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~V8z%s@ 内容简介 .C%
28fH Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 W\~^*ny
P6 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 2Cz haO 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 W7qh1}_% VV$t*9w 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 &W@2n&U.q 目录 QM0B6F Preface 1 d&j 内容简介 2 ,0W^"f.g{m 目录 i ^<CVQ8R7 1 引言 1 'ZuS 2 光学薄膜基础 2 .HS6DOQ 2.1 一般规则 2 '>"{yi- 2.2 正交入射规则 3 c
C3>Ff' 2.3 斜入射规则 6 53])@Mmus 2.4 精确计算 7 SndR:{ 2.5 相干性 8 q Q\j 2.6 参考文献 10 t%lat./yT 3 Essential Macleod的快速预览 10 ?R)]D:` 4 Essential Macleod的特点 32 U
g "W6` 4.1 容量和局限性 33 M|*YeVs9# 4.2 程序在哪里? 33 ]3_b3@k 4.3 数据文件 35 8q[;
0 4.4 设计规则 35 MUrPr 4.5 材料数据库和资料库 37 =fcg4h5( 4.5.1材料损失 38 :>1nkm&Eg 4.5.1材料数据库和导入材料 39 j7~FR{:j 4.5.2 材料库 41 *LEy#N 4.5.3导出材料数据 43 *&NP?-E 4.6 常用单位 43 RuPnWx! 4.7 插值和外推法 46 .e~"+Pe6b 4.8 材料数据的平滑 50 L'= \|r 4.9 更多光学常数模型 54 4Z)s8sD KW 4.10 文档的一般编辑规则 55 $'J3
/C7 4.11 撤销和重做 56 h aAY =: 4.12 设计文档 57 MR#*/Iw~ 4.10.1 公式 58 a`!Jq' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 N6Mr#A-{ 4.10.3 沉积密度 59 ^#Ii=K-[^ 4.10.4 平行和楔形介质 60 mJSfn"b}K 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 1$>+rW{a 4.10.4 性能 61 m@Z# 4.10.5 保存设计和性能 64 c7e,lgG- 4.10.6 默认设计 64 SI}s 4.11 图表 64 %O"8|ZG9{ 4.11.1 合并曲线图 67 <Riz!(G 4.11.2 自适应绘制 68 EgjJywNhd2 4.11.3 动态绘图 68
jxog8E 4.11.4 3D绘图 69 1MN! 4.12 导入和导出 73 3^sbbm.8 4.12.1 剪贴板 73 ){;XI2 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 $YSXE
: 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 G|wtl(}3 4.13 背景 77 0fsVbC 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 4zoQe>v~ 4.15 生成Rugate 84 x)PW4{3qR 4.16 参考文献 91 39X~<\&' 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
I1Q!3P 5.1 Jobs 92 Gw*Tz" 5.2 创建一个新Job(工作) 93 7r:h_r- 5.3 输入材料 94 2JfSi2T 5.4 设计数据文件夹 95 ![_x/F9 5.5 默认设计 95 XNz+a|cF 6 细化和合成 97 I|@+O# 6.1 优化介绍 97 b($hp%+yJ 6.2 细化 (Refinement) 98 kKX' Y+ 6.3 合成 (Synthesis) 100 MGg(d 6.4 目标和评价函数 101 :`bC3Mr 6.4.1 目标输入 102 aO' #!k*R 6.4.2 目标 103 $dL..QH^K 6.4.3 特殊的评价函数 104 '}.Yf_ 6.5 层锁定和连接 104 `w@:h4f 6.6 细化技术 104 9K+>;` 6.6.1 单纯形 105 \@<7Vo, 6.6.1.1 单纯形参数 106 86ao{l6l C 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 {r^_ g(.q 6.6.2.1 Optimac参数 108 7N$2N!I( 6.6.3 模拟退火算法 109 1!#N-^qk 6.6.3.1 模拟退火参数 109 U+S=MP
}: 6.6.4 共轭梯度 111 S6~y!J6Ok4 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 &K^0PzWWof 6.6.5 拟牛顿法 112 Rlq7.2cP 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9[0iIT$q$ 6.6.6 针合成 113 ZEqW*piI 6.6.6.1 针合成参数 114 /$~1e7W 6.6.7 差分进化 114 FQZ*i\G>> 6.6.8非局部细化 115 7({)ou x 6.6.8.1非局部细化参数 115 yaUtDC.| 6.7 我应该使用哪种技术? 116 !=[Y yh 6.7.1 细化 116 Y
;Ym=n' 6.7.2 合成 117 >*-%:ub 6.8 参考文献 117 &o:5lxR{ 7 导纳图及其他工具 118 R/hf"E1 7.1 简介 118 3jx%]S^z| 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ho\1[xS 7.2.1 四分之一波长规则 119 Bkcwl 7.2.2 导纳图 120 ({uW-% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 xGd60"w2 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 "Y&I#&$b\ 7.5 斜入射导纳图 141 o@meogkL 7.6 对称周期 141 =ZgueUz, 7.7 参考文献 142 =KE7NXu]- 8 典型的镀膜实例 143 v rs 8.1 单层抗反射薄膜 145 "hIYf7r## 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 q<YM,%mgj 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Oa[ 8.4 W-膜层 148 ",#.?vT` 8.5 V-膜层 149 -]N2V'QB 8.6 V-膜层高折射基底 150 ipSMmpB 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 "[)G{VzT 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 'HA{6v,y 8.9 四层抗反射薄膜 153 bWe2z~dP 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 SB62(#YR 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 BQu
|qrq 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 .LzA'q1+z 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 U8_{MY-9} 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 QoD_`d 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Y>x{ [er 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 qt8Y3:=8l 8.17 1/4波长堆栈 162 ^~4]"J};M 8.18 陷波滤波器 163 Liqo)m 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 !=9x= 8.20 褶皱 165 TvU
z^ 8.21 消偏振分光器1 169 K~(RV4oF8B 8.22 消偏振分光器2 171 ghQ B 8.23 消偏振立体分光器 172 v\xl?F 8.24 消偏振截止滤光片 173 l}nV WuD 8.25 立体偏振分束器1 174 )nN!% |J 8.26 立方偏振分束器2 177 Jqoo&T") 8.27 相位延迟器 178 .$U,bE 8.28 红外截止器 179 JPI%{@Qc^ 8.29 21层长波带通滤波器 180 L8 P0bNi 8.30 49层长波带通滤波器 181 C5 ~#lNC 8.31 55层短波带通滤波器 182 :V/".K-:J 8.32 47 红外截止器 183 SmXoNiM"y 8.33 宽带通滤波器 184 Y\
[|k-6
8.34 诱导透射滤波器 186 ~&?([}A 8.35 诱导透射滤波器2 188 *C*J1JYp+ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 .f~9IAXP` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 h+km? j 8.35 增益平坦滤波器 193 [LVXXjkFI 8.38 啁啾反射镜 1 196 mWviWHK 8.39 啁啾反射镜2 198 bT:u|/I 8.40 啁啾反射镜3 199 (UkP AE 8.41 带保护层的铝膜层 200 ~j!n`#.\ 8.42 增加铝反射率膜 201 - H?c4? 5 8.43 参考文献 202 u>>|ZPe 9 多层膜 204 {&1L &f< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Wa;N(zw0h 9.2 内部透过率 204 -` ]9o3E7H 9.3 内部透射率数据 205 ne#dEUD 9.4 实例 206 f;E#CjlTL 9.5 实例2 210 j0l{Mc5 9.6 圆锥和带宽计算 212 jcCAXk055 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 EX)&|2w
10 光学薄膜的颜色 216 L>Y+}]~ 10.1 导言 216 2Zu9?
L ,I 10.2 色彩 216 d9{lj(2P 10.3 主波长和纯度 220 1_Yx]%g< 10.4 色相和纯度 221 ]d*9@+Iu 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 eMGJx "a 10.6 色差 226 I~7iIUD 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 pGie!2T E 10.8 颜色渲染指数 234 1AJ6NBC&c 10.9 色差计算 235 ;4O[/;i 10.10 参考文献 236 - %fQr5 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 WwmYJl0 11.1 短脉冲 238 yP58H{hQM8 11.2 群速度 239 cAR
`{%b 11.3 群速度色散 241 }Rh\JDiQ 11.4 啁啾(chirped) 245 6uE20O<z] 11.5 光学薄膜—相变 245 :82T! 11.6 群延迟和延迟色散 246 {B+}LL! 11.7 色度色散 246 kpgvAKyx 11.8 色散补偿 249 UyGo0POW 11.9 空间光线偏移 256 s&73g0$$ 11.10 参考文献 258 !2t7s96 12 公差与误差 260 )zL@h 12.1 蒙特卡罗模型 260 '_v~+ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 R ]Ev=V'U 12.2.1 误差工具 267 a_N7X 12.2.2 灵敏度工具 271 t<rIg1 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ,dRaV</2 12.2.2.2 灵敏度分布 275 p]aEC+q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 oU=vl!\J 12.3 参考文献 276 FC0fe_U(F 13 Runsheet 与Simulator 277 A-Ba%Fv 13.1 原理介绍 277 O:?3B!wF 13.2 截止滤光片设计 277 "#C2+SKM1 14 光学常数提取 289 Sz5t~U=G 14.1 介绍 289 #*h\U]=VS 14.2 电介质薄膜 289 '!m6^*m|c 14.3 n 和k 的提取工具 295 qO{z{@jo55 14.4 基底的参数提取 302 TgkVd]4% 14.5 金属的参数提取 306 MCN>3/81 14.6 不正确的模型 306 qzW3MlD 14.7 参考文献 311 oc1BOW z 15 反演工程 313 qvn.uujYS 15.1 随机性和系统性 313 5RPG3ppS 15.2 常见的系统性问题 314 W9SU1{*9 15.3 单层膜 314 /+*"*Br/ 15.4 多层膜 314 e)sR$]i:v 15.5 含义 319 Odwe1q& 15.6 反演工程实例 319 0B.Gt&Oal 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 )oIh?-WL 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Pb&tWv\ql 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 x2!R&q8U> 16.1 光学性质的热致偏移 329 *OLqr/ yb 16.2 应力工具 335 =E9\fRGU 16.3 均匀性误差 339
Lt*P& 16.3.1 圆锥工具 339 aAjl
58 16.3.2 波前问题 341 bRvGetX 16.4 参考文献 343 ;,bgJgK 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7d;|?R-8D 17.1 引言 345 SAP/jD$5]> 17.2 操作数 345 gPd
K%"B@ 18 如何在Function中编写脚本 351 AE rPd)yk0 18.1 简介 351 P j 18.2 什么是脚本? 351 -[=~!Qr: 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 v@qP &4Sp 18.4 基础 352 c}(H*VY2n 18.4.1 Classes(类别) 352 I=dG(?#7% 18.4.2 对象 352 -8l<5g7 18.4.3 信息(Messages) 352 I}PI 18.4.4 属性 352 )]@h}K} 18.4.5 方法 353 >9H^r\ 18.4.6 变量声明 353 i$NlS}W 18.5 创建对象 354 }$_@yt<{W@ 18.5.1 创建对象函数 355 ofB:7 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 J?o 18.5.3 丢弃对象 356 wQSan&81Q 18.5.4 总结 356 t6"%u3W8M 18.6 脚本中的表格 357 wv9HiHz8gD 18.6.1 方法1 357 7P1Pk?pxy 18.6.2 方法2 357 Qu|CXUk 18.7 2D Plots in Scripts 358 1_+ h"LE 18.8 3D Plots in Scripts 359 ?tLApy^`? 18.9 注释 360 O},}-%G 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 G4(R/<J,BQ 18.11 一个更高级的脚本 362 v]k-xn|$j 18.12 <esc>键 364 r `PJb5^\| 18.13 包含文件 365
KQr+VQdq> 18.14 脚本被优化调用 366 Z|t=t"6" 18.15 脚本中的对话框 368 \V-N~_-H 18.15.1 介绍 368 rqjq}L ) 18.15.2 消息框-MsgBox 368 B%tF|KKj 18.15.3 输入框函数 370 w9'>&W8T 18.15.4 自定义对话框 371 j4/[Z'5ny 18.15.5 对话框编辑器 371 p#$/{;yy 18.15.6 控制对话框 377 syw1Z*WK 18.15.7 更高级的对话框 380 1GYZ1iA 18.16 Types语句 384 6q^$}eOt 18.17 打开文件 385 c{=;lT 18.18 Bags 387 ">[#Ops-;$ 18.13 进一步研究 388 av'm$I|O 19 vStack 389 M`Q$-#E: 19.1 vStack基本原理 389 (4FVemgy 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 e"hfeNphz 19.3 五棱镜 393 <D a-rv8 19.4 光束距离 396 H~FI@Cf$L 19.5 误差 399 /"X_{3dq? 19.6 二向分色棱镜 399 NsB]f{7>8+ 19.7 偏振泄漏 404 xSudDhRP 19.8 波前误差—相位 405 6l\5J6x 19.9 其它计算参数 405 e\6H.9= 20 报表生成器 406 Bt<)1_ 20.1 入门 406 a&'9[9E1 20.2 指令(Instructions) 406 SW9
C
8Q 20.3 页面布局指令 406 CzBYH 20.4 常见的参数图和三维图 407 .`IhxE~mN 20.5 表格中的常见参数 408 iM!2m$'s 20.6 迭代指令 408 &'u|^d 20.7 报表模版 408 f\2IKpF2 20.8 开始设计一个报表模版 409 GlJ[rD 21 一个新的project 413 $M}"u[Qq 21.1 创建一个新Job 414 MG=E
6: 21.2 默认设计 415 33~MP; 21.3 薄膜设计 416 xeF>"6\ 21.4 误差的灵敏度计算 420 YYT;a$GTo 21.5 显色指数计算 422 'APx 21.6 电场分布 424 Pxl, " 后记 426 Z:{|
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