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摘要 [BFPIVD)h] =$uSa7t# 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 QZFH>,d Rl n% Y
*V{Y.`\ 41I2t(H @z 系统内光栅建模 abg`:E 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 [m(n-MuF 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 :Q"p!,X=- 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 0D&-BAzi uVa`2]NV r
X;CRy, 6)_h'v<|M 附着光栅堆栈 S%3&Y3S ?P(U/DS8 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ~$m:j]; 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ]4]AcJj 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 x2tcr+o 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 kn}bb*eZ C&;m56 K?*p|&Fi?8 d?)Ic1][ 堆栈的方向 9}'92 c6tH'oV 堆栈的方向可以用两种方式指定: [H{2<! SDko# 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 $~NB
.SY LKYcE;n 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 S+GW}?! CRu {Ie5B {}"a_L&[; DtkOb,wY 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 EXti +.McC$!s
作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 vCn\_Nu;W& 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 a"phwCc"% 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 Fz2CXC #Ht;5p>5
K9) |b`E= qE M,~:lTn 高级选项和信息 /}nq?Vf 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 9!s)52qt 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 ,D\}DJ`)C 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 M2LW[z 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 !&pk^VFl+ `_(N(dm
fr8hT(,s) >w#&fd 结构分解 "s7}eWM*a aMaqlqf 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 B
!Z~j T 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 fK+[r1^ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 i wI} 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 M4E== CIAKXYM
lVgin54Q I36ClOG 光栅级次通道选择 :b<< P7*?E* 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 8" (j_~; 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 n\u3$nGL1` 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 B*n_
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fnK H< j){0>O.V 光栅的角度响应 tLM/STb6 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 )npvy>C'( 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 YZz8xtM<2 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 +Oc |Oo 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 51`*VR]`K XF?"G<2
;9hS_%ldX4 >[4CQK`U 例:谐振波导光栅的角响应 Y/qs\c+ rvPmd%nk-
Qk].^'\ _7,4C? 谐振波导光栅的角响应 6nW]Q^N} wSG!.Ejc7
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