[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 jG($:>3a@  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 /18Z4TA  
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建模任务 LxqK@Q<B  
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模拟&设置：单平台互操作性 HI}$Z=C  
建模技术的单平台互操作性 Uh.XL=wY  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 cG|)z<Z  
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 平面波光源 `x;8,7W;B  
 微透镜阵列 g=eYl_P6  
 彩色滤光片(吸收介质) Izrf42 >k  
 通过基底传播 C+{du^c$  
 探测 jO'+r'2B9  
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连接建模技术：微透镜 e_C9VNP  
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连接建模技术：彩色滤光片 iG<rB-"  
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连接建模技术：可编程介质 .E!p
  
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连接建模技术：自由空间传播 )tQG5.to  
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连接建模技术：堆栈 N*t91 X  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 muLt/.EZ  
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 微透镜阵列 3[Pa~]yS  
 彩色滤光片(吸收介质)  &y1' J  
 通过基底传播 1j*I`xZ  
 探测 fn|l9k~<O  
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元件内场分析器：FMM \Cx) ~bq<  
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模拟结果 riI0k{  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) '< OB j  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) &J|3uY,'j  

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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) /'1UfjW>  
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3D仿真与结果比较 AqVTHyCu  
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3D仿真与结果比较 `>RJ*_aKEI  
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