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内容简介 $y$E1A6h+ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 }1kZF{KD<[ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 aM5Hp>'nI 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 jjT)3
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Cl>|*h+m 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 MSqW { 目录 1[]
9EJ Preface 1 #fVk;]u`[3 内容简介 2 %\f<N1~* 目录 i ]Uj7f4)k 1 引言 1 `g+Kv&546 2 光学薄膜基础 2 \"7U,y', 2.1 一般规则 2 [,yYr 2.2 正交入射规则 3 2rGg 2.3 斜入射规则 6 BMdcW
MYU\ 2.4 精确计算 7 jvQpfd 2.5 相干性 8 }PUY~
u 2.6 参考文献 10 (jI _Dk; 3 Essential Macleod的快速预览 10 ?Gnx!3Q 4 Essential Macleod的特点 32 +\x}1bNS%j 4.1 容量和局限性 33 Oa-(Xp,n# 4.2 程序在哪里? 33 !sVW0JS h 4.3 数据文件 35 9dCf@5] 4.4 设计规则 35 /Ue_1Efa 4.5 材料数据库和资料库 37 h+DK
.$ 4.5.1材料损失 38 =/m$ayG 4.5.1材料数据库和导入材料 39 e3.q8r 4.5.2 材料库 41 &{e:6t 4.5.3导出材料数据 43 <4:%M 4.6 常用单位 43 .+A2\F.^ 4.7 插值和外推法 46
myOdf'= 4.8 材料数据的平滑 50 yPoa04!{= 4.9 更多光学常数模型 54 F\2<q$Zn+ 4.10 文档的一般编辑规则 55 m;cgX#k5 4.11 撤销和重做 56 T+j-MR}{\ 4.12 设计文档 57 Ake$M^Bz 4.10.1 公式 58 h $)4%Fy 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ,1
^IFBJ 4.10.3 沉积密度 59 *&BS[0; 4.10.4 平行和楔形介质 60 DQ.; 2W 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 y=&^=Zh[ 4.10.4 性能 61 'FM_5`& 4.10.5 保存设计和性能 64 KY+BXGW* 4.10.6 默认设计 64 \C kb: 4.11 图表 64 G%MdZg&i 4.11.1 合并曲线图 67 b^q%p1 4.11.2 自适应绘制 68 "IJ 9vXI 4.11.3 动态绘图 68 )mu[ye"p 4.11.4 3D绘图 69 U>hpYqf_ 4.12 导入和导出 73 LMRq.wxbbB 4.12.1 剪贴板 73 UM}MK 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 IFbN ]N0 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ],F@ .pg 4.13 背景 77 f{j`d&| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 gaU(ebsE 4.15 生成Rugate 84 5ajd$t 4.16 参考文献 91 (mgv:<c;BA 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 HX#$ ^@Q( 5.1 Jobs 92 7|DPevrk 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ]--"
K{ 5.3 输入材料 94 MDauHtF, 5.4 设计数据文件夹 95 y q6:7< 5.5 默认设计 95 %?PRBE'}' 6 细化和合成 97 "+A8w 6.1 优化介绍 97 ?t [C?{' 6.2 细化 (Refinement) 98 e"cvo(}g 6.3 合成 (Synthesis) 100 cH`ziZ<&m1 6.4 目标和评价函数 101 AvcN, 6.4.1 目标输入 102 h3Y|0-D 6.4.2 目标 103 MI,kKi 6.4.3 特殊的评价函数 104 $bF3v=u` 6.5 层锁定和连接 104 ,HwOMoP7 6.6 细化技术 104 ;3&HZq6Z ( 6.6.1 单纯形 105 Ap!Y 3C 6.6.1.1 单纯形参数 106 j/, I)Za 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Rg7~?b- 6.6.2.1 Optimac参数 108 r2=4Wx4( 6.6.3 模拟退火算法 109 -'uz%2 { 6.6.3.1 模拟退火参数 109 lNx:_g:SrZ 6.6.4 共轭梯度 111 .$zo_~ mR 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 n{=N f|= 6.6.5 拟牛顿法 112 evlz R/ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 I(va;hG<o 6.6.6 针合成 113 -DWnDku8= 6.6.6.1 针合成参数 114 <|;)iT1VeT 6.6.7 差分进化 114 O0QK `F/)* 6.6.8非局部细化 115 b G/[mZpRT 6.6.8.1非局部细化参数 115 Qq<+QL | 6.7 我应该使用哪种技术? 116 S?u@3PyJm 6.7.1 细化 116 ;oWak`]f 6.7.2 合成 117 \*\ )zj*r 6.8 参考文献 117 l{t!
LTf; 7 导纳图及其他工具 118 [4b_`L 7.1 简介 118 QygbfW6u 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &6^QFqqW`- 7.2.1 四分之一波长规则 119 PDhoCAh
! 7.2.2 导纳图 120 1? Im" 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 "p"~fN
/I9 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 oT*qMLdn 7.5 斜入射导纳图 141 THmmf_w@ 7.6 对称周期 141 V%JG :'6L 7.7 参考文献 142 gUrXaD# 8 典型的镀膜实例 143 '\R/-. 8.1 单层抗反射薄膜 145 1{?5/F \ + 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 WoWmmZ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 J'@`+veE 8.4 W-膜层 148 Qn`Fq,uvL 8.5 V-膜层 149 Yl"l|2
: 8.6 V-膜层高折射基底 150 "U*6?]f 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 b|nh4g 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 VP_S[+Zv~ 8.9 四层抗反射薄膜 153 7
|Q;E|=-Y 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 k/hNap'0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 (}MN16! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 m!Fx# 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 7(B"3qF8| 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 h5}:>yc 8.15十五层宽带抗反射膜 159 M6H#Y2!ZbC 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 o$k9$H>Na 8.17 1/4波长堆栈 162 'L8B"5|> 8.18 陷波滤波器 163 QN^AihsPi 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 %)sG 34 8.20 褶皱 165
Mc<O ~ 8.21 消偏振分光器1 169 zA*I=3E( 8.22 消偏振分光器2 171 tVhf1TH# 8.23 消偏振立体分光器 172 %OAvhutS 8.24 消偏振截止滤光片 173 eY8rm 8.25 立体偏振分束器1 174 3pjK`"Nmz\ 8.26 立方偏振分束器2 177 y28 e=i 8.27 相位延迟器 178 VTJxVYE 8.28 红外截止器 179 l G $s( 8.29 21层长波带通滤波器 180 OpFm:j3 8.30 49层长波带通滤波器 181 i2 G.<(3O 8.31 55层短波带通滤波器 182 LuvRxmQ` 8.32 47 红外截止器 183 5?XIp6%x 8.33 宽带通滤波器 184 IRIYj(J 8.34 诱导透射滤波器 186 UpS7>c7s 8.35 诱导透射滤波器2 188 TcOmBKps' 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 agj_l}=gO 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 #T$yQ;eQ 8.35 增益平坦滤波器 193 mH/9J
8.38 啁啾反射镜 1 196 < m/@_" 8.39 啁啾反射镜2 198 3h`_Qv%g 8.40 啁啾反射镜3 199 G!.%Qqs 8.41 带保护层的铝膜层 200 `w EAU7m: 8.42 增加铝反射率膜 201 k@>y<A{;D 8.43 参考文献 202 BTDUT%Yfg 9 多层膜 204 9_xJT^10 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 a}[ 1*_G 9.2 内部透过率 204 4N8(WI"4S 9.3 内部透射率数据 205 Zce/& 9.4 实例 206 90UZ\{"> 9.5 实例2 210 bz|-x"qk 9.6 圆锥和带宽计算 212 k%%0"+y#a 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 -d_7 q 10 光学薄膜的颜色 216 mY&(&'2T" 10.1 导言 216 nWFU8u% 10.2 色彩 216 xL$7bw5fY 10.3 主波长和纯度 220 d'k99(vy 10.4 色相和纯度 221 !U4<4<+ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 dZ`c 10.6 色差 226 ph>0?Z =bn 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 T.pc3+B8N 10.8 颜色渲染指数 234 <3!Q Xc 10.9 色差计算 235 T&+y~c[au 10.10 参考文献 236 Eal*){"<,? 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 1Uk Gjw1J 11.1 短脉冲 238 T7?cnK" 11.2 群速度 239 RiiwsnjC 11.3 群速度色散 241 7~!F3WT{ 11.4 啁啾(chirped) 245 #D-Ttla 11.5 光学薄膜—相变 245 u#nM_UJe 11.6 群延迟和延迟色散 246 &n~v;M 11.7 色度色散 246 ;}}k*<
Z 11.8 色散补偿 249 :N64FR# 11.9 空间光线偏移 256 8 DPn5E#M1 11.10 参考文献 258 r mJ`^6V 12 公差与误差 260 ";;Nc>-Y 12.1 蒙特卡罗模型 260 U# U*^# 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 U?=-V8#M| 12.2.1 误差工具 267 Td5yRN! ? 12.2.2 灵敏度工具 271 hw2Sb,bY 12.2.2.1 独立灵敏度 271 =XFyEt 12.2.2.2 灵敏度分布 275 _&e$?hY 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 v,d'SR. 12.3 参考文献 276 A5go)~x\ 13 Runsheet 与Simulator 277 +;bP.[Z 13.1 原理介绍 277 #Q@~TW 13.2 截止滤光片设计 277 i,!t u 14 光学常数提取 289 odKdpa
Zc[ 14.1 介绍 289 JKA%$l0 14.2 电介质薄膜 289 c'
Q4Fzj0' 14.3 n 和k 的提取工具 295 L\xR<m<, 14.4 基底的参数提取 302 ZKt`>KZ 14.5 金属的参数提取 306 ;k
(M4? 14.6 不正确的模型 306 0DX)%s,KO 14.7 参考文献 311 Ynl Zyw! 15 反演工程 313 AmB*4p5b 15.1 随机性和系统性 313 RC!9@H5S# 15.2 常见的系统性问题 314 |p`}vRv
Uh 15.3 单层膜 314 y'C 15.4 多层膜 314 Ou{VDE 15.5 含义 319 =0mn6b9-= 15.6 反演工程实例 319 o^W.53yX 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 FD/=uIXH2 15.6.2 反演工程提取折射率 327 R5=M{ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ?*&5`Xh 16.1 光学性质的热致偏移 329 v]y=+* A 16.2 应力工具 335 88Vl1d&b 16.3 均匀性误差 339 _2X6c, 16.3.1 圆锥工具 339 1!;4I@W(I) 16.3.2 波前问题 341 v9"03=h 16.4 参考文献 343 8*^*iEsR 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 6 -BC/ 17.1 引言 345 3;F up4!4} 17.2 操作数 345 Rw^X5ByJE 18 如何在Function中编写脚本 351 v.F|8 cG 18.1 简介 351 <xUX&J=; 18.2 什么是脚本? 351 WHcw5_3# 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ]/7#[ 18.4 基础 352 {_ {zs!r 18.4.1 Classes(类别) 352 H18pVh 18.4.2 对象 352 Dlg9PyQ 18.4.3 信息(Messages) 352 S|]\q-qA& 18.4.4 属性 352 GHpP
*x 18.4.5 方法 353 IHv>V9yiG 18.4.6 变量声明 353 <=%=,Yk 18.5 创建对象 354 :kvQ3E0 18.5.1 创建对象函数 355 9JJk\, 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 9\>{1"a 18.5.3 丢弃对象 356 Rbcu5.6 18.5.4 总结 356 |%uy{ 18.6 脚本中的表格 357 >cH}sNHy 18.6.1 方法1 357 )!Zm*( 18.6.2 方法2 357 -'T^gEd)c 18.7 2D Plots in Scripts 358 Z6#(83G4 18.8 3D Plots in Scripts 359 a1z*Z/!5 18.9 注释 360 Bw>)gSB5$k 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 rC6@
] 18.11 一个更高级的脚本 362 WNSEc% 18.12 <esc>键 364 5%w08 18.13 包含文件 365 6L3i
18.14 脚本被优化调用 366 p. KT=dZT 18.15 脚本中的对话框 368 4P?@NJp 18.15.1 介绍 368 *fI\|%K 18.15.2 消息框-MsgBox 368 (};/,t1#$ 18.15.3 输入框函数 370 +|qw>1J( 18.15.4 自定义对话框 371 6t3Zi:=I 18.15.5 对话框编辑器 371 JhvT+"~ 18.15.6 控制对话框 377 gw<udhk
18.15.7 更高级的对话框 380 m2[J5n?zLL 18.16 Types语句 384 Lc0=5]D 18.17 打开文件 385 @_
Tq>tOr& 18.18 Bags 387 0qL.Rnt 18.13 进一步研究 388 n@J>,K_B 19 vStack 389 ,3W,M=j) 19.1 vStack基本原理 389 NG?g( 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 V!QC.D< 19.3 五棱镜 393 ppnl bL^* 19.4 光束距离 396 =d/$B!t{ 19.5 误差 399 _% i!LyG 19.6 二向分色棱镜 399 @ssT$#)$! 19.7 偏振泄漏 404 $Y8iT<nP 19.8 波前误差—相位 405 w{ Pl 19.9 其它计算参数 405 mp8Zb&Ggb 20 报表生成器 406 KxDfPd+j[ 20.1 入门 406 Z9j`<VgN
20.2 指令(Instructions) 406 [= Xb*~ 20.3 页面布局指令 406 gSkY c{b 20.4 常见的参数图和三维图 407 =z\/xzAwX 20.5 表格中的常见参数 408 IEY\l{s 20.6 迭代指令 408 ;#=y5Q4 20.7 报表模版 408 ~'N+O K 20.8 开始设计一个报表模版 409 'ql<R0g 21 一个新的project 413 cyB2=, 21.1 创建一个新Job 414 1i;Cw/mr 21.2 默认设计 415 }O2P>Z?V 21.3 薄膜设计 416 pW_mS| 21.4 误差的灵敏度计算 420 <t dsUh:?& 21.5 显色指数计算 422 _po5j;"_O 21.6 电场分布 424 -_bDbYL 后记 426 Fi#
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