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]m q|w 内容简介 nAato\mM Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 `hm-.@f,9 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 z9Mfd#5?>P 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 bj^5yX;2 \K{
z 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 0auYG><= 目录 l'1pw Preface 1 C=xa5Y 内容简介 2 aKDKmHd 目录 i B@))8.h] 1 引言 1 rHI{aO7 2 光学薄膜基础 2 {WS;dX4 2.1 一般规则 2 ^CH=O|8j 2.2 正交入射规则 3 4@gG<QJW 2.3 斜入射规则 6 3`?7<YJ 2.4 精确计算 7 :Ov6_x]* 2.5 相干性 8 M0"_^? 2.6 参考文献 10 zI uJ-8T" 3 Essential Macleod的快速预览 10 "{xrL4BtC 4 Essential Macleod的特点 32 RBd7YWo\|j 4.1 容量和局限性 33 n&/
` 4.2 程序在哪里? 33 ) q4[zv9 4.3 数据文件 35 >6-`}G+| 4.4 设计规则 35 H41?/U,{ 4.5 材料数据库和资料库 37 ;;t yoh~t 4.5.1材料损失 38 4"ZP 'I; 4.5.1材料数据库和导入材料 39 nFCC St$ 4.5.2 材料库 41 /}Axf"OE 4.5.3导出材料数据 43 VQ@ 4.6 常用单位 43 pllGB6X 4.7 插值和外推法 46 W@IQ^
}E 4.8 材料数据的平滑 50 ?j.,Nw4FC 4.9 更多光学常数模型 54 yPp9\[+^j 4.10 文档的一般编辑规则 55 d-ko
^Y0 4.11 撤销和重做 56 @
q3k%$4 4.12 设计文档 57 !BF;
>f` 4.10.1 公式 58 >'$Mp < 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 q
i;1L
Kc 4.10.3 沉积密度 59 ; 2#y7! 4.10.4 平行和楔形介质 60 3}1u\(Mf 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ({_{\9O,3 4.10.4 性能 61 NxY#NaE:?4 4.10.5 保存设计和性能 64 ^\% (,KNo 4.10.6 默认设计 64 |r/"
|` 4.11 图表 64 cjY-y-vO 4.11.1 合并曲线图 67 @HC Vmg: 4.11.2 自适应绘制 68 !<";cw(q 4.11.3 动态绘图 68 }8z?t:|S 4.11.4 3D绘图 69 UkC!1Jy 4.12 导入和导出 73 $PPi5f}HD 4.12.1 剪贴板 73 >=>2m2z= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 }.(B}/$u 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (t|Zn@uY 4.13 背景 77 "sCRdx]_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 5qm`J,~k 4.15 生成Rugate 84 ^
@5QP$. 4.16 参考文献 91 _VN?#J)o 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 gf@:R'$:+ 5.1 Jobs 92 &z3o7rif$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 c?-H>u 5.3 输入材料 94 jr."I+ 5.4 设计数据文件夹 95 F>l]
9!P|m 5.5 默认设计 95 ,4$>,@WW~ 6 细化和合成 97 AT3Mlz~7# 6.1 优化介绍 97 }0z)5c 6.2 细化 (Refinement) 98 O/Crd/ 6.3 合成 (Synthesis) 100 m(!FHPvN 6.4 目标和评价函数 101 j^JPZ{ej? 6.4.1 目标输入 102 t*u:hex 6.4.2 目标 103 q9_OGd|P 6.4.3 特殊的评价函数 104 /3T1U 6.5 层锁定和连接 104 Q%G8U#Tm 6.6 细化技术 104 2ilQXy 6.6.1 单纯形 105 GefTdO.& 6.6.1.1 单纯形参数 106 9A=,E& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 F41=b4/ 6.6.2.1 Optimac参数 108 +\9NDfYIA 6.6.3 模拟退火算法 109 `^&OF uee 6.6.3.1 模拟退火参数 109 T5h
H 6.6.4 共轭梯度 111
t{96p77)= 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Yq
KCeg 6.6.5 拟牛顿法 112 5;EvNu 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 L4HI0Mx 6.6.6 针合成 113 wHy!CP% 6.6.6.1 针合成参数 114 p5iuYHKk? 6.6.7 差分进化 114 :F?C)F 6.6.8非局部细化 115 C'x&Py/# 6.6.8.1非局部细化参数 115 5b*C1HS@X 6.7 我应该使用哪种技术? 116 y)@wjH{6 6.7.1 细化 116 GTd,n= 6.7.2 合成 117 W6Fo6a"< 6.8 参考文献 117 1+s;FJ2} 7 导纳图及其他工具 118
8A#;WG 7.1 简介 118 7<R E_/] 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 0 H:X3y+ 7.2.1 四分之一波长规则 119 hgq;`_;1, 7.2.2 导纳图 120 ~DwpoeYX 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 1qA;/-Zr<o 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 xJe%f\UDu 7.5 斜入射导纳图 141 <P_-s*b 7.6 对称周期 141 JZx[W&]zT 7.7 参考文献 142 bt?5*ETA 8 典型的镀膜实例 143 xqh 8.1 单层抗反射薄膜 145 F^:3?JA_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ?J0y| 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 !nnC3y{G 8.4 W-膜层 148 [/r(__. 8.5 V-膜层 149 {Sh ;(.u^ 8.6 V-膜层高折射基底 150 Pm7}"D'/ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 E1
2uZ$X 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 9(Xn>G'iT 8.9 四层抗反射薄膜 153 e0 ecD3 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 >t+P(*u 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 p_4<6{KEt 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 h?U
O&( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 :3 mh@[V 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 !ohN!P7& 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ~xTt204S 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 $??I/6 8.17 1/4波长堆栈 162 n$R)>nY 8.18 陷波滤波器 163 A#,ZUOPGH 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 c+ie8Q! 8.20 褶皱 165 2\$oV 8.21 消偏振分光器1 169 %BODkc Zh 8.22 消偏振分光器2 171 ca9X19NG 8.23 消偏振立体分光器 172 sLk-x\P]| 8.24 消偏振截止滤光片 173 DY*N|OnqJ 8.25 立体偏振分束器1 174 lOp`m8_= 8.26 立方偏振分束器2 177 |.dRily+ 8.27 相位延迟器 178 7tp36 TE 8.28 红外截止器 179 U<XG{<2 8.29 21层长波带通滤波器 180 zt%Mx>V@ 8.30 49层长波带通滤波器 181 >\8+:oS^ 8.31 55层短波带通滤波器 182 LzL
So"n 8.32 47 红外截止器 183 8P`"M#fI 8.33 宽带通滤波器 184 *
y,v}- 8.34 诱导透射滤波器 186 !,PWb3S 8.35 诱导透射滤波器2 188 XWw804ir 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 n6v6K1 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
\=o- 8.35 增益平坦滤波器 193 b.938#3, 8.38 啁啾反射镜 1 196 k?}Zg* 8.39 啁啾反射镜2 198 wL[
M: 8.40 啁啾反射镜3 199 O6Y0XL 8.41 带保护层的铝膜层 200 b,@/!ia 8.42 增加铝反射率膜 201 jEwIn1 8.43 参考文献 202 h+,@G,|D 9 多层膜 204 !R$`+wZ62 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 F0#
'WfM# 9.2 内部透过率 204 w-jVC^C] 9.3 内部透射率数据 205 ~LC-[&$ 9.4 实例 206 Ys7]B9/1O 9.5 实例2 210 p
ll)Y 9.6 圆锥和带宽计算 212 $cgcX 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 "N#Y gSr 10 光学薄膜的颜色 216 H?w6C):] 10.1 导言 216 dr"1s-D4IQ 10.2 色彩 216 |j|rS5 10.3 主波长和纯度 220 D_MmW 10.4 色相和纯度 221 '%;m?t%q 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 naNghGQ 10.6 色差 226 HOi`$vX}N 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 gM]:Ma 10.8 颜色渲染指数 234 !x)R=Z/C 10.9 色差计算 235 $~kA
B8z 10.10 参考文献 236 TqQ[_RKg2 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 +`15le`R 11.1 短脉冲 238 OrW 11.2 群速度 239 \7_y%HR 11.3 群速度色散 241 E{@[k%,_ 11.4 啁啾(chirped) 245 EX"yxZ~ 11.5 光学薄膜—相变 245 4Tc~b3\!Y 11.6 群延迟和延迟色散 246 -g<oS9 11.7 色度色散 246 >mkFV@` 11.8 色散补偿 249 ,: ^u-b| 11.9 空间光线偏移 256 VN.Je:Ju 11.10 参考文献 258 ?A0)L27UE& 12 公差与误差 260 x~sBzTa 12.1 蒙特卡罗模型 260 u@444Vzg 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 $Kd>:f=A 12.2.1 误差工具 267 u@^LW<eD 12.2.2 灵敏度工具 271 ;@J}}h'y 12.2.2.1 独立灵敏度 271 BLFdHB.$T 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ^?|"L>y 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 5twhm 12.3 参考文献 276 MOC/KNb 13 Runsheet 与Simulator 277 V~#tuv 13.1 原理介绍 277 ~Gw*r\\+ 13.2 截止滤光片设计 277 #z42C?V 14 光学常数提取 289 "jCu6Rj d 14.1 介绍 289 !~Z"9(v'C 14.2 电介质薄膜 289 m+9#5a- 14.3 n 和k 的提取工具 295 SWLo|)@[/ 14.4 基底的参数提取 302 q\)-BXw: 14.5 金属的参数提取 306 Zd&S@Z 14.6 不正确的模型 306 kT=8e;K
14.7 参考文献 311 {+Jv+J9 15 反演工程 313 ,,TnIouy 15.1 随机性和系统性 313 P~dcW 15.2 常见的系统性问题 314 fy$1YI>!Q 15.3 单层膜 314 n@w%Zl 15.4 多层膜 314 ?ubro0F: 15.5 含义 319 cCX*D_kCB 15.6 反演工程实例 319 rlD8D|ZG 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 a{e4it 15.6.2 反演工程提取折射率 327 =H~j,K 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 7z-[f'EIUI 16.1 光学性质的热致偏移 329 ,?3G;- 16.2 应力工具 335
5dg(e3T 16.3 均匀性误差 339 QW"! (`K 16.3.1 圆锥工具 339 +[P{&\d4} 16.3.2 波前问题 341 {Ha57Wk8D 16.4 参考文献 343 \v/[6&|X0s 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 xC?h2hIt 17.1 引言 345 @PU [:; 17.2 操作数 345 r*Xuj= 18 如何在Function中编写脚本 351 _*zt=zn> 18.1 简介 351 _4f;<FL 18.2 什么是脚本? 351 hOeRd#AQK 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 F!do~Z 18.4 基础 352 "5
A!jq 18.4.1 Classes(类别) 352 f!"w5qC^ 18.4.2 对象 352 Dzbz)Zst 18.4.3 信息(Messages) 352 3a|\dav% 18.4.4 属性 352 Ep}s}Stlr} 18.4.5 方法 353 #/]nxW.S 18.4.6 变量声明 353 _G0x3 18.5 创建对象 354 c%&>p|| 18.5.1 创建对象函数 355 w>YDNOk 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 [
3HfQ 18.5.3 丢弃对象 356 olcDt&xv] 18.5.4 总结 356 `x|?&Ytmf9 18.6 脚本中的表格 357
@8
6f 18.6.1 方法1 357 N;gfbh] 18.6.2 方法2 357 5X+A"X
;C 18.7 2D Plots in Scripts 358 qb4z
T 18.8 3D Plots in Scripts 359 xkn;,`t^lJ 18.9 注释 360 BuwY3F\-O 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 DrQ`]]jj7 18.11 一个更高级的脚本 362 W4N{S.#! 18.12 <esc>键 364 u&NV,6Fj2[ 18.13 包含文件 365 B1STG L`nK 18.14 脚本被优化调用 366 he4(hX^ 18.15 脚本中的对话框 368 *8Z32c+C 18.15.1 介绍 368 M_8{]uo 18.15.2 消息框-MsgBox 368 g5yJfRLxp 18.15.3 输入框函数 370 [vgtc.V 18.15.4 自定义对话框 371 kP"9&R`E 18.15.5 对话框编辑器 371 :%.D78& 18.15.6 控制对话框 377 l,8##7 18.15.7 更高级的对话框 380 c|%6e(g"L 18.16 Types语句 384 m2o0y++TjW 18.17 打开文件 385 g){<y~Mk 18.18 Bags 387 KSvE~h[#+ 18.13 进一步研究 388 <qSC#[xu 19 vStack 389 wbHb;] 19.1 vStack基本原理 389 OCUr{Nh 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 :>*7=q= 19.3 五棱镜 393 JO;Uus{? 19.4 光束距离 396 9my^Y9B 19.5 误差 399 uc=B,3 19.6 二向分色棱镜 399 P'2Qen* 19.7 偏振泄漏 404 99S^f:t 19.8 波前误差—相位 405 :0ep(<|; 19.9 其它计算参数 405
eIlva? 20 报表生成器 406 ;I*o@x_ 20.1 入门 406 {FGj]* 20.2 指令(Instructions) 406 M{\I8oOg 20.3 页面布局指令 406 s>en 20.4 常见的参数图和三维图 407 d@^ZSy>L2 20.5 表格中的常见参数 408 :svqE+2 20.6 迭代指令 408 *fdTpXa 20.7 报表模版 408 =WLY 6)]A 20.8 开始设计一个报表模版 409 Gq6*SaTk 21 一个新的project 413 \8
":]EU 21.1 创建一个新Job 414 ?CZd Ol 21.2 默认设计 415 <[v[ci 21.3 薄膜设计 416 AdmC&!nH 21.4 误差的灵敏度计算 420 -12U4h<e 21.5 显色指数计算 422 \lY_~*J 21.6 电场分布 424 VQs5"K" 后记 426 I*&8^r:A 对此书感兴趣可以扫码加微联系 ),)lzN%!
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