者有其他思路也可以说一下，咱们一起验证