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cD<5~ `l 内容简介 {@X)=.Zf Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 HAcC& s8 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @$|bMH*1: 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 5&Le? -/\ Bc?KAK 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Vfr.Yoy 目录 8SO(pw9 Preface 1 tNDv[IF 内容简介 2 Sh U1RQk 目录 i `+T"^{
Z 1 引言 1 ";w"dfC^ 2 光学薄膜基础 2 C.VU"= - 2.1 一般规则 2 kfs[*ku 2.2 正交入射规则 3 1n>(CwLG" 2.3 斜入射规则 6 'iEu1! t\0 2.4 精确计算 7 yRldPk_ 2.5 相干性 8 -j}zr yG- 2.6 参考文献 10 AKUmh 3 Essential Macleod的快速预览 10 2?(dS 4 Essential Macleod的特点 32 p y%RR*4# 4.1 容量和局限性 33 k :`yxxYIh 4.2 程序在哪里? 33 a`; nB E 4.3 数据文件 35 `z6I][Uf 4.4 设计规则 35 39Tlt~Psz 4.5 材料数据库和资料库 37 OP\m~1 4.5.1材料损失 38 qbD[<T 4.5.1材料数据库和导入材料 39 :sJQ r._L 4.5.2 材料库 41
o+FDkqEN 4.5.3导出材料数据 43 bG!/%,s 4.6 常用单位 43 iiTt{ab\Y 4.7 插值和外推法 46 e6I7N?j 4.8 材料数据的平滑 50 h9l 6AnbJ 4.9 更多光学常数模型 54 )8JM.:, 4.10 文档的一般编辑规则 55 %v<BE
tq 4.11 撤销和重做 56 A0gRX] 4.12 设计文档 57 rc7^~S]5 4.10.1 公式 58 ;^|:*
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Amj'$G|+hj 4.10.3 沉积密度 59 c#`&uLp 4.10.4 平行和楔形介质 60 R2f^dt^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 \~I>@SG2W+ 4.10.4 性能 61 [ih^VlZ 4.10.5 保存设计和性能 64 lWk/vj<5 4.10.6 默认设计 64 Fz@9
@ 4.11 图表 64 e4Q2$Q@b 4.11.1 合并曲线图 67 <4%vl+qW 4.11.2 自适应绘制 68 fnJt8Y4 4.11.3 动态绘图 68 E8b:MY 4.11.4 3D绘图 69 ]YKxJ''u 4.12 导入和导出 73 u\o~'Jz 4.12.1 剪贴板 73 2 UPG8] 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 d2X?^ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 w'a3=_nW 4.13 背景 77 LHd9q^D 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 F4=V*/7 4.15 生成Rugate 84 p?'&P! 4.16 参考文献 91 "{M?,jP# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 "g&hsp+i"A 5.1 Jobs 92 @ x5LrQ_`r 5.2 创建一个新Job(工作) 93 &/-}`hIAT 5.3 输入材料 94 L=V.@? 5.4 设计数据文件夹 95 Jqz K5)
5.5 默认设计 95 QEc4l[^{.B 6 细化和合成 97 -qdt$jIM 6.1 优化介绍 97 cng166}1A 6.2 细化 (Refinement) 98 b>L?0p$ej 6.3 合成 (Synthesis) 100 EM,=R 6.4 目标和评价函数 101 @k-iy-|3) 6.4.1 目标输入 102 4XIc|a Aa 6.4.2 目标 103 #i=k-FA)H 6.4.3 特殊的评价函数 104 <,,X\>B 6.5 层锁定和连接 104 ;={3H_{3 6.6 细化技术 104 W7"UhM 6.6.1 单纯形 105 ZhY03>X 6.6.1.1 单纯形参数 106 /^=8?wK 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 1;eWnb( 6.6.2.1 Optimac参数 108 y'm5Z-@o6 6.6.3 模拟退火算法 109 !uqp?L^; 6.6.3.1 模拟退火参数 109 D4$2'h 6.6.4 共轭梯度 111 /n1L},67h 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9E}JtLgT 6.6.5 拟牛顿法 112 )8;At'q} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 jR>`Xz 6.6.6 针合成 113 1x^Vv;K 6.6.6.1 针合成参数 114 z8cefD9F 6.6.7 差分进化 114 ~{-9qOGw; 6.6.8非局部细化 115 h`f $]_c 6.6.8.1非局部细化参数 115 z['2 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Lwn 6.7.1 细化 116 ]EqwDw4 6.7.2 合成 117 pKaU
[1x?% 6.8 参考文献 117 'PWA 7 导纳图及其他工具 118 H:cAORLB 7.1 简介 118 ~]SCf@pRk 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Lr0:yo 7.2.1 四分之一波长规则 119 vH/RP 7.2.2 导纳图 120 WaSZw0U}y 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 8&yI1XM| 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 }VeE4-p B 7.5 斜入射导纳图 141 o+Fm+5t; 7.6 对称周期 141 &cwN&XBY 7.7 参考文献 142 KkCsQ~po 8 典型的镀膜实例 143 gFl@A} 8.1 单层抗反射薄膜 145 "EwzuM8f 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 % _nmv 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 h.q9p! 8.4 W-膜层 148 aNP\Q23D 8.5 V-膜层 149 ]A%~bQ7 8.6 V-膜层高折射基底 150 2"_5Yyb 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 opTH6a 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 G|u)eW 8.9 四层抗反射薄膜 153 [,(+r7aB 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~BMUea( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 [}yPy))A 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8Oz9 UcG 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 \,'4eV 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 hbEqb{#}@ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 {vdY( 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 u;+8Jg+xH/ 8.17 1/4波长堆栈 162 _r>kR7A\{ 8.18 陷波滤波器 163 Q]e]\J 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 HuR774f[ 8.20 褶皱 165 |AS~sjWSJ 8.21 消偏振分光器1 169 q1v7(`O 8.22 消偏振分光器2 171 F)4I70vG 8.23 消偏振立体分光器 172 ?TJ4L/"(k6 8.24 消偏振截止滤光片 173 GL~
Wnt 8.25 立体偏振分束器1 174 NF7 8.26 立方偏振分束器2 177 BS(jC 8.27 相位延迟器 178 70 Ph^e) 8.28 红外截止器 179 6\k~q.U@XI 8.29 21层长波带通滤波器 180 L/In~'*- 8.30 49层长波带通滤波器 181 rgDl%X2B 8.31 55层短波带通滤波器 182 c\/-*OYr< 8.32 47 红外截止器 183 2|ej~}Y 8.33 宽带通滤波器 184 ;A4j_8\[ 8.34 诱导透射滤波器 186 X&IT s 8.35 诱导透射滤波器2 188 Ve${g`7& 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Z_fwvcZ?05 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 'T$Cw\F& 8.35 增益平坦滤波器 193 bR,Es~n 8.38 啁啾反射镜 1 196 [XttT 8.39 啁啾反射镜2 198 eK5~YM:o 8.40 啁啾反射镜3 199 :s\zk^h? 8.41 带保护层的铝膜层 200 -}PE(c1%?q 8.42 增加铝反射率膜 201 /GX>L) 8.43 参考文献 202 ]=9 d'WL 9 多层膜 204 ay|jq"a 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 !&:Cp_ 9.2 内部透过率 204 pU'${Z~b 9.3 内部透射率数据 205 2vU-9p { 9.4 实例 206 h(R7y@mp\0 9.5 实例2 210
;u[:J 9.6 圆锥和带宽计算 212 v(GnG 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 x)Zb:" 10 光学薄膜的颜色 216 RN|Bk 10.1 导言 216 _`gkYu3R+ 10.2 色彩 216 bRrSd:e 10.3 主波长和纯度 220 Na@;F{ 10.4 色相和纯度 221 %@)R 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 `Tf}h8* 10.6 色差 226 QAt]sat 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 hW'b'x< 10.8 颜色渲染指数 234 -#mN/ 10.9 色差计算 235 O2?yI8|Jn 10.10 参考文献 236 E_I-.o| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 *C0a,G4 11.1 短脉冲 238 [PB73q8 11.2 群速度 239 V8nQ/9R; 11.3 群速度色散 241 rsa_)iBC 11.4 啁啾(chirped) 245 )+|wrK:*v 11.5 光学薄膜—相变 245 otfmM]f 11.6 群延迟和延迟色散 246 ]*'_a@h 11.7 色度色散 246 ]f?r@U'AS| 11.8 色散补偿 249 jSM`bE+" 11.9 空间光线偏移 256 4w'&:k47 11.10 参考文献 258 lZ)6d-vK 12 公差与误差 260 [[]yQ
" 12.1 蒙特卡罗模型 260 uD?RL~M 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 bcjh3WP 12.2.1 误差工具 267 "U"fsAc# 12.2.2 灵敏度工具 271 <bo^u w 12.2.2.1 独立灵敏度 271 tu"-]^ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 J%|; 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 GD)paTwO< 12.3 参考文献 276 Er|&4-9 13 Runsheet 与Simulator 277 }!k?.(hpE 13.1 原理介绍 277 EC0B6!C&7 13.2 截止滤光片设计 277 _
Pzgn@D 14 光学常数提取 289 g!'
x5#]n 14.1 介绍 289 {5D%<Te 14.2 电介质薄膜 289 R-dv$z0 14.3 n 和k 的提取工具 295 ky]^N) 14.4 基底的参数提取 302 qTRP2rH,L& 14.5 金属的参数提取 306 !vRN'/(Vyu 14.6 不正确的模型 306 7Hv6>z#m 14.7 参考文献 311 lK7:qo 15 反演工程 313 Q]GS#n 15.1 随机性和系统性 313 Sz<:WY/(x 15.2 常见的系统性问题 314 eY`9J4o ' 15.3 单层膜 314 W( sit;O 15.4 多层膜 314 ,r~^<m 15.5 含义 319 {d'B._#i 15.6 反演工程实例 319 "%+||IyW 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 xzA!,75@U 15.6.2 反演工程提取折射率 327 :Zkjtr.\ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 tDah@_ 16.1 光学性质的热致偏移 329 !`7evV: 16.2 应力工具 335 -6uLww=w4 16.3 均匀性误差 339 ^GrSvl}v' 16.3.1 圆锥工具 339 Qj1%'wWG 16.3.2 波前问题 341 [tSv{
16.4 参考文献 343 j DEym&- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 RA!m,"RM 17.1 引言 345 bv(+$YR 17.2 操作数 345 "N_@q2zF 18 如何在Function中编写脚本 351 UtJfO`m9P 18.1 简介 351 *oIIcE4g7 18.2 什么是脚本? 351 W{!5}Sh 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 S1)g\Lv 18.4 基础 352 0vDvp`ie#4 18.4.1 Classes(类别) 352 "QS(4yw?jg 18.4.2 对象 352 +}(]7du 18.4.3 信息(Messages) 352 G7,v:dlK 18.4.4 属性 352 uEr.LCAS 18.4.5 方法 353
|0uqW1 18.4.6 变量声明 353 <3tf(?*,k] 18.5 创建对象 354 .Wp(@l'Hd 18.5.1 创建对象函数 355 8KigGhY'ms 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 r/0#D+A 18.5.3 丢弃对象 356 :N^B54o%6 18.5.4 总结 356 )>b1%x} = 18.6 脚本中的表格 357 y
c<%f 18.6.1 方法1 357 P|?nx"c 18.6.2 方法2 357 sA: /!9 18.7 2D Plots in Scripts 358 oa7 N6 18.8 3D Plots in Scripts 359 Wt!;Y,1s 18.9 注释 360 A>F&b1 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 yGWl8\,j0 18.11 一个更高级的脚本 362 ^iWGGnGS 18.12 <esc>键 364 veh=^K%G | 18.13 包含文件 365 9"1=um= 18.14 脚本被优化调用 366 WTt
/y\'6 18.15 脚本中的对话框 368 ^tm2Duv 18.15.1 介绍 368 >b3IZ^SB#$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 HlkjyD8 18.15.3 输入框函数 370 %Gu=Dkz 18.15.4 自定义对话框 371 c<cYX;O 18.15.5 对话框编辑器 371 Yu&\a?]\2 18.15.6 控制对话框 377 P&5vVA6K7 18.15.7 更高级的对话框 380 5HL>2
e[ 18.16 Types语句 384 iK'A m.o+ 18.17 打开文件 385 i
^N}avO 18.18 Bags 387 u|EJ)dT? 18.13 进一步研究 388 6OPNP0@r 19 vStack 389 Kb5}M/8 19.1 vStack基本原理 389 /Z#AHfKF 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 n],cs 19.3 五棱镜 393 @N>rOA 19.4 光束距离 396 -ECnX/ " 19.5 误差 399 C;70,!3 19.6 二向分色棱镜 399 B1i'Mzm-4 19.7 偏振泄漏 404 GLV`IkU % 19.8 波前误差—相位 405 [czWUD 19.9 其它计算参数 405 R5uz< 20 报表生成器 406 55>+%@$,a 20.1 入门 406 Z$YG'p{S 20.2 指令(Instructions) 406 ,(c'h:@M 20.3 页面布局指令 406 FuBUg _h 20.4 常见的参数图和三维图 407 #LwDs,J :
20.5 表格中的常见参数 408 s\3ZE11L 20.6 迭代指令 408 \4*i;a.kU 20.7 报表模版 408 *;t_VlaZ 20.8 开始设计一个报表模版 409 !a5e{QG0 21 一个新的project 413 #]} G{
P 21.1 创建一个新Job 414 n=!5ha%#N 21.2 默认设计 415 [vdC $9z, 21.3 薄膜设计 416 : NH'>' 21.4 误差的灵敏度计算 420 2PSv3?". 21.5 显色指数计算 422 /h&>tYVio 21.6 电场分布 424 yAel4b/} 后记 426 EJaO"9
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